用于测验有机图案的方法
【专利摘要】一种用于测验有机图案的方法包括：通过掩模在测验基板上形成有机图案；通过拍摄测验基板的预定测验区域获取测验图像；以及检查显示到测验图像的有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘。
【专利说明】用于测验有机图案的方法
【技术领域】
[0001]本公开的技术总体涉及用于测验有机图案的方法。
【背景技术】
[0002]显示装置是一种用于显示图像的装置，并且最近，有机发光二极管(OLED)显示器备受:关注。
[0003]有机发光二极管显示器具有自发光型特征，并且不同于液晶显示装置，因为该显示器无需额外的光源，所以还降低了厚度和重量。另外，有机发光二极管显示器呈现如低电耗、闻売度以及快速的响应速度等的闻品质特征。
[0004]公开于本【背景技术】部分的上述信息仅仅用于增加所描述技术的【背景技术】的理解并且因此可以包含本国的本领域技术人员已知的但未形成现有技术的信息。
【发明内容】
[0005]所描述的技术旨在提供用于简单地测验通过掩模沉积在基板上的有机图案的方法。
[0006]一个示例性实施方式提供用于测验有机图案的方法包括:通过掩模在测验基板上形成有机图案，其中，所形成的有机图案被显示到所述测验图像；通过拍摄测验基板的预定测验区域获取测验图像；以及检查显示到测验图像的有机图案的边缘是否超出显示在所述测验图像中的虚拟测验图的边缘。
[0007]测验基板的预定测验区域包括:图案区域，其中第一像素图案、第二像素图案和第三像素图案彼此相邻；以及非图案区域，与图案区域相邻，并且通过拍摄包括图案区域和非图案区域的测验区域可以执行测验图像的获取。
[0008]通过掩模在测验基板上形成有机图案的步骤包括:通过第一掩模在测验基板上形成多个第一有机图案以覆盖图案区域的第一像素图案以及非图案区域的第一部分；通过第二掩模在测验基板上形成多个第二有机图案以覆盖图案区域的第二像素图案以及非图案区域的第二部分；以及通过第三掩模在测验基板上形成多个第三有机图案以覆盖图案区域的第三像素图案以及非图案区域的第三部分。
[0009]检查显示到测验图像的有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘的步骤包括:检查第一有机图案的边缘是否超出显示到非图案区域的第一部分的虚拟第一测验图的边缘；检查第二有机图案的边缘是否超出显示到非图案区域的第二部分的虚拟第二测验图的边缘；以及检查第三有机图案的边缘是否超出显示到非图案区域的第三部分的虚拟虚拟第三测验图的边缘。
[0010]虚拟第一测验图、虚拟第二测验图和虚拟第三测验图沿着第一方向的深度分别与第一像素图案、第二像素图案和第三像素图案沿着第一方向的深度对应。
[0011]通过在虚拟第一测验图与第一像素图案之间的第二有机图案，虚拟第一测验图可以从第一像素图案分离；通过在虚拟第二测验图与第二像素图案之间的第一有机图案，虚拟第二测验图可以从第二像素图案分离；以及通过在虚拟第三测验图与第三像素图案之间的第二有机图案，虚拟第三测验图可以从第三像素图案分离。
[0012]虚拟第一测验图、虚拟第二测验图和虚拟第三测验图分别具有不同尺寸的图形。
[0013]虚拟第一测验图可以被提供在相邻的第一像素图案之间；虚拟第二测验图可以被提供在相邻的第二像素图案之间；以及虚拟第三测验图可以被提供在相邻的第三像素图案之间。
[0014]虚拟第一测验图、虚拟第二测验图和虚拟第三测验图分别具有相同尺寸的图形。
[0015]第二有机图案沿着第一方向进行延伸并且沿着与第一方向交叉的第二方向彼此分离，通过在第一有机图案与第三有机图案之间的第二有机图案，第一有机图案沿着第二方向从第三有机图案分离，并且第三有机图案沿着第一方向与第一有机图案相邻。检查显示到测验图像的有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘的步骤包括:检查第一像素图案的各个边缘是否可以被提供在沿着第二方向布置的两个虚拟第一像素图内侧，并且检查虚拟第四测验图的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖第二像素图案的第二有机图案的边缘和覆盖第二部分的第二有机图案的边缘，其中，虚拟第四测验图具有沿着第一方向从第一像素图分离并且沿着第二方向延伸的中心区域；检查第二像素图案的各个边缘是否可以被提供在沿着第二方向布置的两个虚拟第二像素图内侧，并且检查虚拟第五测验图的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖第三像素图案的第三有机图案的边缘和覆盖第一部分的第一有机图案的边缘，其中，虚拟第五测验图具有沿着第一方向从第二像素图分离并且沿着第二方向延伸的中心区域；以及检查第三像素图案的各个边缘是否可以被提供在沿着第二方向布置的两个虚拟第三像素图内侧，并且检查虚拟第六测验图的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖第二像素图案的第二有机图案的边缘和覆盖第二部分的第二有机图案的边缘，其中，虚拟第六测验图具有沿着第一方向从第三像素图分离并且沿着第二方向延伸的中心区域。
[0016]通过第一有机图案之间的第三有机图案，第一有机图案沿着第一方向彼此分离，并且检查显示到测验图像的有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘的步骤还包括:检查第一像素图案的各个边缘是否可以被提供在沿着第一方向布置的两个虚拟第四像素图内侧，并且检查虚拟第七测验图的第一边缘和第二边缘是否超出通过在两个第一有机图案之间的第三有机图案而被分离的两个第一有机图案的边缘，其中，虚拟第七测验图具有沿着第二方向从第四象素图像分离并且沿着第一方向延伸的中心区域；以及检查第三像素图案的各个边缘是否可以被提供在沿着第一方向布置的两个虚拟第五像素图内侧，并且检查虚拟第八测验图的第一边缘和第二边缘是否超出通过在两个第三有机图案之间的第一有机图案而被分离的两个第三有机图案的边缘，其中，虚拟第八测验图具有沿着第二方向从第五像素图分离并且沿着第一方向延伸的中心区域。
