一种石墨舟装卸片吸盘的制作方法

本发明属于晶硅太阳能电池制造领域，尤其涉及一种石墨舟自动化机械手装卸片吸盘机构。

背景技术：

随着新能源技术的发展，晶硅太阳能电池发展迅猛，晶硅太阳能电池是一种可以将太阳光能转化成为电能的电子元器件。晶体硅类太阳能电池的制备一般经过制绒、扩散、镀膜、丝网印刷、烧结等工序。制绒分为单晶、多晶制绒，单晶电池是使用碱制绒的方法在硅片表面形成金字塔绒面，多晶电池使用酸刻蚀的方法在硅片表面形成凹坑绒面，硅表面的绒面可以增加太阳光在电池表面的吸收，达到陷光作用；扩散工序是通过热扩散的方式向硅片内部形成p-n结，这样当有光照射时，硅片内部就可以形成电压，是太阳电池发电的基础；镀膜工艺是为了减少少数载流子在电池表面的复合，可以提高晶体硅太阳能电池片的转换效率；丝网印刷工序就是制作太阳能电池的电极，这样当光照射时就可以把电流导出。

在对硅片表面镀膜时，需要将硅片插入pecvd真空镀膜设备的石墨舟上进行镀膜，完整的镀膜的过程是镀完单面后再通过机械手吸附组件上的吸盘对硅片进行吸夹、转移，进而将硅片从石墨舟中取出后翻面再镀另一面，一般此过程需要经过多次装卸硅片的步骤，由于吸盘需要与硅片直接接触，容易在硅片上出现吸盘印或者与舟框磕碰擦伤，从而会影响电池片的成品率。

技术实现要素：

鉴于以上，本发明提供一种石墨舟装卸片吸盘，使用该石墨舟装卸吸盘安装于机械手吸附组上，可以解决装卸硅片过程中产生吸盘印的问题，进而保证硅片的良率。具体技术方案如下：

一种石墨舟装卸片吸盘，其特征在于，包括吸盘主体，所述吸盘主体包括中心腔体和外部盘体，所述中心腔体为所述外部盘体的内部气腔通道；所述外部盘体上设置有四个定位孔，且规则的排列于外部盘体的表面四周；所述外部盘体上还设置有吸盘吸孔，位于外部盘体的中间且贯通于所述中心腔体，所述外部盘体的侧面开有进气孔，进气孔与所述中心腔体连通用于固定进气管，传送气体；所述吸盘主体为陶瓷材质。

本发明的有益效果是，本发明的吸盘采用陶瓷材质制作，相较于现有技术中的塑料吸盘更能有效的保证电池硅片的良率指标，使用塑料吸盘时pe吸盘印占比1.5%，而采用本发明陶瓷吸盘后pe吸盘印为占比则为0.另外对于调试舟框擦伤和碎片都有一定的优化效果。同时陶瓷吸盘表面经过特殊处理，大大提升了耐磨性。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1为本发明石墨舟装卸片吸盘的主视图；

图2为本发明石墨舟装卸片吸盘的左视图；

其中，1位定位孔，2吸盘吸孔，3为进气孔，10为外部盘体。

具体实施方式

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

参照图1，本发明的石墨舟装卸片吸盘包括吸盘主体，作为最优实施例本发明的石墨舟装卸片吸盘的吸盘主体为陶瓷材质，相较于现有技术中的塑料吸盘，陶瓷吸盘更能有效的保证电池硅片的良率指标，消除吸盘印的影响。吸盘主体包括中心腔体和外部盘体10，中心腔体为外部盘体10的内部气腔通道，便于气体的流通。外部盘体10上设置有四个定位孔1，定位孔1规则的排列于外部盘体10的表面四周，便于精确定位吸夹硅片的位置。外部盘体10上还设置有吸盘吸孔2，位于外部盘体10的中间且贯通于所述中心腔体。如图2外部盘体的侧面开有进气孔3，进气孔3与所述中心腔体连通用于固定进气管，传送气体。

针对石墨舟装卸片吸盘对硅片在吸盘印和损失的影响方面，本发明的陶瓷吸盘与现有技术的塑料吸盘的对比以下做具体展示：

尽管参照本发明的多个示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言，在前述公开、附图以及权利要求的范围之内，可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进，而不会脱离本发明的精神。

技术特征：

1.一种石墨舟装卸片吸盘，其特征在于，包括吸盘主体，所述吸盘主体包括中心腔体和外部盘体，所述中心腔体为所述外部盘体的内部气腔通道；所述外部盘体上设置有四个定位孔，且规则的排列于外部盘体的表面四周；所述外部盘体上还设置有吸盘吸孔，位于外部盘体的中间且贯通于所述中心腔体，所述外部盘体的侧面开有进气孔，进气孔与所述中心腔体连通用于固定进气管，传送气体；所述吸盘主体为陶瓷材质。

技术总结
本发明提供一种石墨舟装卸片吸盘，其特征在于，包括吸盘主体，所述吸盘主体包括中心腔体和外部盘体，所述中心腔体为所述外部盘体的内部气腔通道；所述外部盘体上设置有四个定位孔，且规则的排列于外部盘体的表面四周；所述外部盘体上还设置有吸盘吸孔，位于外部盘体的中间且贯通于所述中心腔体，所述外部盘体的侧面开有进气孔，进气孔与所述中心腔体连通用于固定进气管，传送气体；所述吸盘主体为陶瓷材质。使用该石墨舟装卸吸盘安装于机械手吸附组上，可以解决装卸硅片过程中产生吸盘印的问题，进而保证硅片的良率。

技术研发人员：王志清;王坤;陆彦辉;王银;刘军;王强;高顺
受保护的技术使用者：江苏润阳悦达光伏科技有限公司
技术研发日：2019.08.30
技术公布日：2019.12.13