功率模块的制作方法
功率模块的制作方法
【专利摘要】本发明涉及功率模块。功率模块（1）具备：IGBT（2）；MOSFET（3），与IGBT（2）并联连接；引线框（10），具有搭载有IGBT（2）的第一框部（11）和搭载有MOSFET（3）的第二框部（12），并且形成有第一框部（11）位于第一高度、第二框部（12）位于比第一高度高的第二高度的阶梯差（13）；以及散热体的绝缘片（30），在引线框（10）中仅配置于第一框部（11）的背面。从而能够调整IGBT与MOSFET的损耗负担并提高成本效率。
【专利说明】功率模块
【技术领域】
[0001]本发明涉及传递模塑类型的IPM (Intelligent Power Module:智能功率模块)等功率模块。
【背景技术】
[0002]在逆变器用途的功率模块中，在并联连接现有的IGBT (Insulated Gate BipolarTransistor:绝缘栅双极型晶体管)与FWD (Free Wheeling Diode:续流二极管)的结构中，在IGBT的特性上难以降低低电流区的损耗。
[0003]为了改善低电流区的损耗，考虑使用MOSFET (Metal-Oxide-SemiconductorField-Effect Transistor:金属氧化物半导体场效应晶体管)代替IGBT,但是在MOSFET中存在如下问题:因为高温、高电流范围的导通电压变高，所以容许电流变低。
[0004]为了解决此种问题，正在探讨将大电流区域中的饱和电压低的IGBT与小电流区域中的饱和电压低的MOSFET并联连接的结构(例如参照专利文献1)。
[0005]现有技术文献专利文献
专利文献1:日本特开平4 - 354156号公报。
【发明内容】
[0006]然而，在专利文献1所记载的结构中，欠缺调整IGBT与MOSFET的损耗负担的观点。因此，存在不能够通过所述调整而最优化功率模块的成本效率的问题。
[0007]因此，本发明的目的在于提供一种能够调整IGBT与MOSFET的损耗负担以提高成本效率的功率模块。
[0008]本发明的功率模块具备:IGBT ;M0SFET，与所述IGBT并联连接；引线框，具有搭载有所述IGBT的第一框部和搭载有所述MOSFET的第二框部，并且形成有所述第一框部位于第一高度、所述第二框部位于比所述第一高度高的第二高度的阶梯差；以及散热体的绝缘片，在所述弓I线框中仅配置于所述第一框部背面。
[0009]根据本发明，由于高电流通电时MOSFET的通电能力比IGBT的通电能力小，故能够增大IGBT侧的损耗负担，减小MOSFET侧的损耗负担，从而MOSFET不需要高散热性。因而，仅在需要高散热性的IGBT的搭载位置即第一框部背面配置绝缘片，在引线框中的MOSFET的搭载位置不需要配置绝缘片，因而能够减小绝缘片的片尺寸。根据上述内容，能够降低功率模块的制造成本。
[0010]在引线框中，形成有第一框部位于第一高度、第二框部位于比第一高度高的第二高度的阶梯差，所以能够加长从载置IGBT —侧即散热面到MOSFET的距离，能够确保MOSFET的既定的绝缘性能。另外，因为高电流通电时MOSFET的通电能力比IGBT的通电能力小，所以能够缩小MOSFET的芯片尺寸。由此，能够进一步降低功率模块的制造成本。【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是实施方式1所涉及的功率模块的剖视图；
图2是功率模块的电路图；
图3是实施方式2所涉及的功率模块的剖视图；
图4是实施方式3所涉及的功率模块的剖视图；
图5是比较例所涉及的功率模块的剖视图。
【具体实施方式】
[0012]〈实施方式1>
以下使用【专利附图】
【附图说明】本发明的实施方式1。图1是本发明的实施方式1所涉及的功率模块1的剖视图，图2是功率模块1的电路图。如图1所示，功率模块1具备IGBT2、M0SFET3、驱动电路5、引线框10、20、对散热体的绝缘片30、以及模塑树脂6。
