一种手动式加酸工具的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种湿法刻蚀机台的附属装置，尤其涉及一种手动式加酸工具，该手动式加酸工具包括保护箱和位于保护箱内部的抗腐蚀容器，所述抗腐蚀容器顶部设置有密封装置，该密封装置上设置有气体输入管和液体导出管，所述气体输入管上连接有气体泄压管；所述保护箱的侧壁上设置有气体输入管口和液体导出管口以及气体泄压管口，所述气体泄压管上设置有手动泄压阀。从而避免了由于抗腐蚀容器内的酸性液态化学物质泄露而导致的人员及环境安全隐患，同时也避免了在操作过程中化学物质挥发对人体产生的伤害。由于本实用新型工具为手动式加酸，使得在使用本工具进行加酸时，不用借助外接的能源，具有经济环保的效果。
【专利说明】—种手动式加酸工具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种湿法刻蚀机台的附属装置，尤其涉及一种手动式加酸工具。【背景技术】
[0002]加酸工具属于湿法刻蚀机台的附属装置，用于给湿法刻蚀机台提供所需要的酸性液态化学物质。目前，都是人工手动用吸油管把酸性液态化学物质从抗腐蚀容器中抽到机台进行作业，且操作人员需穿戴完整的安全防护装置。此种方法存在一定的缺陷，如由于吸油管经常实用容易老化，有酸性液态化学物质漏射的风险，并且无法避免在操作过程中挥发出来的化学物质，以及由于操作人员需穿戴完整的安全防护装置而引起的操作不便和身体内部很热等问题。
[0003]中国专利(申请号:201310289645.7)实用新型公开了一种加酸工具，包括机体和注酸机构，注酸机构包括设在机体上的注酸头，机体上设有输送待注酸电池的输送带I和输出注酸完成后的电池的输送带II，机体上设有用于将输送带I上的待注酸电池推至注酸头下方并将注酸头下方的注酸完成后的电池推至输送带II的推送机构，推送机构包括导轨和设在导轨上的推杆，推杆与驱动机构III传动连接并由驱动机构带动在导轨上往复移动。本发明通过设置导轨和推杆，待注酸电池在从输送带推送至注酸头下方时精确度相对较高。该工具未提到如保护箱等防护设备，存在酸性液态化学物质漏射等风险。
[0004]中国专利(申请号:201120180656.8)实用新型公开了一种加酸工具，包括加酸平台和设置在所述加酸平台上方的注酸模，还包括天平，所述天平设置在所述加酸平台上，且位于所述加酸模下方。该加酸机将加酸与称量过程结合在一起，减少了生产流程，同时在加酸过程中称量加酸量，可以随时统计蓄电池加酸量，避免了抽检过程，且通过滚道传输蓄电池，降低了工人的劳动强度。该工具并未解决现有技术中抗腐蚀容器泄露导致的操作人员环境安全隐患。
实用新型内容
[0005]鉴于上述问题，本实用新型提供一种手动式加酸工具。
[0006]本实用新型解决技术问题所采用的技术方案为:
[0007]一种手动式加酸工具，其中，所述加酸工具包括保护箱和位于保护箱内部的抗腐蚀容器；
[0008]所述抗腐蚀容器顶部设置有密封装置，该密封装置上设置有气体输入管和液体导出管，所述气体输入管上连接有气体泄压管；
[0009]所述保护箱的侧壁上设置有气体输入管口和液体导出管口以及气体泄压管口 ；
[0010]所述气体输入管包括气体输入口和气体输出口，该气体输入口通过所述气体输入管口与外部设备连接，所述气体输入管的气体输出口插入到所述抗腐蚀容器的内部；
[0011]所述液体导出管包括液体导入口和液体导出口，该液体导入口插入到所述抗腐蚀容器的内部，所述液体导出管的液体导出口通过所述液体导出管口与外部设备连接；[0012]所述气体泄压管上设置有手动泄压阀。
[0013]所述的手动式加酸工具，其中，所述保护箱的上表面设置有板状开口。
[0014]所述的手动式加酸工具，其中，所述抗腐蚀容器固定于所述保护箱的底部。
[0015]所述的手动式加酸工具，其中，所述气体输入管上设置有第一手动阀门和调压阀门。
[0016]所述的手动式加酸工具，其中，所述气体泄压管上还设置有自动泄压阀门。
[0017]所述的手动式加酸工具，其中，所述液体导出管上设置有第二手动阀门。
[0018]所述的手动式加酸工具，其中，所述液体导出管的液体导入口位于所述抗腐蚀容器的底部。
[0019]所述的手动式加酸工具，其中，所述气体输入管的气体输入口高于所述液体导出管的液体导入口。
[0020]所述的手动式加酸工具，其中，所述第一手动阀门和调压阀门均设置于位于所述气体输入管口和所述气体输入口之间的所述气体输入管上。
[0021]所述的手动式加酸工具，其中，所述第二手动阀门位于所述保护箱的外部。
[0022]上述技术方案具有如下优点或有益效果:
[0023]本实用新型通过在保护箱内设置抗腐蚀容器，使本实用新型工具有效防止抗腐蚀容器内的酸性液态化学物质泄露导致的人员及环境安全隐患，同时也避免了在操作过程中化学物质挥发对人体产生的伤害；本实用新型工具的加酸方式为手动式加酸，使得在使用本工具进行加酸时，不用借助外接的能源，具有经济环保的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]参考所附附图，以更加充分的描述本实用新型的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本实用新型范围的限制。
[0025]图1是本实用新型手动式加酸工具的保护箱外部结构示意图。
[0026]图2是本实用新型手动式加酸工具的保护箱内部结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
[0028]图1是本实用新型手动式加酸工具的保护箱外部结构示意图；如图1所示，一种手动式加酸工具，包括保护箱11和位于该保护箱11内部的抗腐蚀容器12，优选的，所述抗腐蚀容器内部装有酸性液体，顶部设有密封装置(图中未标出)，且所述抗腐蚀容器12由固定装置(图中未标出)固定于所述保护箱11的内部，以避免实际操作中由于所述抗腐蚀容器12的不稳定而导致该抗腐蚀容器内的酸性液体溅出；所述保护箱的大小应保证在设置抗腐蚀容器后仍剩有足够的空间来设置其他设备，如导管设备等；所述保护箱11的外壁的一侧设置有气体输入管口 13和液体导出管口 14，该气体输入管口 13和液体导出管口 14作为保护箱11内部导管设备与外界连接的通道，且所述气体输入管口 13的半径小于所述液体导出关口 14的半径；在与所述设置有气体输入管口 13和液体导出管口 14的侧壁的对面位置的侧壁上设置有气体泄压管口 15 ;所述设置有气体输入管口 13和液体导出管口 14的侧壁以及相对侧壁分别设置有凹槽结构19，该凹槽结构19可方便搬抬所述保护箱11 ;所述保护箱11的上表面设置有板状开口 16，以及板状开口 16的固定装置17和把手装置18，所述板状开口 16具有闭合状态和打开状态，用以方便对所述抗腐蚀容器12内添加酸性液体；所述固定装置17为可拆卸式装置，在实际操作中将所述抗腐蚀容器12固定于所述保护箱11的底部，如需将所述抗腐蚀容器12从所述保护箱11内取出时，也可拆下所述固定装置17，从而方便不同工艺时的需要；所述把手装置18为凹陷式结构，当需要搬运所述保护箱11时，操作人员可将两手的手指分别放入两个把手装置内，以此方便搬运。
[0029]优选的，所述保护箱的材质为抗腐蚀材质，以对抗腐蚀容器12内的酸性液体和挥发出的酸性气体形成有效的阻挡作用。
[0030]如图2所示，在气体输入管21上依次设置有第一手动阀门22和调压阀门23 ;所述第一手动阀门22相较于所述调压阀门23更靠近于气体输入管21的气体输入口 26，且该第一手动阀门22与所述调压阀门23为串联式结构；在所述调压阀门23与所述气体输入管21的气体输出口 27之间还连接有气体泄压管35，该气体泄压管上35上设置有手动泄压阀门24和自动泄压阀门25，且该手动泄压阀门24和所述自动泄压阀门25为并联式结构，上述气体泄压管35的一端与气体输入管21相连接，另一端插入上述位于保护箱11侧壁的气体泄压管口 15 ;上述的气体输入管21的气体输出口 27位于所述抗腐蚀容器12内酸性液体30的上方且不与该酸性液体30相接处；所述酸性液体30之中浸没有液体导出管31的液体导入口 28，所述液体导出管31上还设置有第二手动阀门34，用来控制导出的酸性液体30，且所述液体导出管31的液体导出口 32连接于外部的刻蚀机台(由于结构关系，机台未在图中标出)来进行湿法刻蚀工艺。
[0031]优选的，所述调压阀门23还设置有压力表33，从而使操作人员能够更加方便的了解工具内部的使用情况。
[0032]下面结合附图对本实用新型一种手动式加酸工具的使用方法进行说明:
[0033]首先，如图1所示，利用保护箱11上表面的把手装置18使板状开口 16围绕固定装置17做轴心旋转，直到所述板状开口 16处于打开状态；然后将酸性液体30注入到抗腐蚀容器12内，并且不能超过所述抗腐蚀容器可承受的最大压力值(优选的，注入量为抗腐蚀容器12容积的2/3)，以保障操作的安全性；然后关闭板状开口 16，设定自动泄压阀门25的阀值，优选的，该阀值应小于容器可承受最大压力值的2/3，并且设定调压阀门22的压力值不得高于所述自动泄压阀门25的阀值，为操作的安全性提供进一步的保障，至此准备工作完成。