[0017]根据实施方式，提供用于容易地测验通过掩模沉积在基板上的有机图案的方法。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]通过参照结合附图考虑的以下详细描述，本发明的更完整的理解以及许多本发明的所伴随的优点将变得显而易见且更好理解，其中相似的附图标记指示相同或相似的构件，在附图中:
[0019]图1示出根据第一示例性实施方式的用于测验有机图案的方法的流程图。
[0020]图2至图5示出根据第一示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。
[0021]图6示出根据第二示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。
[0022]图7和图8示出根据第三示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。
【具体实施方式】
[0023]在下文中，将参照附图更加完整地描述示例性实施方式。然而，本发明的概念可以以多种不同形式实现并且不应当被解释为限制于本文中所记载的示例性实施方式。在附图中，为了清晰起见，层和区域的尺寸和相对尺寸可以被夸大。
[0024]应当理解，当元件或层被称为在其他元件或层“上”、“连接到”或“耦合到”其他元件或层时，其可以为直接在其他元件或层上、直接连接到或耦合到其他元件或层，或者可以存在中间元件或层。相反，当元件被称为“直接”在其他元件或层“上”、“直接连接到”或“直接耦合到”其他元件或层时，不存在中间元件或层。贯穿全文，相同或相似的附图标记表示相同或相似元件。如本文中使用，用语“和/或”包括一个或多个相关所列项目的任意和所有组合。
[0025]应当理解，虽然用语第一、第二、第三等被用于本文中以描述多种元件、构件、区域、层、图案和/或部分，但是这些元件、构件、区域、层、图案和/或部分并不有这些用语限制。这些用语仅仅是用于区分一个元件、构件、区域、层、图案或部分与另一个区域、层、图案或部分。因此，在没有背离示例性实施方式的教导的情况下，下面所讨论的第一元件、构件、区域、层或部分可以被称为第二元件、构件、区域、层或部分。
[0026]空间性相对用语，如“下方”、“下”、“下面”、“上方”、“上面”等，可以为了描述的便利用于本文中以描述一个元件或特征与如图所示其他元件或特征的关联。应当理解，空间性相对用语旨在除了图中描绘的方向以外还包含装置在使用或操作中的不同方向。例如，如果图中的装置被倒置时，描述为在其他元件或特征“下”或“下方”的元件将被朝向其他元件或特征“上方”。因此示例性用语“下”可以包含上和下方向。装置可以被另外定向(转动90度或者到其他方向)并且相应地解释本文中使用的空间性相对描述。
[0027]本文中使用的术语仅仅是以描述特定示例性实施方式为目的并且并不旨在限制本发明。如本文中使用，除非在上下文中另有清楚的指示，否则单数形式旨在包括复数形式。应当进一步理解，当用于“包括”和/或“包括的”使用在本说明书中时，具体制定状态、特征、数量、步骤、操作、元件和/或构件的存在，而不是排除一个或多个特征、数量、步骤、操作、元件、构件和/或其群的存在或附加。
[0028]本文中通过参照作为说明性地理想化本发明概念的示例性实施方式(和中间结构)的示意性视图的剖面视图描述了示例性实施方式。因此，作为结果，例如，由于制造技术和/或公差，视图的多种形成形状是可以预期的。因此，示例性实施方式不应当被解释为限制本文所示区域的特定形状，而是包括例如，由于制造结果导致的形状偏差。图中所示区域实际上为示意性的，并且其形状并不旨在阐明装置区域的实际形状并且并不旨在限制本发明概念的范围。
[0029]除非另有所指，本文中使用的所有用语(包括技术用语和科学用语)具有与本发明所属领域普通技术人员的通常理解相同的含义。应当进一步理解，如在常用字典中定义的用语应当被解释为具有与其在相关领域的背景中的含义一致的含义，并且除非在本文中另有清楚的定义，否则不应当被解释为理想化或过于正式意义。
[0030]通常，有机发光二极管显示器包括基板和图案化为每个像素的有机层的有机图案。当有机发光二极管显示器被制造时，执行用于测验有机图案的方法。
[0031]传统的用于测验有机图案的方法通过使用高分辨率显微镜视觉测验通过掩模沉积在基板上的有机图案以确定有机图案是否存在问题，并且当有问题发生在有机图案上时，通过将基板、掩模或有机材料蒸发到掩模侧以纠正蒸发源。
[0032]参照图1至图5，将描述根据第一示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。
[0033]图1示出根据第一示例性实施方式的用于测验有机图案的方法的流程图。图2至图5示出根据第一示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。图4和图5示出通过拍摄形成有有机图案的测验基板的测验区域而获取的测验图像。
[0034]如图1所示，有机图案200可以通过掩模300形成在测验基板100上(S100)。
[0035]详细地，测验基板100并不是待制造成有机发光二极管(OLED)显示器的基板，而是用于测验的基板。也就是说，测验基板100是用于测验通过掩模300形成的有机图案200的额外的基板。如图4所示，测验基板100包括:图案区域PA，其中具有彼此相邻并且与待制造成有机发光二极管显示器的基板的第一像素、第二像素和第三像素对应的第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP ;以及与图案区域PA相邻的非图案区域NPA。测验基板100的非图案区域NPA包括分别与第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP对应的第一部分S1、第二部分S2和第三部分S3。