[0013]弓丨线框10具有与IGBT2以及M0SFET3电连接的内引线15和与内引线15相连的外引线16。内引线15具有位于既定的高度位置(第一高度)的第一框部11和位于比第一框部11的高度位置高的高度位置(第二高度)的第二框部12，从外引线16侧开始以第二框部
12、第一框部11的顺序形成。在第一框部11与第二框部12之间形成有阶梯差13。IGBT2搭载于第一框部11，M0SFET3搭载于第二框部12。
[0014]另外，绝缘片30仅配置于第一框部11的背面。在此，因为功率模块1在设置于导电性的降温装置(heat sink)(省略图10)上的状态下使用，所以出于将引线框10与降温装置绝缘的目的而配置绝缘片30。
[0015]通过加长从功率模块1的散热面即接触并载置于所述降温装置的面到M0SFET3的距离，在M0SFET3中，能够确保对散热面的既定的绝缘性能。因此，能够省略对第二框部12的背面的绝缘片30的配置。
[0016]驱动电路5是用于驱动IGBT2和M0SFET3的电路，驱动电路5搭载于引线框20的第三框部21。引线框20具有与驱动电路5电连接的内引线25和与内引线25相连的外引线26。第三框部21形成于内引线25，第三框部21形成于比第一框部11的高度位置高的高度位置。IGBT2、M0SFET3、驱动电路5、绝缘片30和引线框10、20的内引线15、25被模塑树脂6密封。
[0017]如图2所示，IGBT2与M0SFET3并联连接。更具体而言，IGBT2的集电极与M0SFET3的漏极连接，IGBT2的发射极与M0SFET3的源极连接。IGBT2的栅极与M0SFET3的栅极连接于驱动电路5的输出端子。此外，二极管4反并联连接于M0SFET3，它是内部寄生二极管4。
[0018]在此，在例如重负载驱动时等模块中的最大额定电流流动时等高电流通电时，M0SFET3的通电能力比IGBT2的通电能力小，所以在M0SFET3侧，高电流通电时流动的电流被抑制，过渡性损耗变小。
[0019]另外，采用如下结构:M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，在开关时的过渡状态下，全部电流流入IGBT2侦t
[0020]在作为开关器件而并联使用IGBT2和M0SFET3的结构中，一般将M0SFET3的阈值电压设定得较低，采用始终使IGBT2先关断，之后M0SFET3关断的顺序。
[0021]作为此时的效果，能够抑制拖尾电流以降低关断损耗，但是由于在过渡状态下全部电流(IGBT电流+ MOSFET电流)必然流入M0SFET3，所以M0SFET3温度上升。
[0022]与此相对，在本实施方式中，通过将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，抑制开关时流入M0SFET3的电流，由此抑制M0SFET3的温度上升。在此，IGBT2以及M0SFET3的阈值电压通过制造时的沟道注入的杂质量而设定。
[0023]接下来，说明功率模块1的电路动作。当从驱动电路5的输出端子输出的控制信号从低电位(“L”)变为高电位(“H”)而接通时，若对IGBT2以及M0SFET3供给栅极电压，则由于IGBT2的阈值电压较低，故IGBT2先接通，IGBT电流开始流动。
[0024]不久，当栅极电压到达M0SFET3的阈值电压时，M0SFET3接通，MOSFET电流开始流动。在M0SFET3接通时，IGBT2从接通开始经过了既定时间，IGBT2成为稳定状态，因此电流大部分流入IGBT2，几乎不流入M0SFET3。
[0025]如此，通过将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，能够抑制在接通时流入M0SFET3的电流。由此，能够抑制M0SFET3的温度上升。
[0026]另外，在控制信号从“H”变为“L”而关断的情况下，若对IGBT2以及M0SFET3供给的栅极电压开始下降，则由于M0SFET3的阈值电压较高，故M0SFET3先关断，MOSFET电流开始下降。之后，通过栅极电压降低从而IGBT电流开始下降，由于变得低于IGBT2的阈值电压，所以IGBT2关断，IGBT电流停止流动。
