一种镀银激光泵浦聚光反射腔的制造方法
【专利摘要】本发明涉及激光器【技术领域】，尤其涉及闪光灯泵浦的固体激光器【技术领域】。本发明提供一种镀银激光泵浦聚光反射腔的制造方法，其包含有，工序一，无烟化学镜面抛光处理金属聚光腔基底；工序二，基于金属介质增强型薄膜干涉理论进行耐久性多层复合反射膜结构设计；工序三，采用溅射沉积技术进行多层复合膜制备。本发明还提供一种激光泵浦聚腔反射腔表面多层复合膜，由基层表面、附着层、银反射层、阻隔层和增强型保护膜层组成。利用本发明的制作出的激光泵浦聚光反射腔可以提高激光器可靠性和输出效率，减少维护次数和成本。
【专利说明】一种镀银激光泵浦聚光反射腔的制造方法
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【技术领域】： 本发明涉及激光器【技术领域】，尤其涉及闪光灯泵浦的固体激光器【技术领域】。
[0002]
【背景技术】： 现有的闪光灯泵浦的激光器的聚光反射腔，内壁通常采用：镀金，镀金的特点是反射率 高、耐久性好、但成本高昂；镀银，镀银的特点为反射率最高，但环境稳定性不好，易氧化、硫 化；不锈钢抛光，其特点是便宜、耐用，但反射率很低；漫反射陶瓷，其特点为便宜、反射率 低，不易加工成比较复杂的形状；及其方法。综合来说，高性能、高效率的激光器，需要稳定、 高反射率的泵浦聚光反射腔，只有镀金满足条件，但镀金成本高昂。镀银的反射率是最高 的，成本也低，但是耐久性不好，在空气和水中很容易变色。其他方法都达不到高反射率的 要求。
[0003] 现有技术制作的反射腔，对很宽范围内的波长都有接近的反射率。要在固体激光 增益介质内形成粒子数反转，又只需要对应于材料本身泵浦吸收带的波长。反射腔的光谱 范围过宽，会造成多余的光谱能量进入激光增益介质，这部分能量不能被激活离子吸收，形 成能级粒子数反转，只会沉积在增益介质里形成废热，加重激光器的热效应。
[0004]
【发明内容】
： 本发明的目的就是针对现有技术存在的不足而提供一种镀银激光泵浦聚光反射腔的 制造方法及由该制造方法制造出的具有波长选择性的高反射率耐久性镀银激光泵浦聚光 反射腔。
[0005] 为达到本发明的目的，本发明采用通过在金属反射腔基底上，针对特定的泵浦吸 收带波长，设计具有耐久性、高反射率的反射腔多层复合膜结构，用溅射的方法制备上述多 层复合膜层，该多层复合膜由附着层、银反射层、阻隔层和增强型保护膜层组成。该多层复 合膜层具有如下功能：（1)有效地提高了银层和基底以及银层和保护膜层间的粘接强度； (2)有效地阻止了银层的硫化、氧化以及与水汽的接触，提高了银反射层的耐久性；（3)对 特定吸收带波长，实现了较高的反射率。从而达到提高由该方法制造出的激光器的可靠性， 并减少维护次数和成本的目的。
[0006]
【专利附图】
【附图说明】： 图1是本发明聚光反射腔体表面多层复合膜的结构图。
[0007] 图2是本发明的具体实施例的闪光灯、反射腔与增益介质的关系图。
[0008] 图3是本发明的具体实施例的闪光灯光谱示意图。
[0009] 图4是本发明的具体实施例的具有波长选择性反射腔的反射率光谱分布示意 图。
[0010] 图5是本发明的具体实施例的经波长选择性反射后的闪光灯光谱。
[0011] 图6是本发明的具体实施例的增益介质吸收谱示意图。
[0012]
【具体实施方式】： 下面结合附图对本发明作进一步的说明： 图1是本发明的聚光腔体表面多层复合膜的结构图。
[0013] 由图1可知，本发明的聚光腔体表面多层复合膜由附着层、银反射层、阻隔层和增 强型保护膜层组成。
[0014] 本发明的多层复合膜采用通过在金属反射器基底上，按照特定的方案，用溅射的 方法镀制多层功能膜层，该多层功能膜层让银层和基底牢固结合的同时具有足够高的反射 率。
[0015] 具体的工艺流程如下： 工序一、金属聚光腔基底处理： 根据金属聚光腔反射腔的形状要求，采用合适的模具，模压成型。一次挤压出聚光腔毛 坯，采用无烟化学镜面抛光技术将聚光反射腔表面抛光至镜面水平。
[0016] 工序二、膜层设计： 基于薄膜光学基本理论，对于含金属和介质材料的多层膜系组 合，它的特征矩阵是一个复数矩阵，每个元素都由实部和虚部两部分组 成。采用导纳递推来分析多层吸收膜系的特性。整个膜系特征矩阵如公式
【权利要求】
1. 一种镀银激光泵浦聚光反射腔的制造方法，包含有： -工序一，无烟化学镜面抛光处理金属聚光腔基底； -工序二，基于金属介质增强型薄膜干涉理论进行耐久性多层复合反射膜结构设 计； -工序三，采用溅射沉积技术进行多层复合膜制备。
2. -种镀银激光泵浦聚光反射腔表面的多层复合膜，由附着层、银反射层、阻隔层和 增强型保护膜层组成。
3. -种镀银激光泵浦聚光反射腔，其特征在于，其反射腔表面覆盖有多层复合膜，所述 复合膜由附着层、银反射层、阻隔层和增强型保护膜层组成。
4. 一种具有镀银激光泵浦聚光反射腔的激光器，其特征在于，其反射腔表面覆盖多 层复合膜，所述复合膜由附着层、银反射层、阻隔层和增强型保护膜层组成。
【文档编号】H01S3/08GK104269724SQ201410555483
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年10月20日 优先权日:2014年10月20日
【发明者】罗亦鸣 申请人:四川卓众科技有限公司