[0036]如图2所示，通过将源自沉积源400的有机材料通过掩模300沉积在测验基板100上，有机图案200可以通过掩模300被形成在测验基板100上。
[0037]如图4所示，有机图案200包括彼此相邻并且通过彼此不同的第一掩模、第二掩模和第三掩模形成在测验基板100上的第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3。
[0038]详细地，通过掩模300在测验基板100上形成有机图案200包括:通过第一掩模形成多个第一有机图案OPl以覆盖测验基板100的图案区域PA的第一像素图案RP以及与测验基板100上的第一像素图案RP对应的非图案区域NPA的第一部分SI ;通过第二掩模形成第二有机图案0P2以覆盖测验基板100的图案区域PA的第二像素图案GP以及与测验基板100上的第二像素图案GP对应的非图案区域NPA的第二部分S2 ；以及通过第三掩模形成多个第三有机图案0P3以覆盖测验基板100的图案区域PA的第三像素图案BP以及与测验基板100上的第三像素图案BP对应的非图案区域NPA的第三部分S3。
[0039]例如，第一有机图案OPl在制造成有机发光二极管显示器的基板上作为发出红光的有机发光层，第二有机图案0P2在制造成有机发光二极管显示器的基板上作为发出绿光的有机发光层，以及第三有机图案0P3在制造成有机发光二极管显示器的基板上作为发出蓝光的有机发光层。
[0040]如图3所示，可以通过拍摄测验基板100的预定测验区域TA获取测验图像(S200)。
[0041]详细地，可以通过使用包括如CXD相机的相机510的拍摄装置500拍摄测验基板100的预定测验区域TA以获取如图4或图5所示的测验图像TI。
[0042]如图4所示，通过拍摄包括测验基板100的图案区域PA和非图案区域NPA的测验基板100的测验区域TA，可以执行测验图像TI的获取。
[0043]如图4和图5所示，检查有机图案200的边缘是否超出虚拟测验图的边缘(S300)。
[0044]图4示出未在通过掩模300沉积在测验基板100上的第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3上产生沉积误差的测验图像TI，图5示出在通过掩模300沉积在测验基板100上的第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3上产生沉积误差的测验图像TI。
[0045]详细地，虚拟第一测验图TF1、第二测验图TF2和第三测验图TF3被显示在与非图案区域NPA的第一部分S1、第二部分S2和第三部分S3对应的测验图像TI中，并且在第一测验图TFl、第二测验图TF2和第三测验图TF3的一个方向上的各自的深度D与在第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP的一个方向上的深度D相同。
[0046]通过在第一测验图TFl与第一像素图案RP之间的第二有机图案0P2，第一测验图TFl可以从第一像素图案RP分离。
[0047]通过在第二测验图TF2与第二像素图案GP之间的第一有机图案0P1，第二测验图TF2可以从第二像素图案GP分离。通过在第三测验图TF3与第三像素图案BP之间的第二有机图案0P2，第三测验图TF3可以从第三像素图案BP分离。因为第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP具有不同的图，所以第一测验图TF1、第二测验图TF2和第三测验图TF3具有与第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP对应的尺寸不同的图形。
[0048]第一测验图TF1、第二测验图TF2和第三测验图TF3分别具有大体上四边形形状，并且不限于此，其可以具有多种图形，例如三角形、五角星或者圆形。
[0049]可以检查第一有机图案OPl的边缘是否超出显示到非图案区域NPA的第一部分SI上的虚拟第一测验图TFl的边缘。如图4所示，当第一有机图案OPl未超出显示到非图案区域NPA的第一部分SI上的虚拟第一测验图TFl的边缘时，可以确认不存在生成在第一有机图案OPl上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，如图5所示，当第一有机图案OPl的边缘超出显示到非图案区域NPA的第一部分SI上的虚拟第一测验图TFl的边缘时，可以确认存在有生成在第一有机图案OPl上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0050]检查第二有机图案0P2的边缘是否超出显示到非图案区域NPA的第二部分S2上的虚拟第二测验图TF2的边缘。如图4所示，当第二有机图案0P2的边缘未超出显示到非图案区域NPA的第二部分S2上的虚拟第二测验图TF2的边缘时，可以确认不存在生成在第二有机图案0P2上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，如图5所示，当第二有机图案0P2的边缘超出显示到非图案区域NPA的第二部分S2上的虚拟第二测验图TF2的边缘时，可以确认存在有生成在第二有机图案0P2上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0051]检查第三有机图案0P3的边缘是否超出显示到非图案区域NPA的第三部分S3上的虚拟第三测验图TF3的边缘。如图4所示，当第三有机图案0P3的边缘未超出显示到非图案区域NPA的第三部分S3上的虚拟第三测验图TF3的边缘时，可以确认不存在生成在第三有机图案0P3上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，如图5所示，当第三有机图案0P3的边缘超出显示到非图案区域NPA的第三部分S3上的虚拟第三测验图TF3的边缘时，可以确认存在有生成在第三有机图案0P3上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0052]可以通过包括终端的控制器执行上述的有机图案200的边缘是否超出虚拟测验图像的边缘的检查，并且通过控制器执行的沉积误差的生成检查可以通过与控制器连接的显示器显示给用户。