[0027]如此，通过将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，在关断时M0SFET3先关断，所以全部电流流入此时处于导通状态的IGBT2，电流不流入M0SFET3。由此，能够抑制M0SFET3的温度上升。
[0028]接下来，与比较例所涉及的功率模块100对比说明实施方式1所涉及的功率模块1的效果。图5是比较例所涉及的功率模块100的剖视图。此外，在比较例中，对与功率模块1同样的结构要素附以相同附图标记，省略说明。
[0029]在比较例所涉及的功率模块100中，引线框10具有第一框部11和第二框部12，IGBT2以及M0SFET3搭载于第一框部11。而且，由于将IGBT2与M0SFET3搭载于第一框部11，故从散热面到IGBT2以及M0SFET3的距离变短。因此，在M0SFET3中为了确保对散热面的既定的绝缘性能，不仅在IGBT2的下侧需要配置绝缘片30，而且在M0SFET3的下侧也需要配置绝缘片30。
[0030]与此相对，在实施方式1所涉及的功率模块1中，第二框部12形成于比第一框部11高的高度位置，IGBT2搭载于第一框部11，M0SFET3搭载于第二框部12。因此，由于从散热面到M0SFET3的距离变长，故在M0SFET3中能够确保对散热面的既定的绝缘性能。从而，绝缘片30仅配置于第一框部11的背面即可，不必配置于第二框部12的背面。
[0031]如上所述，在实施方式1所涉及的功率模块1中，由于高电流通电时的M0SFET3的通电能力比IGBT2的通电能力小，故能够增大IGBT2侧的损耗负担，减小M0SFET3侧的损耗负担，M0SFET3不需要高散热性。从而，在引线框10中的M0SFET3的搭载位置中不配置绝缘片30，仅在需要高散热的IGBT2的搭载位置即第一框部11的背面配置绝缘片30，所以能够缩小M0SFET3的芯片尺寸。此外，因为还能够减小绝缘片30的片尺寸，所以能够降低功率模块1的制造成本。
[0032]另外，在引线框10中，形成有第一框部11位于第一高度、第二框部12位于比第一高度高的第二高度的阶梯差13，所以能够加长从散热面到M0SFET3的距离，能够确保M0SFET3的既定的绝缘性能。
[0033]另外，因为高电流通电时的M0SFET3的通电能力比IGBT2的通电能力小，所以能够进一步缩小M0SFET3的芯片尺寸。由此，能够进一步降低功率模块1的制造成本。
[0034]另外，由于M0SFET3的导通阈值电压高于IGBT2的导通阈值电压，所以在过负载时的过渡状态下也能够防止大电流流入M0SFET3。由此，降低M0SFET3的开关过渡损耗，并且抑制M0SFET3的温度上升，所以能够提高功率模块1的长期可靠性。通过提高功率模块1的长期可靠性，长期使用成为可能，也关系到能量消耗量的削减。
[0035]此外，也可以不将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，作为代替，驱动电路5对IGBT2以及M0SFET3个别地输出控制信号，个别地驱动IGBT2以及M0SFET3。此时，驱动电路5以按IGBT2、M0SFET3的顺序接通，并且按M0SFET3、IGBT2的顺序关断的方式驱动IGBT2和M0SFET3，从而得到与将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高时同样的效果。在此，将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高的结构和驱动电路5个别地驱动IGBT2以及M0SFET3的结构不是必须的，也能够省略。
[0036]另外，作为M0SFET，还可以采用形成于碳化硅(SiC)衬底上的SiC-MOSFET。因为SiC-MOSFET与S1-MOSFET相比导通阈值电压低，所以尤其在关断时，以比采用Si_M0SFET时低的温度关断从而成为低损耗，能够进一步抑制MOSFET的温度上升，能够进一步提高功率模块1的长期可靠性。
[0037]<实施方式2>
