基片上的对齐网络的制作方法
【专利摘要】除了别的
【发明内容】
之外，基于含乳液或泡沫的涂层材料，在基片上形成了两种网络，且一种网络在另一种网络顶部。这两种网络可由相同的材料如导电材料(如银)形成，或者可由不同的材料形成。形成不同网络的涂层材料可具有不同浓度的网络材料。
【专利说明】基片上的对齐网络
[0001]相关申请的交叉参考
[0002]本申请要求于2011年10月29日提交的美国临时专利申请序列第61/553，191号的优先权，该文的全部内容通过弓I用纳入本文。
【技术领域】
[0003]本发明涉及基片上的对齐网络，具体来说，涉及在基片上形成的两种网络，一种网络与另一种网络对齐且在另一种网络顶部。
[0004]背景
[0005]在光伏领域，高性能的太阳能电池效率需要多个昂贵的加工步骤来在太阳能电池中制备所需的特征。因为附加的加工成本，这些步骤限制了太阳能电池的实用性。
[0006]在常规的太阳能电池设计中，把光生电流驱动到两电极:(1)在太阳能电池底部的底(通常是连续的和均匀的)电极，以及(2)在与该底部相对的正面(受照射侧)上精细印刷的线阵列。可通过把银浆丝网印刷成精细的线图案，来形成太阳能电池正面上的精细印刷的线阵列。
[0007]在底电极和正面电极之间，常规的太阳能电池包括发射器，该发射器包含在半导体材料中的掺杂剂。发射器可位于正面上的电极之下。尽管正面上的电极是图案化的，但在常规的太阳能电池设计中，对于在半导体材料中的掺杂剂而言无需这种面内图案化。太阳能电池可包含具有不同掺杂的区域，该掺杂随着电池从底部到正面的深度变化。但是，在垂直于深度方向的平面中，掺杂剂通常均匀地分散。
[0008]概述
[0009]在一方面中，基于含乳液或泡沫的涂层材料，在基片上形成了两种网络，且一种网络在另一种网络顶部。这两种网络可由相同的材料如导电材料(如银)形成，或者可由不同的材料形成。形成不同网络的涂层材料可具有不同浓度的网络材料。在一些实施方式中，当两种网络由相同的非挥发性材料形成时，不同网络中的网络材料可具有不同的浓度。在第一网络顶部的第二网络可具有与该第一网络的图案对齐的图案。在一些实施方式中，第二网络的图案配准或叠加至第一网络上。第二网络的表面积可基本上与第一网络相同。在一些实施方式中，第一网络的表面积大于第二网络的表面积，反之亦然。第一和第二网络可同时在基片表面上。在一些实施方式中，第一网络在基片中，且第二网络在基片表面上并在第一网络顶部。
[0010]网络可都是无规网络、规整的网络或者一种是相对不规整的且一种是相对规整的。下面的讨论频繁地使用无规网络。但是在某些情况下，网络可具规整的间隔，特别是第一网络。规整的网络的描述参见美国临时申请第61/495，582号，该文的全部内容通过引用纳入本文。因此，与无规网络相关的所有或大多数特征都可用规整的网络取代。
[0011]对齐的第一和第二无规网络可具有不同的应用。例如，它们可用于太阳能电池中。当第一和第二无规网络都由导电材料形成时，对齐的网络可用作太阳能电池正面上的电极，并提供比含单一网络的电极更高的导电性。当第一和第二网络由不同的材料形成时，在一些实施方式中，第一网络由掺杂剂材料(如掺杂的硅颗粒)形成，从而在太阳能电池基片顶部或里面形成发射器。第二网络由导电材料形成，用作太阳能电池基片正面上的电极。
[0012]在另一方面，本发明的特征是一种制品，其包括基片、在所述基片上的第一自组装网络和在所述第一自组装网络上的第二自组装网络。所述第一自组装网络包括迹线和在所述迹线之间的空穴，且由基于乳液的第一组合物形成。所述第二自组装网络与所述第一自组装网络直接接触。所述第二自组装网络也包括迹线和在所述迹线之间的空穴，且由基于乳液的第二组合物形成。
[0013]在另一方面，本发明的特征是一种方法，其包括把基于乳液的第一涂层组合物施涂到基片上。所述基于乳液的第一涂层组合物自组装成包括迹线和在所述迹线之间的空穴的第一自组装网络。所述方法还包括把基于乳液的第二涂层组合物施涂到所述第一自组装网络上。所述基于乳液的第二涂层组合物自组装成在所述第一自组装网络上的第二自组装网络。所述第二自组装网络包括迹线和在所述迹线之间的空穴，且与所述第一自组装网络直接接触。