[0053]因此，根据第一示例性实施方式的用于测验有机图案的方法拍摄包括测验基板100的图案区域PA和非图案区域NPA的测验区域TA、指定位置，以获取与测验区域TA对应的测验图像TI，并且该方法使用显示到非图案区域NPA的、与包括在测验图像TI的图案区域PA中的第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP对应的虚拟第一测验图TF1、第二测验图TF2和第三测验图TF3，以检查是否存在可能生成到第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3的沉积误差，由此简单地测验沉积到测验基板100的有机图案200。
[0054]也就是说，可以提供用于测验有机图案的方法，以简单地测验形成在单一测验基板100上的第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3的沉积误差，而不是测验单一有机图案200上的沉积误差。
[0055]这是用于改变形成第一有机图案OP1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3中的一个的处理环境(例如，基板的位置、掩模的形状、掩模的布置或者沉积源的布置)的信息，其中，当第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3分别被沉积在待制造成有机发光二极管显示器的基板上时，沉积误差可能生成到第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3中的一个，并且该信息可以被提供给制造有机发光二极管显示器的制造者。
[0056]参照图6，将描述根据第二示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。
[0057]在下文中，将仅描述与第一示例性实施方式不同的特征部分，并且省略已在根据第一不例性实施方式的描述中描述的部分。为了更好的理解和描述的便利，对于相同构成要素，第二示例性实施方式具有与第一示例性实施方式相同的附图标记。
[0058]图6示出根据第二示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。图6示出通过拍摄其上形成有有机图案的测验基板的测验区域获取的测验图像。
[0059]有机图案可以通过掩模形成在测验基板100上。
[0060]测验基板100的预定测验区域TA可以被拍摄以获取测验图像。
[0061]如图6所示,检查有机图案200的边缘是否超出虚拟测验图像的边缘。
[0062]详细地，形成在测验基板100上的第二有机图案0P2、第一有机图案OPl和第三有机图案0P3沿着第一方向X进行延伸，并且其沿着与第一方向X交叉的第二方向Y被依次独立地沉积。
[0063]虚拟第一测验图TF1、第二测验图TF2和第三测验图TF3被显示在与非图案区域NPA的第一部分S1、第二部分S2和第三部分S3对应的测验图像TI中。第一测验图TFl可以被提供在相邻的第一像素图案RP之间，第二测验图TF2可以被提供在相邻的第二像素图案GP之间，并且第三测验图TF3可以被提供在相邻的第三像素图案BP之间。第一测验图TF1、第二测验图TF2和第三测验图TF3分别具有相同尺寸的图形。
[0064]检查第一有机图案OPl的边缘是否超出显示到非图案区域NPA的第一部分SI的虚拟第一测验图TFl的边缘。如图6所示，当第一有机图案OPl的边缘未超出显示到非图案区域NPA的第一部分SI的虚拟第一测验图TFl的边缘时，确认不存在生成在第一有机图案OPl上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，当第一有机图案OPl的边缘超出显示到非图案区域NPA的第一部分SI的虚拟第一测验图TFl的边缘时，确认存在有生成在第一有机图案OPl上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0065]检查第二有机图案0P2的边缘是否超出显示到非图案区域NPA的第二部分S2的虚拟第二测验图TF2的边缘。如图6所示，当第二有机图案0P2的边缘未超出显示到非图案区域NPA的第二部分S2的虚拟第二测验图TF2的边缘时，确认不存在生成在第二有机图案0P2上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，当第二有机图案0P2的边缘超出显示到非图案区域NPA的第二部分S2的虚拟第二测验图TF2的边缘时，确认存在有生成在第二有机图案0P2上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0066]可以检查第三有机图案0P3的边缘是否超出显示到非图案区域NPA的第三部分S3的虚拟第三测验图TF3的边缘。如图6所示，当第三有机图案0P3的边缘未超出显示到非图案区域NPA的第三部分S3的虚拟第三测验图TF3的边缘时，确认不存在生成在第三有机图案0P3上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，当第三有机图案0P3的边缘超出显示到非图案区域NPA的第三部分S3的虚拟第三测验图TF3的边缘时，确认存在有生成在第三有机图案0P3上的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0067]可以通过包括终端的控制器执行上述的有机图案200的边缘是否超出虚拟测验图像的边缘的检查，并且通过控制器执行的沉积误差的生成检查可以通过与控制器连接的显示器显示给用户。