接下来，说明实施方式2所涉及的功率模块1A。图3是示出本发明的实施方式2所涉及的功率模块1A的剖视图。此外，在实施方式2中，对与在实施方式1中说明的结构要素同样的结构要素附以相同附图标记，省略说明。
·[0038]在引线框10中从外引线16侧开始以第一框部11、第二框部12的顺序形成，搭载有驱动电路5的第三框部21位于邻接于第二框部12的位置。另外，第三框部21形成于比第一框部11的高度位置高的高度位置(第三高度)，例如，第三框部21的高度位置与第二框部12的高度位置为相同高度。因此，与图1所示的实施方式1中的驱动电路5与功率芯片(IGBT2以及M0SFET3)之间的导线31的布线长度相比，实施方式2中的驱动电路5与功率芯片之间的导线31的布线长度较短。
[0039]如上所述，在实施方式2所涉及的功率模块1A中，还具备其他弓丨线框20，该其他弓|线框20具有搭载有驱动电路5的第三框部21，其中，第三框部21形成于比第一高度高的第三高度，并且，在第一框部11以及第二框部12之中，第三框部21邻接于第二框部12，因而能够缩短驱动电路5与功率芯片之间的导线31的布线长度。由此，能够防止模塑树脂6所导致的导线偏移4 ^流Λ)，能够谋求产品的品质提高。如此，谋求产品的品质提高，也关系到成品率提闻。
[0040]<实施方式3>
接下来，说明实施方式3所涉及的功率模块1B。图4是本发明的实施方式3所涉及的功率模块1B。此外，在实施方式3中，对与在实施方式1、2中说明的结构要素同样的结构要素附以相同附图标记并省略说明。
[0041]在引线框10中，在第一框部11或第二框部12和外引线16之间除了阶梯差13之外还形成有其他阶梯差17。具体而言，在第二框部12与外引线16之间形成阶梯差17，与实施方式1的情况相比，第二框部12的高度位置稍低。因此，与实施方式1的情况相比，从IGBT2到M0SFET3的距离稍微变短，与实施方式1的情况相比热电阻降低。
[0042]如上所述，在实施方式3所涉及的功率模块1B中，因为在引线框10中，在第一框部11或第二框部12和外引线16之间除了阶梯差13之外还形成有其他阶梯差17，故能够确保必要的绝缘性，并且由于与不设置阶梯差17的情况相比从IGBT2到M0SFET3的距离稍微变短，能够降低M0SFET3的热电阻。由此，能够抑制M0SFET3的温度上升，进而能够提高功率模块1B的长期可靠性。
[0043]此外，本发明在其发明范围内能够自由地组合各实施方式，或者适当地对各实施方式进行变形、省略。
【权利要求】
1.一种功率模块，其中包括:IGBT ；MOSFET，与所述IGBT并联连接；引线框，具有搭载有所述IGBT的第一框部和搭载有所述MOSFET的第二框部，并且形成有所述第一框部位于第一高度、所述第二框部位于比所述第一高度高的第二高度的阶梯差；以及散热体的绝缘片，在所述引线框中仅配置于所述第一框部背面。
2.根据权利要求1所述的功率模块，其中还包括:驱动电路，驱动所述IGBT和所述MOSFET，所述驱动电路以按所述IGBT、所述MOSFET的顺序接通，并且按所述MOSFET、所述IGBT的顺序关断的方式驱动所述IGBT和所述MOSFET。
3.根据权利要求1所述的功率模块，其中，所述MOSFET的导通阈电压比所述IGBT的导通阈电压高。
4.根据权利要求1?3中任一项所述的功率模块，其中，所述MOSFET为SiC_MOSFET。
5.根据权利要求2所述的功率模块，其中还包括:其他引线框，具有搭载有所述驱动电路的第三框部，所述第三框部形成于比所述第一高度高的第三高度，并且，在所述第一、第二框部之中，所述第三框部邻接于所述第二框部。
6.根据权利要求1所述的功率模块，其中还包括:模塑树脂，密封所述IGBT、所述MOSFET和所述引线框的内引线，在所述引线框中，在所述第一、第二框部和外引线之间形成有区别于所述阶梯差的阶梯差。
【文档编号】H01L23/367GK103633077SQ201310124301
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年4月11日 优先权日:2012年8月21日
【发明者】白石卓也, 田中智典 申请人:三菱电机株式会社