[0014]本发明的制品和方法还可包括下述的一种或更多种实施方式。所述第二自组装网络与所述第一自组装网络对齐。所述第一自组装网络与所述第二自组装网络具有不同的组合物。所述第一自组装网络具有不同于所述第二自组装网络的组分。所述第一自组装网络和所述第二自组装网络包括一种或更多种相同的组分，以及所述一种或更多种组分在所述第一自组装网络和所述第二自组装网络中具有不同的浓度。所述基片包括硅晶片、聚合物膜或者玻璃。所述第一和第二自组装网络中的至少一种包括导电纳米颗粒。所述第一和第二自组装网络中的至少一种包括玻璃料。所述第一和第二自组装网络中的至少一种包括到达所述基片的一种或更多种掺杂剂。所述第一和第二自组装网络中的至少一种不含大于或等于纳米尺寸的颗粒。所述第一自组装网络包括玻璃料，且所述第二自组装网络包括银纳米颗粒。
[0015]本发明的制品和方法还可包括下述的一种或更多种实施方式。所述基于乳液的第一组合物包括玻璃料，且所述基于乳液的第二涂层组合物包括银纳米颗粒。所述基于乳液的第一和第二组合物中的至少一种不含大于或等于纳米尺寸的颗粒。所述自组装成所述第二自组装网络包括使所述第二自组装网络与所述第一自组装网络对齐。所述第二自组装网络是导电的。所述基于乳液的第一和第二组合物包括一种或更多种相同的组分，以及所述一种或更多种相同的组分在基于乳液的第一和第二组合物中具有不同的浓度。
[0016]通过说明书和附图，不难了解其它的特征、目的和优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是基片表面上的无规网络的显微照片。
[0018]图2-5是基片表面的显微照片，在该基片表面上形成了单一无规网络、两种对齐的无规网络或者重叠的单无规网络或双无规网络。
[0019]图6A是基片上的无规网络的示意图。
[0020]图6B-6E是在基片上两种对齐的无规网络的示意图。
[0021]图7A是上面形成了单无规网络的基片的表面区域的显微照片。
[0022]图7B是图7A的表面区域的显微照片，且在所述第一无规网络顶部形成了额外的第二无规网络。
[0023]发明详述
[0024]本领域需要通过减少太阳能电池正面上印刷电极的面积和/或减少电池中掺杂区域的表面积(面内，其中该平面垂直于太阳能电池的深度方向)，来相对于常规设计提高太阳能电池的性能。正面表面上银导体的区域减小，允许更多的光进入太阳能电池的光活性部分，并改善效率。具有更小面积的掺杂区域进一步改善效率。
[0025]取得这种改善的性能的一种方法是使用两种图案化步骤:局部地掺杂太阳能电池基片的选定区域的第一步，以及涂覆电极的第二步，该电极直接位于掺杂区域顶部(如，叠加其上)且与掺杂区域对齐。在一些实施方式中，在局部掺杂步骤中把硅纳米颗粒或其它形式的掺杂剂掺杂到局部区域中。然后，应用烧制步骤来使这种掺杂剂变得在太阳能电池基片中具有化学活性或电学活性。可在太阳能电池的正面和底面上形成电极，且可图案化和烧制正面上的电极。
[0026]在一种实施例中，形成掺杂剂和图案化电极的第一步和第二步包括采用在太阳能电池的正面印刷两种图案。新光公司(Innovalight)(现在的杜邦(DuPont))已经开发了这种技术。印刷过程是昂贵的，且使第一图案和第二图案对齐的细节可导致配准误差(registration error)和相关的这样制备的太阳能电池的性能或产率损失。
[0027]通常，需要一定程度的高温烧制或加工来引入掺杂剂。这种高温加工可能与用于正面电极的金属电极技术不兼容，因此一直激励着保持用独立的印刷步骤加工的、两种独立但通常对齐的图案。
[0028]在一些实施方式中，乳液的自组装性质可优选地用于在表面上制备有用的图案或网络，包括制造导电网格(mesh)。这种无规金属网格也可用于光伏电池。例如，图1显示了这种金属网格的显微照片，其中深色的区域是银迹线，淡色的区域是非导电的、迹线之间透光的空穴或网孔。美国专利第7，601，406号中描述了随机金属网格，且美国专利申请公开第2011/0175065号描述了把这种网格应用到光伏电池中，以上两文的全部内容通过引用纳入本文。
