一种成膜基板液相清洗用石英夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种成膜基板液相清洗用石英夹具。使用本实用新型能够有效夹住成膜基板，并且在清洗过程中不损害成膜基板，清洗效果好。本实用新型的成膜基板液相清洗用石英夹具包括U型提手和底座，其中，提手焊接在底座上；底座分为两层，由下往上依次为石英平板和定位板；石英平板和定位板的中间部分设有空槽；定位板上空槽两侧对称地设有固定槽；固定槽的宽度比成膜基板的厚度大。本实用新型的石英夹具可以应用于多种尺寸的成膜基板的清洗，提高了夹具的适用性，并且结构简单易加工，使用方便，清洗过程中不会对成膜基板造成损害，成膜基板的清洗合格率为100%。
【专利说明】一种成膜基板液相清洗用石英夹具
【技术领域】
[0001]本发明涉及成膜基板清洗技术，具体涉及一种成膜基板液相清洗用石英夹具。
【背景技术】
[0002]洁净的成膜基板是混合集成电路生产的基本要求，虽然成膜基板在制造过程中有着严格的过程控制措施，但在激光调阻、检验评价以及内部转运过程中，不可避免地会沾染上一些污染物，而这些污染物对后道工序的影响是非常大的(很容易造成键合不良或键合脱键)，因此，成膜基板在封装前必须进行液相清洗，以确保其表面的洁净度。常规的成膜基板液相清洗工艺是将基板平铺在烧杯底部倾倒溶液进行超声清洗，然后将成膜基板放入到烘箱中烘干。但在倾倒溶液的过程中，成膜基板不可避免地会相互叠加、碰撞，因而导致基板棱角部位与其他基板的表面电路图形产生硬性接触，造成划伤、破损等缺陷，而叠加后的成膜基板在超声的作用下，会使划伤等缺陷更加严重。这些划伤缺陷会导致膜层附着力下降，在后期试验过程中极易出现膜层脱落等问题，因此对于此类基板，一般都做报废处理，这使得成膜基板液相清洗的合格率非常低。如果用夹具等对成膜基板进行固定，虽然成膜基板在清洗过程中不产生磕碰，但是电路图形距基板边缘只有300 μ m的距离，夹具不能夹到电路图形上，同时还必须留出基板插入拔出时足够的安全余量，实现难度较大。同时，夹具夹持部位表面平整度要求非常高，否则在毛刺应力的作用下，基板表面会出现划伤、裂纹、破损等缺陷；此外，由于夹具和基板紧密接触，清洗液无法渗入，因此夹持部位的清洗洁净度无法保证。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本发明提供了一种成膜基板液相清洗用石英夹具，能够有效夹住成膜基板，并且在清洗过程中不损害成膜基板，清洗效果好。
[0004]本发明的成膜基板液相清洗用石英夹具包括U型提手和底座，其中，提手焊接在底座上；底座分为两层，由下往上依次为石英平板和定位板；石英平板和定位板的中间部分设有空槽；定位板上空槽两侧对称地设有固定槽；固定槽的宽度比成膜基板的厚度大。
[0005]其中，石英平板和定位板之间的间距为成膜基板长度的1/3?1/2。
[0006]空槽的宽度大于成膜基板宽度尺寸的1/2。
[0007]固定槽的宽度比成膜基板的厚度大0.2?0.4mm。
[0008]固定槽的长度为4?8mm。
[0009]固定槽之间间隔大于成膜基板长度的1/4。
[0010]有益效果:
[0011]采用本发明的石英夹具，可以有效地夹住成膜基板进行清洗并不对成膜基板造成损害，成膜基板的清洗合格率为100%。
[0012]本发明的石英夹具可以应用于多种尺寸的成膜基板的清洗，提高了夹具的适用性，并且结构简单易加工，使用方便。【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为石英夹具示意图。
[0014]图2为石英夹具定位板示意图
[0015]图3为石英夹具整体立体图。
[0016]图4为夹有成膜基板的石英夹具。
[0017]其中，1-提手，2-石英平板,3-定位板,4-固定槽,5-空槽。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图并举实施例，对本发明进行详细描述。
[0019]本发明提供了一种成膜基板液相清洗用石英夹具，如图1所示，所述夹具材料为石英玻璃，石英玻璃具有良好的表面洁净度，硬度适中，表面光滑，在液相清洗过程中，即使与基板表面接触，也不会产生划伤等缺陷。