【专利摘要】本发明涉及功率模块。功率模块（1）具备：IGBT（2）；MOSFET（3），与IGBT（2）并联连接；引线框（10），具有搭载有IGBT（2）的第一框部（11）和搭载有MOSFET（3）的第二框部（12），并且形成有第一框部（11）位于第一高度、第二框部（12）位于比第一高度高的第二高度的阶梯差（13）；以及散热体的绝缘片（30），在引线框（10）中仅配置于第一框部（11）的背面。从而能够调整IGBT与MOSFET的损耗负担并提高成本效率。
【专利说明】功率模块
【技术领域】
[0001]本发明涉及传递模塑类型的IPM (Intelligent Power Module:智能功率模块)等功率模块。
【背景技术】
[0002]在逆变器用途的功率模块中，在并联连接现有的IGBT (Insulated Gate BipolarTransistor:绝缘栅双极型晶体管)与FWD (Free Wheeling Diode:续流二极管)的结构中，在IGBT的特性上难以降低低电流区的损耗。
[0003]为了改善低电流区的损耗，考虑使用MOSFET (Metal-Oxide-SemiconductorField-Effect Transistor:金属氧化物半导体场效应晶体管)代替IGBT,但是在MOSFET中存在如下问题:因为高温、高电流范围的导通电压变高，所以容许电流变低。
[0004]为了解决此种问题，正在探讨将大电流区域中的饱和电压低的IGBT与小电流区域中的饱和电压低的MOSFET并联连接的结构(例如参照专利文献1)。
[0005]现有技术文献专利文献
专利文献1:日本特开平4 - 354156号公报。
【发明内容】
[0006]然而，在专利文献1所记载的结构中，欠缺调整IGBT与MOSFET的损耗负担的观点。因此，存在不能够通过所述调整而最优化功率模块的成本效率的问题。
[0007]因此，本发明的目的在于提供一种能够调整IGBT与MOSFET的损耗负担以提高成本效率的功率模块。
[0008]本发明的功率模块具备:IGBT ;M0SFET，与所述IGBT并联连接；引线框，具有搭载有所述IGBT的第一框部和搭载有所述MOSFET的第二框部，并且形成有所述第一框部位于第一高度、所述第二框部位于比所述第一高度高的第二高度的阶梯差；以及散热体的绝缘片，在所述弓I线框中仅配置于所述第一框部背面。
[0009]根据本发明，由于高电流通电时MOSFET的通电能力比IGBT的通电能力小，故能够增大IGBT侧的损耗负担，减小MOSFET侧的损耗负担，从而MOSFET不需要高散热性。因而，仅在需要高散热性的IGBT的搭载位置即第一框部背面配置绝缘片，在引线框中的MOSFET的搭载位置不需要配置绝缘片，因而能够减小绝缘片的片尺寸。根据上述内容，能够降低功率模块的制造成本。
[0010]在引线框中，形成有第一框部位于第一高度、第二框部位于比第一高度高的第二高度的阶梯差，所以能够加长从载置IGBT —侧即散热面到MOSFET的距离，能够确保MOSFET的既定的绝缘性能。另外，因为高电流通电时MOSFET的通电能力比IGBT的通电能力小，所以能够缩小MOSFET的芯片尺寸。由此，能够进一步降低功率模块的制造成本。【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1是实施方式1所涉及的功率模块的剖视图；
图2是功率模块的电路图；
图3是实施方式2所涉及的功率模块的剖视图；
图4是实施方式3所涉及的功率模块的剖视图；
图5是比较例所涉及的功率模块的剖视图。
【具体实施方式】
[0012]〈实施方式1>
以下使用【专利附图】
【附图说明】本发明的实施方式1。图1是本发明的实施方式1所涉及的功率模块1的剖视图，图2是功率模块1的电路图。如图1所示，功率模块1具备IGBT2、M0SFET3、驱动电路5、引线框10、20、对散热体的绝缘片30、以及模塑树脂6。
[0013]弓丨线框10具有与IGBT2以及M0SFET3电连接的内引线15和与内引线15相连的外引线16。内引线15具有位于既定的高度位置(第一高度)的第一框部11和位于比第一框部11的高度位置高的高度位置(第二高度)的第二框部12，从外引线16侧开始以第二框部
