一种安全状态检测系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种安全状态检测系统，包括：第一信号收集单元，连接在所述腔体上；所述第一信号收集单元包括数据收集器和用于数据编码器；所述数据编码器与所述数据收集器连接；第二信号收集单元，连接在所述残留气体分析仪上；所述第二信号收集单元包括颜色传感器和信号采集器；所述颜色传感器与所述信号采集器连接；用于判断所述腔体和残留气体分析仪是否联机的信号处理单元，连接在所述第一信号收集单元和第二信号收集单元上。本实用新型所述的安全状态检测系统通过检测腔体和残留气体分析仪可以及时发现安全隐患发出报警以达到消除安全隐患的效果，同时有效提高晶片的性能参数。
【专利说明】一种安全状态检测系统
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体【技术领域】，涉及一种检测系统，特别是涉及一种安全状态检测系统。
【背景技术】
[0002]超大规模集成电路是指几毫米见方的硅片上集成上万至百万晶体管、线宽在I微米以下的集成电路。由于晶体管与连线一次完成，故制作几个至上百万晶体管的工时和费用是等同的。大量生产时，硬件费用几乎可不计，而取决于设计费用。国际上硅片面积已增至厘米见方，管数达十亿个而线宽为O至I微米。
[0003]在超大规模集成电路系统中，而腔泄漏(腔体内氧气、水汽等气体的泄漏)对于晶体性能的钴最终测试数据来又是尤其的重要，因为，氧气、水汽等气体对钴元素的制造影响很大。残留气体分析仪(residual gas analysis,RGA)在化学工艺监控和异常情况检测中具有很长的应用历史.残留气体分析仪(RGA)具有很高的化学选择性和灵敏度，因此在半导体制造中具有很长的应用历史，用于化学工艺过程的监控和异常情况的检测。’所以研发人员会在机台上安装一个RGA仪(残留气体分析仪)来防止腔泄漏现象的发现，并来检测和监控腔体内部的气体是否正常。当腔体在保养维护时，或当腔体的腔体泵再生和腔体烘烤时，残留气体分析仪将下线。但是往往机台在维护之后，可能由于某些原因使残留气体分析仪仍没有处于联机工作状态，所以如果腔体内的氧气、水汽等气体出现泄漏、并且残留气体分析仪下线，那么就会存在安全隐患。
[0004]因此，在半导体制造工业中需要一种检测腔体和残留气体分析仪是否存在安全隐患的系统以达到消除安全隐患的功能，有效提高晶片性能。
实用新型内容
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种安全状态检测系统，用于解决现有技术中腔体内出现氧气、水汽等气体泄漏，和残留气体分析仪又处于下线状态时存在的安全隐患的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种安全状态检测系统，用于检测和监控腔体和残留气体分析仪，所述腔体包括旋转磁电机，所述残留气体分析仪包括联机和下线指示灯，所述安全状态检测系统包括:第一信号收集单元，连接在所述腔体上；所述第一信号收集单元包括用于收集所述旋转磁电机转速的数据收集器和用于通过监控所述旋转磁电机转速，并将转速转换成第一脉冲信号的数据编码器；所述数据编码器与所述数据收集器连接；第二信号收集单元，连接在所述残留气体分析仪上；所述第二信号收集单元包括用于检测所述残留气体分析仪上联机和下线指示灯颜色是否正常的颜色传感器和用于采集所述残留气体分析仪通信端口输出第二脉冲信号的信号采集器；所述颜色传感器与所述信号采集器连接；用于判断所述腔体和残留气体分析仪是否联机的信号处理单元，连接在所述第一信号收集单元和第二信号收集单元上。[0007]优选地，所述安全状态检测系统还包括连接在所述信号处理单元上的信号报警单
J Li ο
[0008]优选地，所述信号报警单元包括用于当所述腔体下线时发出报警信号的第一报警模块和用于当所述残留气体分析仪下线时发出报警信号的第二报警模块。
[0009]优选地，所述安全状态检测系统还包括分别用于给所述第一信号收集单元和第二信号收集单元供电的太阳能电池板，所述太阳能电池板分别连接在所述第一信号收集单元和第二信号收集单元上。
[0010]优选地，所述数据收集器安装在所述腔体的旋转，所述数据编码器安装在所述旋转磁电机上。