[0068]因此，根据第二示例性实施方式的用于测验有机图案的方法拍摄包括测验基板100的图案区域PA和非图案区域NPA的测验区域TA、指定位置，以获取与测验区域TA对应的测验图像TI，并且该方法使用显示到非图案区域NPA的、与包括在测验图像TI的图案区域PA中的第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP对应的虚拟第一测验图TF1、第二测验图TF2和第三测验图TF3，以检查是否存在生成到第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3的沉积误差，由此简单地测验沉积到测验基板100的有机图案200。
[0069]也就是说，提供了用于测验有机图案的方法，以简单地测验形成在单一测验基板100上的第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3的沉积误差而不是测验单一有机图案200上的沉积误差。
[0070]这是用于改变形成第一有机图案OP1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3中的一个的处理环境(例如，基板的位置、掩模的形状、掩模的布置或者沉积源的布置)的信息，其中，当第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3分别被沉积在待制造成有机发光二极管显示器的基板上时，沉积误差生成到第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3中的一个，并且该信息可以被提供给制造有机发光二极管显示器的制造者。
[0071]参照图7和图8，将描述根据第三示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。
[0072]在下文中，将描述与第一示例性实施方式不同的特征部分，并且省略已在根据第一不例性实施方式的描述中描述的部分。为了更好的理解和描述的便利，对于相同构成要素，第三示例性实施方式具有与第一示例性实施方式相同的附图标记。
[0073]图7和图8示出根据第三示例性实施方式的用于测验有机图案的方法。图7和图8示出通过拍摄其上形成有有机图案的测验基板的测验区域获取的测验图像。
[0074]有机图案可以通过掩模形成在测验基板100上。
[0075]测验基板100的预定测验区域TA可以被拍摄以获取测验图像。
[0076]如图7和图8所示，检查有机图案200的边缘是否超出虚拟测验图像的边缘。
[0077]详细地，形成在测验基板100上的多个第二有机图案0P2沿着第一方向X进行延伸，并且沿着与第一方向X交叉的第二方向Y分离。通过在第一有机图案OPl之间的第三有机图案0P3，第一有机图案OPl沿着第一方向X被相互分离，并且通过在第一有机图案OPl与第三有机图案0P3之间的第二有机图案0P2，第一有机图案OPl沿着第二方向Y从第三有机图案0P3分离。第三有机图案0P3沿着第一方向X与第一有机图案OPl相邻。
[0078]如图7所示，沿着第二方向Y检查第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3的沉积误差。
[0079]检查第一像素图案RP的各个边缘是否被提供在沿着第二方向Y布置的两个虚拟第一像素图PFl内侧，并且检查虚拟第四测验图TF4的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖第二像素图案GP的第二有机图案0P2的边缘和覆盖第二部分S2的第二有机图案0P2的边缘，其中虚拟第四测验图TF4具有沿着第一方向X从第一像素图PFl分离并且沿着第二方向Y进行延伸的中心区域。参照第一像素图案RP的第一像素图像PF1，当第四测验图TF4的第一边缘和第二边缘未超出彼此相邻的、以覆盖第二像素图案GP和第二部分S2的第二有机图案0P2的边缘时，确认不存在沿着第二方向Y生成到关于第一像素图案RP彼此相邻的第二有机图案0P2的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，参照第一像素图案RP的第一像素图像PF1，当第四测验图TF4的第一边缘和第二边缘超出彼此相邻的、以覆盖第二像素图案GP和第二部分S2的第二有机图案0P2的边缘时，确认存在有沿着第二方向Y生成到关于第一像素图案RP彼此相邻的第二有机图案0P2的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0080]也就是说，通过使用第一像素图PFl和第四测验图TF4，参照第一像素图案RP检查了沿着第二方向Y彼此相邻的第二像素图案GP的沉积误差。
[0081]检查第二像素图案GP的各个边缘是否被提供在沿着第二方向Y布置的两个虚拟第二像素图PF2内侧，并且检查虚拟第五测验图TF5的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖第三像素图案BP的第三有机图案0P3的边缘和覆盖第一部分SI的第一有机图案OPl的边缘，其中虚拟第五测验图TF5具有沿着第一方向X从第二像素图PF2分离并且沿着第二方向Y进行延伸的中心区域。参照第二像素图案GP的第二像素图PF2，当第五测验图TF5的第一边缘和第二边缘未超出覆盖第三像素图案BP的第三有机图案0P3的边缘和覆盖第一部分SI的第一有机图案OPl的边缘时，确认参照第二像素图案GP不存在沿着第二方向Y生成到彼此相邻的第三有机图案0P3和第一有机图案OPl的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，参照第二像素图案GP的第二像素图PF2，当第五测验图TF5的第一边缘和第二边缘超出覆盖第三像素图案BP的第三有机图案0P3的边缘和覆盖第一部分SI的第一有机图案OPl的边缘时，确认参照第二像素图案GP存在有沿着第二方向Y生成到彼此相邻的第二有机图案0P2的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0082]也就是说，通过使用第二像素图PF2和第五测验图TF5，参照第二像素图案GP沿着第二方向Y检查了彼此相邻的第三有机图案0P3和第一有机图案OPl的沉积误差。