12、第一框部11的顺序形成。在第一框部11与第二框部12之间形成有阶梯差13。IGBT2搭载于第一框部11，M0SFET3搭载于第二框部12。
[0014]另外，绝缘片30仅配置于第一框部11的背面。在此，因为功率模块1在设置于导电性的降温装置(heat sink)(省略图10)上的状态下使用，所以出于将引线框10与降温装置绝缘的目的而配置绝缘片30。
[0015]通过加长从功率模块1的散热面即接触并载置于所述降温装置的面到M0SFET3的距离，在M0SFET3中，能够确保对散热面的既定的绝缘性能。因此，能够省略对第二框部12的背面的绝缘片30的配置。
[0016]驱动电路5是用于驱动IGBT2和M0SFET3的电路，驱动电路5搭载于引线框20的第三框部21。引线框20具有与驱动电路5电连接的内引线25和与内引线25相连的外引线26。第三框部21形成于内引线25，第三框部21形成于比第一框部11的高度位置高的高度位置。IGBT2、M0SFET3、驱动电路5、绝缘片30和引线框10、20的内引线15、25被模塑树脂6密封。
[0017]如图2所示，IGBT2与M0SFET3并联连接。更具体而言，IGBT2的集电极与M0SFET3的漏极连接，IGBT2的发射极与M0SFET3的源极连接。IGBT2的栅极与M0SFET3的栅极连接于驱动电路5的输出端子。此外，二极管4反并联连接于M0SFET3，它是内部寄生二极管4。
[0018]在此，在例如重负载驱动时等模块中的最大额定电流流动时等高电流通电时，M0SFET3的通电能力比IGBT2的通电能力小，所以在M0SFET3侧，高电流通电时流动的电流被抑制，过渡性损耗变小。
[0019]另外，采用如下结构:M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，在开关时的过渡状态下，全部电流流入IGBT2侦t
[0020]在作为开关器件而并联使用IGBT2和M0SFET3的结构中，一般将M0SFET3的阈值电压设定得较低，采用始终使IGBT2先关断，之后M0SFET3关断的顺序。
[0021]作为此时的效果，能够抑制拖尾电流以降低关断损耗，但是由于在过渡状态下全部电流(IGBT电流+ MOSFET电流)必然流入M0SFET3，所以M0SFET3温度上升。
[0022]与此相对，在本实施方式中，通过将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，抑制开关时流入M0SFET3的电流，由此抑制M0SFET3的温度上升。在此，IGBT2以及M0SFET3的阈值电压通过制造时的沟道注入的杂质量而设定。
[0023]接下来，说明功率模块1的电路动作。当从驱动电路5的输出端子输出的控制信号从低电位(“L”)变为高电位(“H”)而接通时，若对IGBT2以及M0SFET3供给栅极电压，则由于IGBT2的阈值电压较低，故IGBT2先接通，IGBT电流开始流动。
[0024]不久，当栅极电压到达M0SFET3的阈值电压时，M0SFET3接通，MOSFET电流开始流动。在M0SFET3接通时，IGBT2从接通开始经过了既定时间，IGBT2成为稳定状态，因此电流大部分流入IGBT2，几乎不流入M0SFET3。
[0025]如此，通过将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，能够抑制在接通时流入M0SFET3的电流。由此，能够抑制M0SFET3的温度上升。
[0026]另外，在控制信号从“H”变为“L”而关断的情况下，若对IGBT2以及M0SFET3供给的栅极电压开始下降，则由于M0SFET3的阈值电压较高，故M0SFET3先关断，MOSFET电流开始下降。之后，通过栅极电压降低从而IGBT电流开始下降，由于变得低于IGBT2的阈值电压，所以IGBT2关断，IGBT电流停止流动。