[0011]优选地，所述颜色传感器和信号采集器连接在所述残留气体分析仪上。
[0012]优选地，所述数据编码器为一圆盘，在所述圆盘中间设置有圆孔，在所述圆盘周围有若干正方形薄片。
[0013]优选地，所述圆盘材料为钢板。
[0014]如上所述，本实用新型所述的安全状态检测系统，具有以下有益效果: [0015]1、本实用新型所述的安全状态检测系统通过检测腔体和残留气体分析仪是否存在安全隐患，可以及时发现安全隐患发出报警以达到消除安全隐患的效果；
[0016]2、本实用新型所述的安全状态检测系统通过排除腔体和残留气体分析仪存在安全隐患以有效提高晶片的性能参数。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1显示为本实用新型的安全状态检测系统结构示意图。
[0018]图2显示为本实用新型的安全状态检测系统中数据编码器结构示意图。
[0019]元件标号说明
[0020]I安全状态检测系统
[0021]11第一信号收集单元
[0022]12第二信号收集单元
[0023]13信号处理单元
[0024]14信号报警单元
[0025]15太阳能电池板
[0026]111数据收集器
[0027]112数据编码器
[0028]121颜色传感器
[0029]122信号采集器
[0030]141第一报警模块
[0031]142第二报警模块
【具体实施方式】
[0032]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。[0033]请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0034]本实施例提供一种安全状态检测系统1，用于检测和监控腔体和残留气体分析仪，所述腔体包括旋转磁电机，所述残留气体分析仪包括联机和下线指示灯，请参阅图1，显示为安全状态检测系统的结构，所述安全状态检测系统包括:第一信号收集单元11、第二信号收集单元12、信号处理单元13、信号报警单元14、及太阳能电池板15。其中，所述第一信号收集单元11包括数据收集器111和数据编码器112。所述第二信号收集单元12包括颜色传感器121和信号采集器122。所述信号报警单元14包括第一报警模块141和第二报警模块142。
[0035]下面分别对安全状态检测系统的组成器件进行分别描述。
[0036]【第一信号收集单元】
[0037]所述第一信号收集单元11连接在所述腔体上，用于收集关于腔体是否联机的第一脉冲信号。所述第一信号收集单元11包括数据收集器111和数据编码器112。其中，所述数据收集器111连接在所述腔体的旋转磁电机上用于收集所述旋转磁电机中磁极的转速。所述数据编码器112与所述数据收集器111连接用于接收所述数据收集器111收集到的所述旋转磁电机中磁极的转速，并通过监控所述旋转磁电机的转速，将转速转换成第一脉冲信号的数据编码器。所述数据收集器连接在所述腔体上，所述数据编码器安装在所述旋转磁电机上。在本实施例中，为了使数据编码器与所述旋转磁电机旋转同步无误差，将所述数据编码器去安装于所述旋转磁电机上方，因此，请参阅图2，显示为数据编码器的结构，在本实施例中，所述数据编码器形状为圆盘。所述圆盘材质为钢板材料。该钢板厚1.5mm，半径为8.5mm,在所述圆盘中间设置具有一个半径为4.5cm的圆孔,并且在所述圆盘周围具有25个的正方形薄片。
[0038]【第二信号收集单元】
[0039]所述第二信号收集单元12，连接在所述残留气体分析仪上，用于收集关于所述残留气体分析仪的第二脉冲信号；所述第二信号收集单元12颜色传感器121和信号采集器122。所述颜色传感器121用于检测所述残留气体分析仪上联机和下线指示灯颜色是否正常。与所述颜色传感器121连接的所述信号采集器122和用于采集所述残留气体分析仪通信端口输出第二脉冲信 号。
[0040]【信号处理单元】
[0041]所述信号处理单元13分别与所述第一信号收集单元11和第二信号收集单元12连接用于判断所述腔体和残留气体分析仪是否联机的信号处理单元。所述信号处理单元13通过接收到第一信号脉冲检测到磁极是否有旋转来判断所述腔体是否联机，也就是说磁极不转动，所述腔体是不能联机的。同时所述信号处理单元13通过读取所述残留气体分析仪上的数据来判断其是否处理联机状态。当检测到所述腔体和所述残留气体分析仪都处理联机状态时，那么表示腔体和残留气体分析仪处理安全状态。