[0029]在一些实施方式中，在基片(如太阳能电池基片)上形成两种基于乳液的、对齐(如配准的(registered)或叠加的)且相互叠置的无规网络。具体来说，包含导电网络的第一图案化材料层(该材料与基片材料不同)和第二图案化材料层各自可基于乳液来形成。可通过自组装形成第一和第二图案(或者网络)。例如，第二层材料可直接自对齐到第一层顶部，由此形成两种对齐的(如叠加的或配准的)层。在一些实施方式中，第一图案化材料层可以是用于第二网络的打底(priming)网络。打底网络可以是不含任何纳米颗粒的低固体网络。例如，打底网络由乳液形成，该乳液包括少量(如1-2重量％ )的非挥发性组分，如粘合剂、胶粘剂、润湿剂和流变改性剂。在另一种实施例中，打底网络不含纳米尺寸的或更大的颗粒。不限于理论，低固体网络可提高所需的表面能，来配准第二图案化材料层。
[0030]第一和第二图案/网络的表面积可以是基本上相同的。例如，与第一网络对齐的第二无规网络基本上顺着第一无规网络的图案。在一些实施方式中，第二图案/网络的表面积大于第一图案/网络的表面积。例如，除了在第一网络的顶部以外，至少有些第二网络的材料聚集在第一网络的迹线的侧面上。在这种实施方式中，第一网络的迹线通过第二网络的材料拓宽，且通过部分地填充，缩小了第一网络的迹线之间的网孔。在一些实施方式中，第二网络在第一网络的顶部较薄，而在第一网络的迹线的侧面上较厚。在其他实施方式中，第二网络基本上全部位于第一网络的迹线的侧面上。
[0031]两层中的材料可相同或不同。具有相同材料的两层的示例是，在银网络顶部的银网络。这种排布增加银网络的导电性。当在太阳能电池中使用银网络作为该太阳能电池正面的电极时，网络对到达太阳能电池的可见光的透射百分比的减少是最小的。两种不同材料的示例是第一层包括掺杂剂且第二层包括银，由此形成叠加在掺杂剂层(该掺杂剂层位于例如半导体表面如基于硅的太阳能电池基片上)上的导电银网络。除了银以外，其它材料也可用于第一和/或第二网络。在一些实施方式中，第二层不含银。在一些实施方式中，第二层可包括一种或更多种掺杂剂。在其他实施方式中，第一层可包括玻璃料。
[0032]可基于乳液形成无规网络，然后用第二层涂覆该无规网络，该第二层名义上/基本上选择性地与由该无规网络限定的区域对齐，如直接配准在无规网络顶部。第二层基于相同或不同的乳液来形成。两层可由相同的材料(如导电金属纳米颗粒)来形成，或者它们可包括不同的材料，如先是掺杂剂层，然后是导电银网络。此外，如果两层由相同的材料如导电银形成，乳液中该组分如银的浓度对不同的层而言可不同。所述方法和材料可用于增强透明导电银网络的导电性，或者它们可用于具有改善性能的太阳能电池。
[0033]可使用类似于美国专利第7，601，406号所述的乳液干燥方法，来在基片表面上形成掺杂的硅纳米颗粒或者其它掺杂剂的无规互连网络，该基片可由与掺杂材料不同的一种或更多种材料如硅晶片组成，上述专利的全部内容通过引用纳入本文。这种掺杂剂来源材料可用来在晶片表面上限定的分散区域中引入掺杂剂，线宽为约5-50微米，且正面覆盖率为1-10%。然后，可使用第二涂覆方法使第二层材料与形成的掺杂剂层自对齐。在一些实施方式中，第二涂覆方法包括把乳液施涂至掺杂剂层，且在该乳液中的材料自组装来装饰形成的掺杂剂图案。使用两种湿加工步骤(无需印刷或与基片机械接触)，可基于低成本和高效率的涂覆方法(如太阳能电池形成方法)来形成具有几何上有用的形状的掺杂剂层和银电极层。使用自组装的乳液来装饰表面差异(基于表面能、形貌等)还可参见美国临时申请第61/495，582号(于2011年6月10日提交)和美国专利申请公开第2011/0175065号，以上各文的全部内容通过引用纳入本文。
[0034]上面形成对齐的无规网络的基片、用于无规网络的涂层材料以及施涂涂层材料和形成无规网络的方法可具有下述特征。
[0035]基片-可使用多种未图案化的基片。如果目标是制备具有透明导电涂层的制品，基片优选地对可见光区(400-800nm)的光是基本上透明的。合适的基片的示例包括玻璃、聚合物材料(如聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯或聚碳酸酯)、陶瓷(例如，透明的金属氧化物)和半导体材料(如硅或锗)。基片可直接使用，或者预处理以改变它的表面性质。例如，可预处理基片以改善涂层和基片表面之间的粘附性，或者增加或控制基片的表面能。物理和化学预处理都可使用。物理预处理的示例包括电晕、等离子体、紫外线、热处理或火焰处理。化学预处理的示例包括蚀刻剂(如酸蚀刻剂)、底漆、减反射涂层或者硬涂层(如，为了提供耐刮性)。具体来说，基片可以是包括光伏电池的基片，例如半导体基片。
