一种扫描电镜测试平台的制作方法

本发明属于扫描电镜配件技术领域，涉及一种扫描电镜测试平台。

背景技术：

现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨率高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。其中，测试平台是扫描电镜设备的核心配件，其一般为铝制的圆形平台。

但是现有的测试平台往往具有以下问题：1、不防磁，在对金属材料进行扫描电镜测试时，由于扫描电镜镜头在通电时会产生磁场，金属类的待测试件易被吸附，导致测试效果受到影响，且容易造成测试平台损坏；2、对测试样品固定不稳，当固定测试样品的夹持座出现夹持不稳定的情况时，易造成测试结果不够精确的问题。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种扫描电镜测试平台，解决了现有扫描电镜测试平台在对金属材料进行扫描电镜测试时不防磁的问题。

本发明所采用的技术方案是，一种扫描电镜测试平台，包括台面，台面上安装有多个间隔均匀的测试座，每个测试座顶面均固连有夹持座，夹持座顶面开设有凹槽以放置待测样品，夹持座上固接有夹持组件以固定待测样品，夹持座顶面拆卸安装有透明防磁盖，测试座顶面还固连有防磁盖放置槽。

本发明的特点还在于：

测试座两两之间通过挡板进行隔离。

凹槽内卡接有导电橡胶放置板，用于放置导电材质的待测样品。

夹持组件为固接在夹持座上的多个弹片，每个弹片的一端固接在夹持座上，另一端为自由端，每个弹片的自由端均指向凹槽中心，用于固定待测样品。

弹片的自由端向下倾斜与水平面的夹角为8～15°，弹片的厚度为0.2～0.5cm。

透明防磁盖为夹层结构，夹层结构两侧最外层均为pva层，并且两侧pva层之间夹连有钢化玻璃层，钢化玻璃层内填充有软磁粉。

台面上铰接有第一连接臂的一端，第一连接臂的另一端铰接有第二连接臂的一端，第二连接臂的另一端为自由端，并且自由端上安装有放大镜，用于对待测样品进行辅助观察。

本发明的有益效果是，

(1)本发明通过在夹持座上拆卸安装有透明防磁盖，透明防磁盖中的软磁粉能够在测试待测样品时，将扫描电镜镜头在通电时产生的磁场吸附，使得磁场大部分从软磁粉内部通过，从而防止金属类待测样品因磁力被吸附至电镜镜头上而导致测试结果不准确，扫描电镜镜头被损坏的问题。

(2)本发明通过在夹持座上固连有多个弹片对待测样品进行夹持固定，能够稳固夹持待测样品，有效地提高了测试精度。

附图说明

图1是本发明一种扫描电镜测试平台的结构示意图；

图2是本发明一种扫描电镜测试平台中测试座的结构示意图；

图3是本发明一种扫描电镜测试平台中透明防磁盖的结构剖视图。

图中，1.台面，11.支撑柱，2.测试座，21.夹持座，22.凹槽，23.弹片，24.透明防磁盖，25.防磁盖放置槽，26.导电橡胶放置板，27.挡板，31.第一连接臂，32.第二连接臂，33.铰链，34.放大镜，41.第一pva层，42.第二pva层，43.钢化玻璃层，44.软磁粉。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。

本发明一种扫描电镜测试平台的结构如图1所示，包括台面1，台面1底面通过多个支撑柱11进行支撑，台面1上安装有多个间隔均匀的测试座2，如图2所示，每个测试座2顶面均固连有一对夹持座21，每个夹持座21顶面开设有凹槽22以放置待测样品，夹持座21上固接有夹持组件以固定待测样品，夹持座21顶面拆卸安装有透明防磁盖24，测试座2顶面还固连有两个防磁盖放置槽25，两个防磁盖放置槽25位于一对夹持座21之间，每个夹持座21与一个防磁盖放置槽25对应。

进一步的，为了方便对单一待测试样品进行分隔测试，测试座2两两之间通过挡板27进行隔离。

进一步的，凹槽22内卡接有导电橡胶放置板26，用于放置导电材质的待测样品，同时还可以起到保护垫作用，防止待测试样品损坏。

进一步的，夹持组件为固接在夹持座21上的四个弹片23，每个弹片23的一端固接在夹持座21上，另一端为自由端，每个弹片21的自由端均指向凹槽22中心，用于固定待测样品。

