激光器的制造方法
【专利摘要】本实用新型适用于激光器结构【技术领域】，提供了一种激光器，所述激光器，包括谐振腔，所述谐振腔设置阳极放电座、放电管和气路连接装置，所述阳极放电座固定连接在所述放电管上，所述放电管和/或气路连接装置上设置集尘器。采用本实用新型的技术方案，可以增加激光器的稳定性，且结构简单，维护方便，成本低廉。
【专利说明】激光器
【技术领域】
[0001]本实用新型属于光器结构【技术领域】，尤其涉及一种带有集尘器功能的激光器。
【背景技术】
[0002]高功率C02激光器的工作气体，包括C02，N2和He。激光跃迁发生在C02分子的电子基态的两个振动-转动能级之间。的作用是提N2高激光上能级的激励效率，He则有助于激光下能级的抽空。N2过多会引起激光器内部放电不稳定，过多会降低放电激励时的温度，He并且功率也随之降低。因此工作气体的比例，需要依据实际情况进行调整，达到既能满足功率需求，又能稳定工作的情况。
[0003]高功率C02激光器在工作时，工作气体中的C02有一部分在高压电离下会分解成一氧化碳(CO)和氧原子(O)。在高温状态下，氧原子会对工作电极(阴极和阳极)进行缓慢氧化，从而在谐振腔内释放出固体氧化物。这些氧化物最终会有一部分在谐振腔内的光学镜片上沉积起来，导致输出功率下降，输出模式设计模式存在偏差等，严重时会烧坏镜片，导致激光器无法工作。
[0004]另外，在谐振腔装配过程中带入的杂质及用于对谐振腔密封的硅胶及密封圈等，在接近真空(工作气压IOOmBar左右)状态下会缓慢释放。这些杂质与前面的固体氧化物一样，会缓慢地沉积光学镜片表面，影响激光器输出的功率和模式，对激光器的稳定工作产生不利影响。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种激光器，旨在解决激光器的谐振腔由于杂质沉淀工作不稳定的问题。
[0006]本实用新型是这样实现的，一种激光器，包括谐振腔，所述谐振腔设置阳极放电座、放电管和气路连接装置，所述阳极放电座固定连接在所述放电管上，所述放电管和/或气路连接装置上设置集尘器。
[0007]较优的，所述集尘器通过硅胶管固定连接所述放电管和/或气路连接装置。
[0008]较优的，所述谐振腔气路连接装置包括配气管、导气座、导气管，所述导气管一端连接所述阳极放电座，另外一端连接所述导气座，配气管通过导气座连通所述导气管，所述集尘器固定设置在所述配气管和/或导气管上。
[0009]较优的，所述集尘器呈囊袋状，其横截面呈圆形，包括起始部、弯曲部和尾部，其中，所述尾部低于弯曲部的弧顶。
[0010]较优的，所述集尘器由石英玻璃制成。
[0011]较优的，所述激光器为C02激光器。
[0012]由于本实用新型所公开的激光器，在谐振腔增加了一集尘器，可以防止杂事沉积在光学镜片表面，增加了激光器的稳定性，且结构简单，维护方便，成本低廉。【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型实施例提供的激光器的谐振腔气路结构示意图；
[0014]图2是本实用新型实施例所提供的激光器的集尘器外观结构示意图；
[0015]图3是本实用新型实施例提供激光器中集尘器工作原理示意图。
【具体实施方式】
[0016]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0017]本实用新型实施例所提供的激光器包括谐振腔，谐振腔设置阳极放电座、放电管和气路连接装置，阳极放电座固定连接在放电管上，放电管和/或气路连接装置上设置集尘器。
[0018]请参见图1，为本实用新型实施例提供的激光器的谐振腔气路结构示意图。谐振腔气路连接装置包括配气管1、导气座3、导气管4，导气管4 一端连接阳极放电座6，另外一端连接导气座3，配气管I通过导气座3连通导气管4，集尘器2固定设置在配气管I或导气管4上。通常集尘器2通过一软胶管连接配气管I或导气管4，具体为，软胶管的一端套接在集尘器2的起始部21，另外一端通过设置卡槽连接在配气管I或导气管4上。由于谐振腔内部气压为负压，因此软胶管不会从配气管或导气管上脱落，且这种连接方式也容易拆卸，当集尘器使用一段时间后，很轻易就拆卸下来进行维护。又由于谐振腔内温度较高，因此在本实施例中，建议采用石英玻璃制成的集尘器，防止集尘器2受到高温影响容易损坏。
[0019]此外，集尘器2也可以设置在放电管6上，集尘器2通过一软胶管连接放电管6，其连接的具体方式和原理，此处不再赘述。
[0020]下面结合图2和图3，对本实用新型实施例所提供的激光器的集尘器的工作原理，加以阐述。图2和图3中的A和B，均表示工作气体的流动方向。本实用新型实施例中的集尘器，其外部形状呈囊袋状(即类似盲肠的形状)，其横截面呈圆形，包括起始部21、弯曲部22和尾部23，其中，尾部23低于弯曲部22的弧顶，该结构使得进入集尘器的颗粒粉尘状杂质9不会从集尘机返回谐振腔10中，保证集尘效果。集尘器2起始部21通过软胶管与放电管或者配气管等连接。谐振腔工作时产生的杂质，随高速气流经过集尘器2时会有部分杂质沉积在集尘器2的尾部23，如图2所示。由于结构的原因，沉积到尾部23的杂质，不会再被吹出来进入气体循环。集尘器会减少污染物在镜片表面沉积的总量，从而减缓光学镜片被污染的程度，延长镜片的使用寿命。
[0021]本实用新型实施例中的激光器，优选采用C02激光器。采用本实用新型的技术方案，结构简单，激光器防尘效果好，维护容易，具有很强的实用性。
[0022]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种激光器，包括谐振腔，所述谐振腔设置阳极放电座、放电管和气路连接装置，所述阳极放电座固定连接在所述放电管上，其特征在于，所述放电管和/或气路连接装置上设置集尘器。
2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述集尘器通过硅胶管固定连接所述放电管和/或气路连接装置。
3.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述谐振腔气路连接装置包括配气管、导气座、导气管，所述导气管一端连接所述阳极放电座，另外一端连接所述导气座，配气管通过导气座连通所述导气管，所述集尘器固定设置在所述配气管和/或导气管上。
4.根据权利要求1或2或3所述的激光器，其特征在于，所述集尘器呈囊袋状，其横截面呈圆形，包括起始部、弯曲部和尾部，其中，所述尾部低于弯曲部的弧顶。
5.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，所述集尘器由石英玻璃制成。
6.根据权利要求1或2或3或5所述的激光器，其特征在于，所述激光器为C02激光器。
【文档编号】H01S3/22GK203660269SQ201320712503
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2013年11月12日 优先权日:2013年11月12日
【发明者】魏宁, 高云峰 申请人:深圳市大族激光科技股份有限公司