[0027]如此，通过将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，在关断时M0SFET3先关断，所以全部电流流入此时处于导通状态的IGBT2，电流不流入M0SFET3。由此，能够抑制M0SFET3的温度上升。
[0028]接下来，与比较例所涉及的功率模块100对比说明实施方式1所涉及的功率模块1的效果。图5是比较例所涉及的功率模块100的剖视图。此外，在比较例中，对与功率模块1同样的结构要素附以相同附图标记，省略说明。
[0029]在比较例所涉及的功率模块100中，引线框10具有第一框部11和第二框部12，IGBT2以及M0SFET3搭载于第一框部11。而且，由于将IGBT2与M0SFET3搭载于第一框部11，故从散热面到IGBT2以及M0SFET3的距离变短。因此，在M0SFET3中为了确保对散热面的既定的绝缘性能，不仅在IGBT2的下侧需要配置绝缘片30，而且在M0SFET3的下侧也需要配置绝缘片30。
[0030]与此相对，在实施方式1所涉及的功率模块1中，第二框部12形成于比第一框部11高的高度位置，IGBT2搭载于第一框部11，M0SFET3搭载于第二框部12。因此，由于从散热面到M0SFET3的距离变长，故在M0SFET3中能够确保对散热面的既定的绝缘性能。从而，绝缘片30仅配置于第一框部11的背面即可，不必配置于第二框部12的背面。
[0031]如上所述，在实施方式1所涉及的功率模块1中，由于高电流通电时的M0SFET3的通电能力比IGBT2的通电能力小，故能够增大IGBT2侧的损耗负担，减小M0SFET3侧的损耗负担，M0SFET3不需要高散热性。从而，在引线框10中的M0SFET3的搭载位置中不配置绝缘片30，仅在需要高散热的IGBT2的搭载位置即第一框部11的背面配置绝缘片30，所以能够缩小M0SFET3的芯片尺寸。此外，因为还能够减小绝缘片30的片尺寸，所以能够降低功率模块1的制造成本。
[0032]另外，在引线框10中，形成有第一框部11位于第一高度、第二框部12位于比第一高度高的第二高度的阶梯差13，所以能够加长从散热面到M0SFET3的距离，能够确保M0SFET3的既定的绝缘性能。
[0033]另外，因为高电流通电时的M0SFET3的通电能力比IGBT2的通电能力小，所以能够进一步缩小M0SFET3的芯片尺寸。由此，能够进一步降低功率模块1的制造成本。
[0034]另外，由于M0SFET3的导通阈值电压高于IGBT2的导通阈值电压，所以在过负载时的过渡状态下也能够防止大电流流入M0SFET3。由此，降低M0SFET3的开关过渡损耗，并且抑制M0SFET3的温度上升，所以能够提高功率模块1的长期可靠性。通过提高功率模块1的长期可靠性，长期使用成为可能，也关系到能量消耗量的削减。
[0035]此外，也可以不将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高，作为代替，驱动电路5对IGBT2以及M0SFET3个别地输出控制信号，个别地驱动IGBT2以及M0SFET3。此时，驱动电路5以按IGBT2、M0SFET3的顺序接通，并且按M0SFET3、IGBT2的顺序关断的方式驱动IGBT2和M0SFET3，从而得到与将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高时同样的效果。在此，将M0SFET3的阈值电压设定得比IGBT2的阈值电压高的结构和驱动电路5个别地驱动IGBT2以及M0SFET3的结构不是必须的，也能够省略。
[0036]另外，作为M0SFET，还可以采用形成于碳化硅(SiC)衬底上的SiC-MOSFET。因为SiC-MOSFET与S1-MOSFET相比导通阈值电压低，所以尤其在关断时，以比采用Si_M0SFET时低的温度关断从而成为低损耗，能够进一步抑制MOSFET的温度上升，能够进一步提高功率模块1的长期可靠性。
[0037]<实施方式2>
接下来，说明实施方式2所涉及的功率模块1A。图3是示出本发明的实施方式2所涉及的功率模块1A的剖视图。此外，在实施方式2中，对与在实施方式1中说明的结构要素同样的结构要素附以相同附图标记，省略说明。