[0034]然后，打开位于液体导出管31上的第二手动阀门34，同时打开第一手动阀门22使输入气体由气体输入口 26进入到气体输入管21内；优选的，输入气体为N2 ;所述输入气体经过调压阀门23后到达所述气体输入管21的气体输出口 27，其中，操作人员可以通过所述调压阀门后面的压力表33来观察输入气体的压力值，从而可以通过调压阀门进行手动的气压调节，以满足不同工艺中的不同需求；同时，如果所述自动泄压阀门25出现了故障，还可以利用与该自动泄压阀门25相并联的手动泄压阀门24来降低气体压力值，实现对操作人员的人身安全的最大保障，其中，被所述手动泄压阀门24或自动泄压阀门25排出的气体则通过插入到气体泄压管口 15的气体泄压管35来排放到外界，以此防止易挥发气体外泄，从而可以进一步保护环境及人身安全，同时考虑到被排放到外界的气体可能会对环境造成污染，所以本实施例选择了化学性质较为稳定的N2作为输入气体，从而达到环保的功效。[0035]进一步的，由于输入的气体增大了抗腐蚀容器内的气压，迫使抗腐蚀容器12内的酸性液体30通过液体导入口 28进入到液体导出管31内，所述酸性液体可以是王水(即HC1/HNO3混酸)等；由于第二手动阀门34已处于打开状态，所以所述酸性液体将会通过所述保护箱11侧壁的液体导出管口 14流向外界的湿法刻蚀机台，并完成加酸工艺。
[0036]综上所述，本实用新型通过在保护箱内设置抗腐蚀容器，使本实用新型工具有效防止抗腐蚀容器内的酸性液态化学物质泄露导致的人员及环境安全隐患，同时也避免了在操作过程中化学物质挥发对人体产生的伤害；本实用新型工具的手动式加酸以及选择N2作为输入的气体，使得在使用本工具进行加酸时，不用借助外接的能源，具有经济环保的效果O
[0037]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本实用新型的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本实用新型的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种手动式加酸工具，其特征在于，所述加酸工具包括保护箱和位于保护箱内部的抗腐蚀容器； 所述抗腐蚀容器顶部设置有密封装置，该密封装置上设置有气体输入管和液体导出管，所述气体输入管上连接有气体泄压管； 所述保护箱的侧壁上设置有气体输入管口和液体导出管口以及气体泄压管口； 所述气体输入管包括气体输入口和气体输出口，该气体输入口通过所述气体输入管口与外部设备连接，所述气体输入管的气体输出口插入到所述抗腐蚀容器的内部； 所述液体导出管包括液体导入口和液体导出口，该液体导入口插入到所述抗腐蚀容器的内部，所述液体导出管的液体导出口通过所述液体导出管口与外部设备连接； 所述气体泄压管上设置有手动泄压阀。
2.如权利要求1所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述保护箱的上表面设置有板状开口。
3.如权利要求1所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述抗腐蚀容器固定于所述保护箱的底部。
4.如权利要求1所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述气体输入管上设置有第一手动阀门和调压阀门。
5.如权利要求1所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述气体泄压管上还设置有自动泄压阀门。
6.如权利要求1所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述液体导出管上设置有第二手动阀门。
7.如权利要求1所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述液体导出管的液体导入口位于所述抗腐蚀容器的底部。
8.如权利要求1所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述气体输入管的气体输入口高于所述液体导出管的液体导入口。
9.如权利要求4所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述第一手动阀门和调压阀门均设置于位于所述气体输入管口和所述气体输入口之间的所述气体输入管上。
10.如权利要求6所述的手动式加酸工具，其特征在于，所述第二手动阀门位于所述保护箱的外部。
【文档编号】H01L21/67GK203631501SQ201320746956
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年11月22日 优先权日:2013年11月22日
【发明者】雍杰, 朱炎军 申请人:中航（重庆）微电子有限公司