[0083]检查第三像素图案BP的各个边缘是否被提供在沿着第二方向Y布置的两个虚拟第三像素图PF3内侧，并且检查虚拟第六测验图TF6的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖第二像素图案GP的第二有机图案0P2的边缘和覆盖第二部分S2的第二有机图案0P2的边缘，其中虚拟第六测验图TF6具有沿着第一方向X从第三像素图PF3分离并且沿着第二方向Y进行延伸的中心区域。参照第三像素图案BP的第三像素图PF3，当第六测验图TF6的第一边缘和第二边缘未超出覆盖第二像素图案GP和第二部分S2的彼此相邻的第二有机图案0P2的边缘时，确认参照第三像素图案BP不存在沿着第二方向Y生成到彼此相邻的第二有机图案0P2的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，参照第三像素图案BP的第三像素图PF3，当第六测验图TF6的第一边缘和第二边缘超出覆盖第二像素图案GP和第二部分S2的彼此相邻的第二有机图案0P2的边缘时，确认参照第三像素图案BP存在有沿着第二方向Y生成到彼此相邻的第二有机图案0P2的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0084]也就是说，通过使用第三像素图PF3和第六测验图TF6，参照第三像素图案BP检查了沿着第二方向Y检查彼此相邻的第二像素图案GP的沉积误差。
[0085]如图8所示，沿着第一方向X检查第一有机图案OPl和第三有机图案0P3的沉积误差。
[0086]检查第一像素图案RP的各个边缘是否被提供在沿着第一方向X布置的两个虚拟第四像素图PF4内侧，并且检查虚拟第七测验图TF7的第一边缘和第二边缘是否超出通过在两个第一有机图案OPl之间的第三有机图案0P3而彼此分离的两个第一有机图案OPl的各个边缘，其中，虚拟第七测验图TF7具有沿着第二方向Y从第四象素图像PF4分离并且沿着第一方向X延伸的中心区域。参照第一像素图案RP的第四象素图像PF4，当第七测验图TF7的第一边缘和第二边缘未超出通过在两个第一有机图案OPl之间的第三有机图案0P3而彼此分离的两个第一有机图案OPl的各个边缘时，确认参照第一像素图案RP不存在沿着第一方向X生成到沿着第二方向Y分离并且沿着第一方向X彼此分离的第一有机图案OPl的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，参照第一像素图案RP的第四象素图像PF4，当第七测验图TF7的第一边缘和第二边缘超出通过在两个第一有机图案OPl之间的第三有机图案0P3而彼此分离的两个第一有机图案OPl的各个边缘时，确认参照第一像素图案RP存在有沿着第一方向X生成到沿着第二方向Y彼此分离并且沿着第一方向X彼此分离的第一有机图案OPl的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0087]也就是说，通过使用第四象素图像PF4和第七测验图TF7，参照第一像素图案RP检查了沿着第二方向Y被分离并且沿着第一方向X彼此分离的第一有机图案OPl沿着第一方向X的沉积误差。
[0088]检查第三像素图案BP的各个边缘是否被提供在沿着第一方向X布置的两个虚拟第五像素图PF5内侧，并且检查虚拟第八测验图TF8的第一边缘和第二边缘是否超出通过在两个第三有机图案0P3之间的第一有机图案OPl而彼此分离的两个第三有机图案0P3的各个边缘，其中，虚拟第八测验图TF8具有沿着第二方向Y从第五像素图PF5分离并且沿着第一方向X延伸的中心区域。参照第三像素图案BP的第五像素图PF5，当虚拟第八测验图TF8的第一边缘和第二边缘未超出通过在两个第三有机图案0P3之间的第一有机图案OPl而彼此分离的两个第三有机图案0P3的边缘时，确认参照第三像素图案BP不存在沿着第一方向X生成到沿着第二方向Y被分离并且沿着第一方向X彼此分离的第三有机图案0P3的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。相反，参照第一像素图案RP的第四象素图像PF4，当虚拟第八测验图TF8的第一边缘和第二边缘超出通过在两个第三有机图案0P3之间的第一有机图案OPl而彼此分离的两个第三有机图案0P3的边缘时，确认参照第三像素图案BP存在有沿着第一方向X生成到沿着第二方向Y被分离并且沿着第一方向X彼此分离的第三有机图案0P3的沉积误差，并且之后可以将此报告给用户。
[0089]也就是说，通过使用第五像素图PF5和第八测验图TF8，参照第三像素图案BP检查了沿着第二方向Y被分离并且沿着第一方向X彼此分离的第三有机图案0P3沿着第一方向X的沉积误差。
[0090]因此，根据第三示例性实施方式的用于测验有机图案的方法拍摄包括测验基板100的图案区域PA和非图案区域NPA的测验区域TA、指定位置，以获取与测验区域TA对应的测验图像TI，并且该方法使用显示到在测验图像TI的图案区域PA中显示的第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP的虚拟第一像素图PF1、第二像素图PF2和第三像素图PF3以及显示在非图案区域NPA的虚拟第四测验图TF4、第五测验图TF5和第六测验图TF6检查沉积误差是否生成在第一有机图案OPl、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3的第二方向Y上，由此简单地测验沉积在测验基板100上的有机图案200。