[0020]所述夹具包含U型提手I和底座，其中，提手I的两头焊接在底座上，这样可以保证夹具在提动时的牢固性。提手I的长度略高于烧杯的高度，以方便操作人员提动夹具。
[0021]所述夹具的底座一体成型，分为两层，由下往上依次为石英平板2和定位板3。石英平板2用来支撑夹具以及插入的成膜基板，定位板3用来固定成膜基板，防止成膜基板互相磕碰。石英平板2和定位板3之间的间距为成膜基板长度的1/3?1/2，使得成膜基板可以在夹具中立住。
[0022]石英平板2和定位板3中间空槽5的宽度应略大于成膜基板宽度尺寸的1/2，使得成膜基板插入后，基板边缘部分能通过固定槽4进行固定，如图4所示，同时，可以减小超声波的能量损失，提高清洗效果。
[0023]定位板3上固定槽4的宽度比成膜基板的厚度大0.2?0.4mm,以保证成膜基板可以在固定槽4内小范围活动又不脱离固定槽4，这样可以保证基板能够顺利地插入拔出，同时又不会磨伤表面的电路图形；此外，这种固定槽4设计可以使清洗液与基板表面实现最大程度的接触，保证清洗效果。固定槽4的长度一般设计为4?8_，目的是提高夹具的通用性。固定槽4之间间隔应大于成膜基板长度的1/4，以保证成膜基板插入夹具后，相互之间不会产生磕碰。
[0024]例如，对于所洗成膜基板尺寸为22X 16X0.635_，石英夹具尺寸如下:
[0025]提手I的长度为165mm,石英平板2和定位板3之间的间距为8mm,定位板3中固定槽4之间间隔为6mm,石英平板2和定位板3中间空槽5的宽度为13mm,固定槽4的宽度为Imm,固定槽4的长度为6mm。
[0026]在夹具加工过程中，使用火烧工艺去除夹具槽口内壁的玻璃毛刺，以保证槽口内壁的平整光滑，使用抛光高温火枪对石英夹具整体进行抛光抛亮，提高美观性。夹具生产全过程均用高纯去离子水进行清洗，以保证石英夹具的高洁净度。石英夹具的实物图如图3、图4所示。
[0027]采用本发明的夹具对成膜基板进行清洗，清洗后进行目检，效果良好，成膜基板表面光亮、洁净，无多余物和划伤等缺陷，清洗100片，合格率为100%。将清洗完成的成膜基板，按工艺文件的要求进行了器件封装，封装完成后进行了电性能测试，各项指标均正常，满足设计要求。将常温电性能测试合格的样品按GJB548B-2005《微电子器件试验方法和程序》的相关要求进行了温度循环、机械冲击、老练等多项筛选试验，均顺利通过。将筛选合格的样品按GJB548B-2005《微电子器件试验方法和程序》的相关要求进行了更严格的质量一致性检验，各项性能指标均满足要求。
[0028]综上所述，以上仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，包括U型提手(I)和底座，其中，提手(I)焊接在底座上；底座分为两层，由下往上依次为石英平板(2)和定位板(3);石英平板(2 )和定位板(3 )的中间部分设有空槽(5 );定位板(3 )上空槽两侧对称地设有固定槽(4 );固定槽(4)的宽度比成膜基板的厚度大。
2.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述石英平板(2)和所述定位板(3)之间的间距为成膜基板长度的1/3?1/2。
3.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述空槽(5)的宽度大于成膜基板宽度尺寸的1/2。
4.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述固定槽(4)的宽度比成膜基板的厚度大0.2?0.4mm。
5.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述固定槽(4)的长度为4?8_。
6.如权利要求1所述的成膜基板液相清洗用石英夹具，其特征在于，所述固定槽(4)之间间隔大于成膜基板长度的1/4。
【文档编号】H01L21/687GK203774276SQ201320779537
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2013年11月29日 优先权日:2013年11月29日
【发明者】王尚智, 王洪元, 赵丹 申请人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一三研究所