[0036]基片还可以是图案化基片。例如，可在把透明导电涂层施涂至基片之前，图案化该未图案化的基片。在一些实施方式中，例如可用激光钻孔或者蚀刻图案化半导体基片，以形成通孔。在一些实施方式中，可在包含通孔的基片上形成对齐的(即叠加的或配准的)无规网络，如代理人卷号第17709-0032P01号所述，该文与本专利申请同一天提交，该文的全部内容通过引用纳入本文。在第一无规网络顶部的第二无规网络可以是由通孔图案修饰的导电无规网络，并形成类似于代理人卷号第17709-0032P01号所述的导电网络的特征。例如，除了与第一无规网络对齐(如叠加或配准)的材料以外，第二图案的材料可到达通孔中。在一些实施方式中，可在形成第一和第二对齐的无规网络之前，图案化基片。在其他实施方式中，可在形成第一无规网络之后且在该第一无规网络上形成第二无规网络之前，图案化基片。
[0037]涂层材料-适用的涂层材料可包括非挥发性组分和液体载体。液体载体是乳液的形式，包括连续相和分散在该连续相中的结构域(domain)。
[0038]合适的非挥发性组分的示例包括金属和陶瓷纳米颗粒。纳米颗粒的D9tl值优选地小于约100纳米。具体示例包括根据U.S.5，476，535和U.S.7，544，229所述的方法制备的金属纳米颗粒，以上两文的全部内容通过引用纳入本文。如上面两篇专利所述，一般通过形成两种金属之间的合金来制备纳米颗粒；例如银和铝之间的合金，用碱性或者酸性溶浸剂来溶浸其中一种金属以形成多孔金属聚集体；且随后崩解该聚集体(如，使用机械分散器、机械匀化器、超声匀化器或者研磨装置)以形成纳米颗粒。可在崩解之前涂覆纳米颗粒，以抑制聚集。在一些实施方式中，颗粒可大于纳米尺寸。用于大于或等于纳米尺寸颗粒的材料也可包括玻璃料，这可用于烧穿半导体晶片上的钝化层，如硅晶片上的氮化硅层，由此与下面的半导体形成电接触。
[0039]可用于制备纳米颗粒的金属的示例包括银、金、钼、钯、镍、钴、铜、钛、铱、铝、锌、镁、锡以及它们的组合。可用于涂覆纳米颗粒以抑制聚集的材料的示例包括脱水山梨醇酯、聚氧乙烯酯、醇、甘油、聚乙二醇类、有机酸、有机酸盐、有机酸酯、硫醇、膦类(phosphines)、低分子量聚合物以及它们的组合。
[0040]用于掺杂的纳米颗粒可部分地扩散进入半导体层。铝是用于涂层材料的合适的掺杂剂的示例。其它合适的掺杂剂可包括硼、磷、砷和镓。
[0041]液体载体中非挥发性组分(如纳米颗粒)的浓度范围通常是1-50重量％，优选地
1-10重量％。选定具体的用量，以产生可涂覆在基片表面上的组合物。当需要导电的涂层时，选择用量以产生干燥涂层中合适的导电水平。
[0042]液体载体是乳液的形式，其特征是连续相和分散在该连续相中的结构域。在一些实施方式中，乳液是油包水(W/0)乳液，其中一种或更多种有机液体形成连续相，以及一种或更多种水性液体形成分散的结构域。在另一些实施方式中，乳液是水包油(0/W)乳液，其中一种或更多种水性液体形成连续相，以及一种或更多种有机液体形成分散的结构域。在两种情况下，水性和有机液体相互间基本上是不互溶的，从而形成两种不同的相。
[0043]用于W/0或0/W乳液的合适的水性液体示例包括水、甲醇、乙醇、乙二醇、甘油、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、乙腈、二甲亚砜、N-甲基吡咯烷酮以及它们的组合。用于W/0或Ο/ff乳液的合适的有机液体示例包括石油醚、己烷、庚烷、甲苯、苯、二氯乙烷、三氯乙烯、氯仿、二氯甲烷、硝基甲烷、二溴甲烷、环戊酮、环己酮以及它们的组合。应选择溶剂，从而乳液的连续相的溶剂蒸发得比分散的结构域的溶剂更快。例如，在一些实施方式中，乳液是W/0乳液，其中有机液体蒸发得比水性液体更快。[0044]液体载体还可包括其它添加剂。具体示例包括反应性或者非反应性稀释剂、氧清除剂、硬涂覆组分、抑制剂、稳定剂、着色剂、颜料、IR吸收剂、表面活性剂、润湿剂、流平剂、流动控制剂、流变改性剂、增滑剂、分散助剂、消泡剂、粘合剂、胶粘剂、促进剂、腐蚀抑制剂
及其组合。