进一步的，为了稳定固定待测样品，弹片21的自由端向下倾斜与水平面的夹角为8～15°，弹片21的厚度为0.2～0.5cm。

进一步的，如图3所示，透明防磁盖24为夹层结构，夹层结构两侧最外层分别为第一pva层41、第二pva层42，并且第一pva层41、第二pva层42之间夹连有钢化玻璃层43，钢化玻璃层43内填充有软磁粉44。

进一步的，台面1上铰接有第一连接臂31的一端，第一连接臂31的另一端铰接有第二连接臂32的一端，第二连接臂32的另一端为自由端，并且自由端上安装有放大镜34，用于对待测样品进行辅助观察。

本发明装置的使用原理是，将待测样品放置于凹槽22内，固接在夹持座21上的四个弹片23分别因自身弹力将待测样品夹紧于凹槽22内，即可开始对待测样品进行电镜测试；由于电镜镜头在通电时会产生磁场，金属类待测样品易被吸附，当需要对金属类待测样品进行测试时，将金属类待测样品放置于凹槽22内，随后将透明防磁盖24扣合在夹持座21上，由于钢化玻璃层43内填充有软磁粉44，软测粉44能够吸附磁场，使磁场大部分从软磁粉44内部通过，使得被透明防磁盖24包裹的区域内也就是凹槽22内的磁场大大减小，从而达到防磁的功效，避免金属材料进行电镜测试时被吸附导致电镜镜头损坏。

技术特征：

1.一种扫描电镜测试平台，其特征在于，包括台面(1)，所述台面(1)上安装有多个间隔均匀的测试座(2)，每个测试座(2)顶面均固连有夹持座(21)，所述夹持座(21)顶面开设有凹槽(22)以放置待测样品，所述夹持座(21)上固接有夹持组件以固定待测样品，所述夹持座(21)顶面拆卸安装有透明防磁盖(24)，所述测试座(2)顶面还固连有防磁盖放置槽(25)。

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜测试平台，其特点在于，所述测试座(2)两两之间通过挡板(27)进行隔离。

3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜测试平台，其特点在于，所述凹槽(22)内卡接有导电橡胶放置板(26)，用于放置导电材质的待测样品。

4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜测试平台，其特点在于，所述夹持组件为固接在所述夹持座(21)上的多个弹片(23)，每个所述弹片(23)的一端固接在所述夹持座(21)上，另一端为自由端，每个所述弹片(21)的自由端均指向所述凹槽(22)中心，用于固定待测样品。

5.根据权利要求4所述的一种扫描电镜测试平台，其特点在于，所述弹片(21)的自由端向下倾斜与水平面的夹角为8～15°，所述弹片(21)的厚度为0.2～0.5cm。

6.根据权利要求1所述的一种扫描电镜测试平台，其特点在于，所述透明防磁盖(24)为夹层结构，所述夹层结构两侧最外层均为pva层，并且两侧pva层之间夹连有钢化玻璃层(43)，所述钢化玻璃层(43)内填充有软磁粉(44)。

7.根据权利要求1所述的一种扫描电镜测试平台，其特点在于，所述台面(1)上铰接有第一连接臂(31)的一端，所述第一连接臂(31)的另一端铰接有第二连接臂(32)的一端，所述第二连接臂(32)的另一端为自由端，并且所述自由端上安装有放大镜(34)，用于对待测样品进行辅助观察。

技术总结
本发明公开了一种扫描电镜测试平台，包括台面，台面上安装有多个间隔均匀的测试座，每个测试座顶面均固连有夹持座，夹持座顶面开设有凹槽以放置待测样品，夹持座上固接有夹持组件以固定待测样品，夹持座顶面拆卸安装有透明防磁盖，测试座顶面还固连有防磁盖放置槽。本发明解决了现有扫描电镜测试平台在对金属材料进行扫描电镜测试时不防磁的问题。

技术研发人员：邵明明;孙静;梁晓萍;韩文霞;刘蓓;武永红;魏慧;李妮
受保护的技术使用者：西安医学院
技术研发日：2019.12.19
技术公布日：2020.04.21