[0042]【信号报警单元】
[0043]所述信号报警单元14与所述信号处理单元13连接用于当发现所述腔体下线时和/或所述残留气体分析仪下线时发出报警信号。因此，所述信号报警单元14包括用于当所述腔体下线时发出报警信号的第一报警模块141和用于当所述残留气体分析仪下线时发出报警信号的第二报警模块142。
[0044]【太阳能电池板】
[0045]所述安全状态检测系统I还包括分别用于给所述第一信号收集单元11和第二信号收集单元12供电的太阳能电池板15，所述太阳能电池板分别连接在所述第一信号收集单元和第二信号收集单元上。
[0046]本实用新型所述的安全状态检测系统通过第一信号收集单元、第二信号收集单元、信号处理单元、信号报警单元组成，通过第一信号收集单元和信号处理单元配合检测所述腔体上旋转磁电机中的磁极是否旋转来确定腔体是否联机，如磁极不转动，则表示腔体是不能联机的，并且检测磁极的转速这对于制造过程中的均匀度是非常重要的。通过第二信号收集单元和信号处理单元配合检测所述残留气体分析仪端口的数据来确定所述RGA是否处理联机状态。本实用新型所述的安全状态检测系统检测到所述腔体和所述残留气体分析仪都处理联机状态时，则说明所述腔体和所述残留气体分析仪处于安全状态。所述安全状态检测系统通过检测腔体和残留气体分析仪是否存在安全隐患，可以及时发现安全隐患发出报警以达到消 除安全隐患的效果；并且所述的安全状态检测系统通过排除腔体和残留气体分析仪存在安全隐患可以有效提高晶片的性能参数。
[0047]综上所述，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0048]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种安全状态检测系统，用于检测和监控腔体和残留气体分析仪，所述腔体包括旋转磁电机，所述残留气体分析仪包括联机和下线指示灯，其特征在于，所述安全状态检测系统包括: 第一信号收集单元，连接在所述腔体上；所述第一信号收集单元包括用于收集所述旋转磁电机转速的数据收集器和用于通过监控所述旋转磁电机转速，并将转速转换成第一脉冲信号的数据编码器；所述数据编码器与所述数据收集器连接； 第二信号收集单元，连接在所述残留气体分析仪上；所述第二信号收集单元包括用于检测所述残留气体分析仪上联机和下线指示灯颜色是否正常的颜色传感器和用于采集所述残留气体分析仪通信端口输出第二脉冲信号的信号采集器；所述颜色传感器与所述信号采集器连接； 用于判断所述腔体和残留气体分析仪是否联机的信号处理单元，连接在所述第一信号收集单元和第二信号收集单元上。
2.根据权利要求1所述的安全状态检测系统，其特征在于:所述安全状态检测系统还包括连接在所述信号处理单元上的信号报警单元。
3.根据权利要求2所述的安全状态检测系统，其特征在于:所述信号报警单元包括用于当所述腔体下线时发出报警信号的第一报警模块和用于当所述残留气体分析仪下线时发出报警信号的第二报警模块。
4.根据权利要求1所述的安全状态检测系统，其特征在于:所述安全状态检测系统还包括分别用于给所述第一信号收集单元和第二信号收集单元供电的太阳能电池板，所述太阳能电池板分别连接在所述第一信号收集单元和第二信号收集单元上。
5.根据权利要求1所述的安全状态检测系统，其特征在于:所述数据收集器安装在所述腔体的旋转，所述数据编码器安装在所述旋转磁电机上。
6.根据权利要求1所述的安全状态检测系统，其特征在于:所述颜色传感器和信号采集器连接在所述残留气体分析仪上。
7.根据权利要求1所述的安全状态检测系统，其特征在于:所述数据编码器为一圆盘，在所述圆盘中间设置有圆孔，在所述圆盘周围有若干正方形薄片。
8.根据权利要求1所述的安全状态检测系统，其特征在于:所述圆盘材料为钢板。
【文档编号】H01L21/66GK203774260SQ201420125674
【公开日】2014年8月13日 申请日期:2014年3月19日 优先权日:2014年3月19日
【发明者】周琦, 林保璋, 计骏, 林宗贤, 袁洪, 李广宁 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司