[0045]在一些实施方式中，尽管把涂层材料描述成基于乳液的，但涂层材料可以是基于泡沫的材料。例如，涂层材料可具有在与气体互混的液相(如泡沫形式)中的非挥发性成分。在一个优选的实施方式中，非挥发性成分是金属纳米颗粒。金属颗粒可分散于基于水的液体分散体中，并与空气混合以形成泡沫。在一些实施方式中，这种分散体是水性的，且无需不互溶的有机溶剂和乳液。这种涂层材料的描述见美国专利申请公开第2011/0193032号，该文的全部内容通过引用纳入本文。
[0046]方法-合适的涂覆方法可包括丝网印刷、手动施涂器和手动铺展。还可使用其它合适的技术如旋涂、迈耶(mayer)棒涂布、凹版涂布、微凹版涂布、帘式涂布、喷涂、喷墨印刷、胶版印刷和任何合适的技术。在施涂了涂层材料之后，采用或不采用高于环境的温度，把溶剂从乳液中蒸发掉。优选地，在约室温到约850°C的温度范围中烧结剩余的涂层。烧结优选在常压条件下进行。
[0047]作为替代或补充，烧结过程的全部或一部分可以在存在化学物质的条件下进行，所述化学物质能够引发所述烧结过程。合适的化学物质的例子包括醛或酸，例如甲酸、乙酸和盐酸。所述化学物质可以是蒸气或者液体的形式，并使沉积的颗粒与之接触。或者，可以在沉积之前，将所述化学物质结合入包含纳米颗粒的组合物中，或者可以在颗粒沉积到基材上之后，将所述化学物质沉积在所述纳米颗粒上。
[0048]所述工艺还可以包括烧结后处理步骤，在此步骤中，可对形成的导电层进一步烧结、退火，或者进行以下的其它形式的后处理:使用加热、激光、紫外光、酸或其它处理以及/或者接触化学物质，例如金属盐、碱或离子液体。处理过的导电层可以用水或者其它化学洗涤溶液(例如酸溶液、丙酮或其它合适的液体)洗涤。可以使用间歇式工艺设备或连续型涂覆设备对基材进行后处理，所述后处理可以是实验室小规模或工业较大规模的，包括辊到辊的工艺。
[0049]合适的基片、涂层材料和工艺以及自组装工艺还可参见美国专利申请第12/809，195号(于2011年7月26日提交)、美国临时申请第61/495，582号(于2011年6月10日提交)以及美国专利第7，566，360号，以上各文的全部内容通过引用纳入本文。
[0050]在一些实施方式中，可改进第一和第二无规网络的图案和对齐情况。例如，可把掩模材料置于或沉积到待形成干燥乳液网络不连续区域的基片表面上。这里可使用掩模，允许在没有被掩模覆盖的选定区域，以气体、蒸汽注入(vapor implantation)或等离子体相的方式把掺杂剂引入下面的晶片。可使用有或没有掩模的第二过程来优先把金属涂覆(如形成导电银网络)在掺杂区域的顶部。
[0051]或者，可使用蚀刻过程来除去材料，并在所需的图案中形成网络。例如，可在形成基于乳液的导电网络的第一步中使用蚀刻。图案化网络还可参见于2011年9月19日提交的美国临时申请第61/536，122号的描述，该文的全部内容通过引用纳入本文。
[0052]尽管描述了对齐的第一和第二网络，但第二网络可具有穿过第一网络随机分布的迹线，不与第一网络的迹线对齐。此外，对齐的第一和第二网络可包括相互间不完美配准或叠加的一些部分。在一些实施方式中，对齐的第一和第二网络包括这样的情况，即第二网络的一个或更多个部分具有穿过相应的第一网络的一个或更多个部分随机分布的迹线，且不与在该一个或更多个部分中的第一网络的迹线对齐。
[0053]一般地，在形成两种对齐的(叠加或配准的)无规网络的两个加工步骤之间使用烧制步骤，例如形成太阳能电池器件。在第二步之后，还可使用第二退火或烧制步骤来烧结第二无规网络，如金属网络。
[0054]尽管上文参考了基于硅的光伏应用，但两种材料在后续步骤中自配准图案的益处也可用于其他应用，例如在其他光伏应用(如薄膜光伏)中，以及更加普遍的电子应用中。例如，可使用类似的乳液干燥工艺。可产生含不同材料的两层，优选地相互叠置对齐，却无需额外的图案元件。
实施例
[0055]实施例1
[0056]4密耳的三菱E100PET基片(三菱聚酯膜(MitsubishiPolyesterFilm)公司，三菱(Mitsubishi),日本)在用通过TS技术公司(TS Tech)(天安(Cheonan),韩国)电晕处理系统提供的2千瓦电晕处理后(该薄片以10米/分钟的速度通过电晕加工)，使用其没有用底漆处理的一侧。
[0057]用Misonix3000超声混合器在烧杯中于40瓦下超声处理30秒，来混合具有表1所示组成(数值的单位是克)的分散体。
[0058]表1
[0059]
【权利要求】
