专利名称：一种紫外激光器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光器，具体涉及一种紫外激光器。
背景技术：
目前，端面泵浦固体激光器是比较常见的激光器，具体应用中，对激光器所发出激光波长有多种需求，紫外激光器是其中一种，现有的紫外激光器主要包括泵浦光源、激光晶体、倍频晶体及合频晶体。其中，激光晶体接收到泵浦光源发射的泵浦光后，将泵浦光转换为基频光，该基频光通过所述倍频晶体后变为倍频光，倍频光和基频光通过合频晶体后转换成紫外激光，波长355nm。紫外激光可广泛应用于激光精密打标、切割等领域。一般的紫外激光器存在以下技术缺陷:激光输出功率小，稳定性差，调节不方便。
实用新型内容为了克服现有的紫外激光器激光输出功率小、稳定性差及调节不方便的不足，本实用新型提供一种紫外激光器，该紫外激光器具有结构紧凑、激光输出功率大、稳定性好及调节方便的特点。本实用新型所采用的技术方案是:一种紫外激光器，包括耦合镜、激光晶体、Q开关、倍频晶体及合频晶体，泵浦光通过耦合镜及激光晶体后转换为基频光并由Q开关控制，光路呈V型，全反镜和输出镜均为平凹型镜片且凹面相对，全反镜的凹面上有355nm高反镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，输出镜的凹面上有355nm高透镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，基频光和倍频光经全反镜反射后再经合频晶体形成紫外光，透过输出镜输出，未转换的532nm倍频光和1064nm基频光被输出镜反射；全反镜和输出镜分别安装在微调整镜架上。所述的微调整镜架由镜座、带法兰的镜片安装座及调整螺钉组成，调整螺钉穿过镜座与镜片安装座上的法兰螺纹连接，全反镜或输出镜镶嵌在镜片安装座内。本实用新型的特点是:由于采取上述技术方案，基频光和倍频光射入到全反镜的凹面后反射到合频晶体，将532nm的倍频光和1064nm的基频光转换为355nm紫外光，没转换的532nm的倍频光和1064nm的基频光被输出镜全部反射。另外，全反镜和输出镜分别安装在微调整镜架上，稳定性好，调节方便。
图1为本实用新型的光路图。图2为本实用新型中微调整镜架的结构示意图。图中1-耦合镜，2-激光晶体，3- Q开关，4-倍频晶体，5-全反镜，6_输出镜，7_合频晶体，8-镜座，9-法兰，10-镜片安装座，11-调整螺钉。
具体实施方式
[0010]
以下结合附图对本实用新型实施例作进一步说明:如图1结合图2所示，一种紫外激光器，包括耦合镜1、激光晶体2、Q开关3及倍频晶体4，泵浦光通过耦合镜I及激光晶体2后转换为基频光并由Q开关3控制，光路呈V型，全反镜5和输出镜6均为平凹型镜片且凹面相对，全反镜5的凹面上有355nm高反镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，输出镜6的凹面上有355nm高透镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，基频光和倍频光经全反镜5反射后入射到合频晶体7后形成紫外光，透过输出镜6输出，未被转换的532nm的倍频光和1064nm的基频光被输出镜6反射；全反镜5和输出镜6分别安装在微调整镜架上。由于采取上述技术方案，基频光和倍频光射入到全反镜5的凹面后反射到合频晶体7，一部分532nm的倍频光和1064nm的基频光转换为355nm紫外光，没转换的532nm的倍频光和1064nm的基频光被输出镜6全部反射。另外，全反镜5和输出镜6分别安装在微调整镜架上，稳定性好，调节方便。由图2所示，所述的微调整镜架由镜座8、带法兰9的镜片安装座10及调整螺钉11组成，调整螺钉11穿过镜座8与镜片安装座10上的法兰9螺纹连接，全反镜5或输出镜6镶嵌在镜片安装座10内。微调整镜架的具体工作原理参见中国专利CN201010202026.6，此处不作赘述。
权利要求1.一种紫外激光器，包括耦合镜(I)、激光晶体(2)、Q开关(3)及倍频晶体(4)，泵浦光通过耦合镜(I)及激光晶体(2)后转换为基频光并由Q开关(3)控制，其特征在于:光路呈V型，全反镜(5)和输出镜(6)均为平凹型镜片且凹面相对，全反镜(5)的凹面上有355nm高反镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，输出镜(6)的凹面上有355nm高透镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，基频光和倍频光经全反镜(5)反射后再经合频晶体(7)后形成紫外光透过输出镜(6)输出，532nm的倍频光和1064nm的基频光被输出镜(6)反射；全反镜(5)和输出镜(6)分别安装在微调整镜架上。
2.根据权利要求1所述的一种紫外激光器，其特征在于:所述的微调整镜架由镜座(8)、带法兰(9)的镜片安装座(10)及调整螺钉(11)组成，调整螺钉(11)穿过镜座⑶与镜片安装座(10)上的法兰(9)螺纹连接，全反镜(5)或输出镜(6)镶嵌在镜片安装座(10)内。
专利摘要一种紫外激光器。主要解决了现有的紫外激光器激光输出功率小、稳定性差及调节不方便的问题。其特征在于光路呈V型，全反镜(5)和输出镜(6)均为平凹型镜片且凹面相对，全反镜(5)的凹面上有355nm高反镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，输出镜(6)的凹面上有355nm高透镀膜、532nm高反镀膜和1064nm高反镀膜，基频光和倍频光经全反镜(5)反射后再经合频晶体(7)后形成紫外光透过输出镜(6)输出；全反镜(5)和输出镜(6)分别安装在微调整镜架上。该紫外激光器具有结构紧凑、激光输出功率大、稳定性好及调节方便的特点。
文档编号H01S3/105GK203056363SQ20132004000
公开日2013年7月10日 申请日期2013年1月23日 优先权日2013年1月23日
发明者钟正根, 郑长和 申请人:浙江嘉泰激光科技有限公司