[0091]此外，根据第三示例性实施方式的用于测验有机图案的方法拍摄包括测验基板100的图案区域PA和非图案区域NPA的测验区域TA、指定位置，以获取与测验区域TA对应的测验图像TI，并且该方法通过使用显示到在测验图像TI的图案区域PA中显示的第一像素图案RP和第三像素图案BP的虚拟第四象素图像PF4和第五像素图PF5以及显示在非图案区域NPA中的虚拟第七测验图TF7和第八测验图TF8检查沉积误差是否生成在第一有机图案OPl和第三有机图案0P3的第一方向X上，由此简单地测验沉积在测验基板100上的有机图案200。
[0092]也就是说，提供用于测验有机图案的方法，以简单地测验形成在单一测验基板100上的第一有机图案OP1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3沿着第一方向X或第二方向Y的第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3的沉积误差，而不是测验单一有机图案200上的沉积误差。
[0093]这是用于改变形成第一有机图案OP1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3中的一个的处理环境(例如，基板的位置、掩模的形状、掩模的布置或者沉积源的布置)的信息，其中，当第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3分别被沉积在基板上以制造成有机发光二极管显示器时，沉积误差生成到第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3中的一个，并且该信息可以被提供给制造有机发光二极管显示器的制造者。
[0094]尤其是，根据第三示例性实施方式的用于测验有机图案的方法检查与第一像素图案RP、第二像素图案GP和第三像素图案BP对应的第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3沿着第一方向X或者沿着第二方向Y的沉积误差以更精确第一有机图案0P1、第二有机图案0P2和第三有机图案0P3沿着第一方向X或第二方向的沉积误差并且检查掩模的失真信息或通过精细金属掩模(FMM)形成的基板的失真信息。该信息提供给制造有机发光二极管显示器的制造者，并且用作更精确地制造沉积有有机发光层的有机发光二极管显示器的因素。
[0095]虽然本公开已结合目前被认为是实用的示例性实施方式进行描述，但是应当理解本发明并不限于所公开的实施方式，相反，旨在覆盖包括在所附权利要求书的精神和范围内的多种修改和等同布置。
【权利要求】
1.一种用于测验有机图案的方法，包括: 通过掩模在测验基板上形成有机图案； 通过拍摄所述测验基板的预定测验区域获取测验图像，其中，所形成的有机图案被显示到所述测验图像；以及 检查显示到所述测验图像的所述有机图案的边缘是否超出显示在所述测验图像中的虚拟测验图的边缘。
2.如权利要求1所述的方法，其中， 所述测验基板的所述预定测验区域包括:图案区域，其中第一像素图案、第二像素图案和第三像素图案彼此相邻；以及非图案区域，与所述图案区域相邻，以及 通过拍摄包括所述图案区域和所述非图案区域的所述预定测验区域，执行所述测验图像的获取。
3.如权利要求2所述的方法，其中， 所述通过掩模在测验基板上形成有机图案的步骤包括: 通过第一掩模在所述测验基板上形成多个第一有机图案以覆盖所述图案区域的所述第一像素图案以及所述非图案区域的第一部分； 通过第二掩模在所述测验基板上形成多个第二有机图案以覆盖所述图案区域的所述第二像素图案以及所述非图案区域的第二部分；以及 通过第三掩模在所述测验基板上形成多个第三有机图案以覆盖所述图案区域的所述第三像素图案以及所述非图案区域的第三部分。
4.如权利要求3所述的方法，其中， 所述检查显示到所述测验图像的所述有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘的步骤包括: 检查所述第一有机图案的边缘是否超出显示到所述非图案区域的所述第一部分的虚拟第一测验图的边缘； 检查所述第二有机图案的边缘是否超出显示到所述非图案区域的所述第二部分的虚拟第二测验图的边缘；以及 检查所述第三有机图案的边缘是否超出显示到所述非图案区域的所述第三部分的虚拟第三测验图的边缘。
5.如权利要求4所述的方法，其中， 所述虚拟第一测验图、所述虚拟第二测验图和所述虚拟第三测验图沿着第一方向的深度分别与所述第一像素图案、所述第二像素图案和所述第三像素图案沿着所述第一方向的深度对应。
6.如权利要求5所述的方法，其中， 通过所述虚拟第一测验图与所述第一像素图案之间的所述第二有机图案，所述虚拟第一测验图从所述第一像素图案分离； 通过所述虚拟第二测验图与所述第二像素图案之间的所述第一有机图案，所述虚拟第二测验图从所述第二像素图案分离；以及 通过所述虚拟第三测验图与所述第三像素图案之间的所述第二有机图案，所述虚拟第三测验图从所述第三像素图案分离。
7.如权利要求6所述的方法，其中， 所述虚拟第一测验图、所述虚拟第二测验图和所述虚拟第三测验图分别具有不同尺寸的图形。
8.如权利要求5所述的方法，其中， 所述虚拟第一测验图被提供在相邻的第一像素图案之间； 所述虚拟第二测验图被提供在相邻的第二像素图案之间；以及 所述虚拟第三测验图被提供在相邻的第三像素图案之间。
9.如权利要求8所述的方法，其中， 所述虚拟第一测验图、所述虚拟第二测验图和所述虚拟第三测验图分别具有相同尺寸的图形。