1.一种制品，其包括: 基片; 在所述基片上的第一自组装网络，所述第一自组装网络包括迹线和在所述迹线之间的空穴，且由基于乳液的第一组合物形成；以及 在所述第一自组装网络上且与所述第一自组装网络直接接触的第二自组装网络，所述第二自组装网络包括迹线和在所述迹线之间的空穴，且由基于乳液的第二组合物形成。
2.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第二自组装网络与所述第一自组装网络对齐。
3.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一自组装网络与所述第二自组装网络具有不同的组合物。
4.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一自组装网络具有不同于所述第二自组装网络的组分。
5.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一自组装网络和所述第二自组装网络包括一种或更多种相同的组分，以及其中所述一种或更多种组分在所述第一自组装网络和所述第二自组装网络中具有不同的浓度。
6.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述基片包括硅晶片、聚合物膜或者玻璃。
7.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一和第二自组装网络中的至少一种包括导电纳米颗粒。
8.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一和第二自组装网络中的至少一种包括玻璃料。
9.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一和第二自组装网络中的至少一种包括到达所述基片的一种或更多种掺杂剂。
10.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一和第二自组装网络中的至少一种不含大于或等于纳米尺寸的颗粒。
11.如权利要求1所述的制品，其特征在于，所述第一自组装网络包括玻璃料，且所述第二自组装网络包括银纳米颗粒。
12.—种方法,其包括: 把基于乳液的第一涂层组合物施涂到基片上，所述基于乳液的第一涂层组合物自组装成包括迹线和在所述迹线之间的空穴的第一自组装网络；以及 把基于乳液的第二涂层组合物施涂到所述第一自组装网络上，所述基于乳液的第二涂层组合物自组装成在所述第一自组装网络上的第二自组装网络，所述第二自组装网络包括迹线和在所述迹线之间的空穴且与所述第一自组装网络直接接触。
13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述基于乳液的第一组合物包括玻璃料，且所述基于乳液的第二涂层组合物包括银纳米颗粒。
14.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述基于乳液的第一和第二组合物中的至少一种不含大于或等于纳米尺寸的颗粒。
15.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述自组装成所述第二自组装网络包括使所述第二自组装网络与所述第一自组装网络对齐。
16.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述第二自组装网络是导电的。
17.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述基于乳液的第一和第二组合物包括一种或更多种相同的组分，以及其中所述一种或更多种相同的组分在基于乳液的第一和第二组合物中具有不同的浓度。
【文档编号】H01L21/02GK103999190SQ201280062945
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2012年10月29日 优先权日:2011年10月29日
【发明者】E·L·格兰士特姆, A·贾巴, I·佩雷尔施泰因－艾尔巴茨, I·海姆, D·扎米亚 申请人:西玛耐诺技术以色列有限公司