·[0038]在引线框10中从外引线16侧开始以第一框部11、第二框部12的顺序形成，搭载有驱动电路5的第三框部21位于邻接于第二框部12的位置。另外，第三框部21形成于比第一框部11的高度位置高的高度位置(第三高度)，例如，第三框部21的高度位置与第二框部12的高度位置为相同高度。因此，与图1所示的实施方式1中的驱动电路5与功率芯片(IGBT2以及M0SFET3)之间的导线31的布线长度相比，实施方式2中的驱动电路5与功率芯片之间的导线31的布线长度较短。
[0039]如上所述，在实施方式2所涉及的功率模块1A中，还具备其他弓丨线框20，该其他弓|线框20具有搭载有驱动电路5的第三框部21，其中，第三框部21形成于比第一高度高的第三高度，并且，在第一框部11以及第二框部12之中，第三框部21邻接于第二框部12，因而能够缩短驱动电路5与功率芯片之间的导线31的布线长度。由此，能够防止模塑树脂6所导致的导线偏移4 ^流Λ)，能够谋求产品的品质提高。如此，谋求产品的品质提高，也关系到成品率提闻。
[0040]<实施方式3>
接下来，说明实施方式3所涉及的功率模块1B。图4是本发明的实施方式3所涉及的功率模块1B。此外，在实施方式3中，对与在实施方式1、2中说明的结构要素同样的结构要素附以相同附图标记并省略说明。
[0041]在引线框10中，在第一框部11或第二框部12和外引线16之间除了阶梯差13之外还形成有其他阶梯差17。具体而言，在第二框部12与外引线16之间形成阶梯差17，与实施方式1的情况相比，第二框部12的高度位置稍低。因此，与实施方式1的情况相比，从IGBT2到M0SFET3的距离稍微变短，与实施方式1的情况相比热电阻降低。
[0042]如上所述，在实施方式3所涉及的功率模块1B中，因为在引线框10中，在第一框部11或第二框部12和外引线16之间除了阶梯差13之外还形成有其他阶梯差17，故能够确保必要的绝缘性，并且由于与不设置阶梯差17的情况相比从IGBT2到M0SFET3的距离稍微变短，能够降低M0SFET3的热电阻。由此，能够抑制M0SFET3的温度上升，进而能够提高功率模块1B的长期可靠性。
[0043]此外，本发明在其发明范围内能够自由地组合各实施方式，或者适当地对各实施方式进行变形、省略。
【权利要求】
1.一种功率模块，其中包括:IGBT ；MOSFET，与所述IGBT并联连接；引线框，具有搭载有所述IGBT的第一框部和搭载有所述MOSFET的第二框部，并且形成有所述第一框部位于第一高度、所述第二框部位于比所述第一高度高的第二高度的阶梯差；以及散热体的绝缘片，在所述引线框中仅配置于所述第一框部背面。
2.根据权利要求1所述的功率模块，其中还包括:驱动电路，驱动所述IGBT和所述MOSFET，所述驱动电路以按所述IGBT、所述MOSFET的顺序接通，并且按所述MOSFET、所述IGBT的顺序关断的方式驱动所述IGBT和所述MOSFET。
3.根据权利要求1所述的功率模块，其中，所述MOSFET的导通阈电压比所述IGBT的导通阈电压高。
4.根据权利要求1?3中任一项所述的功率模块，其中，所述MOSFET为SiC_MOSFET。
5.根据权利要求2所述的功率模块，其中还包括:其他引线框，具有搭载有所述驱动电路的第三框部，所述第三框部形成于比所述第一高度高的第三高度，并且，在所述第一、第二框部之中，所述第三框部邻接于所述第二框部。
6.根据权利要求1所述的功率模块，其中还包括:模塑树脂，密封所述IGBT、所述MOSFET和所述引线框的内引线，在所述引线框中，在所述第一、第二框部和外引线之间形成有区别于所述阶梯差的阶梯差。
【文档编号】H01L23/367GK103633077SQ201310124301
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年4月11日 优先权日:2012年8月21日
【发明者】白石卓也, 田中智典 申请人:三菱电机株式会社
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