10.如权利要求3所述的方法，其中， 所述第二有机图案沿着第一方向进行延伸并且沿着与所述第一方向交叉的第二方向彼此分离，通过在所述第一有机图案与所述第三有机图案之间的所述第二有机图案，所述第一有机图案沿着所述第二方向从所述第三有机图案分离，并且所述第三有机图案沿着所述第一方向与所述 第一有机图案相邻，以及 所述检查显示到所述测验图像的所述有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘的步骤包括: 检查所述第一像素图案的各个边缘是否被提供在沿着所述第二方向布置的两个虚拟第一像素图内侧，并且检查虚拟第四测验图的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖所述第二像素图案的所述第二有机图案的边缘和覆盖所述第二部分的所述第二有机图案的边缘，其中，所述虚拟第四测验图具有沿着所述第一方向从所述第一像素图分离并且沿着所述第二方向延伸的中心区域； 检查所述第二像素图案的各个边缘是否被提供在沿着所述第二方向布置的两个虚拟第二像素图内侧，并且检查虚拟第五测验图的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖所述第三像素图案的所述第三有机图案的边缘和覆盖所述第一部分的所述第一有机图案的边缘，其中，所述虚拟第五测验图具有沿着所述第一方向从所述第二像素图分离并且沿着所述第二方向延伸的中心区域；以及 检查所述第三像素图案的各个边缘是否被提供在沿着所述第二方向布置的两个虚拟第三像素图内侧，并且检查虚拟第六测验图的第一边缘和第二边缘是否超出覆盖所述第二像素图案的所述第二有机图案的边缘和覆盖所述第二部分的所述第二有机图案的边缘，其中，所述虚拟第六测验图具有沿着所述第一方向从所述第三像素图分离并且沿着所述第二方向延伸的中心区域。
11.如权利要求10所述的方法，其中， 通过在所述第一有机图案之间的所述第三有机图案，所述第一有机图案沿着所述第一方向彼此分离，以及 所述检查显示到所述测验图像的所述有机图案的边缘是否超出虚拟测验图的边缘包括: 检查所述第一像素图案的各个边缘是否被提供在沿着所述第一方向布置的两个虚拟第四像素图内侧，并且检查虚拟第七测验图的第一边缘和第二边缘是否超出通过在所述两个第一有机图案之间的所述第三有机图案而被分离的所述两个第一有机图案的边缘，其中，所述虚拟第七测验图具有沿着所述第二方向从所述第四象素图像分离并且沿着所述第一方向延伸的中心区域；以及 检查所述第三像素图案的各个边缘是否被提供在沿着所述第一方向布置的两个虚拟第五像素图内侧，并且检查虚拟第八测验图的第一边缘和第二边缘是否超出通过在所述两个第三有机图案之间的所述第一有机图案而被分离的所述两个第三有机图案的边缘，其中，所述虚拟第八测验图具有沿着所述第二方向从所述第五像素图分离并且沿着所述第一方向延伸的中心区域。
12.一种用于测验有机图案的方法，包括: 通过掩模在测验基板上形成多个有机图案； 通过拍摄所述测验基板的预定测验区域获取测验图像，所述测验图像具有包含四个边缘的矩形形状； 检查显示到所述测验图像的所述有机图案的所述四个边缘中任何一个是否超出虚拟测验图的边缘；以及 当显示到所述测验图像的所述多个有机图案的所述四个边缘中任何一个超出显示在所述测验图像中的对应虚拟测验图的边缘时，确定所述有机图案上产生沉积误差。
13.如权利要求12所述的方法，其中， 所述测验基板的所述预 定测验区域包括:图案区域，其中第一像素图案、第二像素图案和第三像素图案彼此相邻；以及非图案区域，与所述图案区域相邻，以及 通过拍摄包括所述图案区域和所述非图案区域的所述测验区域，执行所述测验图像的获取。
14.如权利要求13所述的方法，其中， 所述通过掩模在测验基板上形成多个有机图案的步骤包括: 通过第一掩模在所述测验基板上形成多个第一有机图案以覆盖所述图案区域的所述第一像素图案以及所述非图案区域的第一部分； 通过第二掩模在所述测验基板上形成多个第二有机图案以覆盖所述图案区域的所述第二像素图案以及所述非图案区域的第二部分；以及 通过第三掩模在所述测验基板上形成多个第三有机图案以覆盖所述图案区域的所述第三像素图案以及所述非图案区域的第三部分。
15.如权利要求14所述的方法，其中， 所述检查显示到所述测验图像的所述多个有机图案中任何一个的边缘是否超出虚拟测验图的边缘的步骤包括: 检查所述第一有机图案的边缘是否超出显示到所述非图案区域的所述第一部分的虚拟虚拟第一测验图的边缘； 检查所述第二有机图案的边缘是否超出显示到所述非图案区域的所述第二部分的虚拟虚拟第二测验图的边缘；以及 检查所述第三有机图案的边缘是否超出显示到所述非图案区域的所述第三部分的虚拟虚拟第三测验图的边缘。
16.如权利要求15所述的方法，其中，所述虚拟第一测验图、所述虚拟第二测验图和所述虚拟第三测验图沿着第一方向的深度分别与所述第一像素图案、所述第二像素图案和所述第三像素图案沿着所述第一方向的深度对应。
17.如权利要求16所述的方法，其中， 通过所述虚拟第一测验图与所述第一像素图案之间的所述第二有机图案，所述虚拟第一测验图从所述第一像素图案分离； 通过所述虚拟第二测验图与所述第二像素图案之间的所述第一有机图案，所述虚拟第二测验图从所述第二像素图案分离；以及 通过所述虚拟第三测验图与所述第三像素图案之间的所述第二有机图案，所述虚拟第三测验图从所述第三像素图案分离。
18.如权利要求17所述的方法，其中， 所述虚拟第一测验图、所述虚拟第二测验图和所述虚拟第三测验图分别具有不同尺寸的图形。
19.如权利要求16所述的方法，其中， 所述虚拟第一测验图被提供在相邻的第一像素图案之间； 所述虚拟第二测验图被提 供在相邻的第二像素图案之间；以及 所述虚拟第三测验图被提供在相邻的第三像素图案之间。
20.如权利要求19所述的方法，其中， 所述虚拟第一测验图、所述虚拟第二测验图和所述虚拟第三测验图分别具有相同尺寸的图形。
【文档编号】H01L27/32GK104051624SQ201410035939
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年1月24日 优先权日:2013年3月11日
【发明者】金义圭, 张大植 申请人:三星显示有限公司