本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体涉及一种释放封装应力的装置。
背景技术:
百度文库2014.2.28公开的一篇名为《封装应力引起的器件特性变动》的论文中记载。
半导体封装器件生产完成后,将会发生由组成材料的线膨胀系数差异所引起的、作用于硅芯片上的热应力,即封装应力。在此热应力的作用下,一些封装前后的半导体封装器件的性能将会发生大的变化,在使用过程中易失效,寿命短。
技术实现要素:
为解决上述问题,本实用新型提出一种释放封装应力的装置。
本实用新型的技术方案:
一种释放封装应力的装置,用于释放半导体封装器件的封装应力;其特征在于,它包括机架、钢丝网带以及加热板;所述机架两端分别旋转安装有主动辊、传动辊,主动辊由驱动机构驱动;钢丝网带套装在主动辊与传动辊上,随主动辊转动传动;加热板设置在钢丝网带之间。
将封装好的半导体封装器件,装在料盘内,依次通过钢丝网带,由钢丝网带传动通过加热板加热形成一高温环境约10秒,高温作用于半导体封装器件,基于热冲击时效法(实质是将工件进行快速加热,使加热过程中造成的热应力正好与残余应力叠加,超过材料的屈服极限引起塑性变形,从而使原始残余应力很快松弛并稳定化),从而实现封装应力的释放。
对上述技术方案作进一步的改进和细化,所述装置还包括有控制箱以及温度传感器,控制箱分别连接驱动机构、加热板、温度传感器以及设置在机架上的外接电源插口,外接电源插口连接外接电源供电,温度传感器设置在加热板上,检测加热板温度。
对上述技术方案作进一步的改进和细化,所述加热板包括一平板,平板两端分别与机架固定连接,在平板上均匀分布设置有若干条形孔,在平板下缠绕设置有加热丝;所述加热丝与控制箱连接;所述平板与上侧钢丝网带之间间隙接触;平板一方面作为加热丝的载体,另一方面用与支撑钢丝网带。
对上述技术方案作进一步的改进和细化,所述机架顶部设置有吸风罩,吸风罩罩在钢丝网带上方,所述吸风罩上设置有出风口,出风口通过管道连接排风扇,排风扇与控制箱连接;排风扇的设计便于热量的扩散。
对上述技术方案作进一步的改进和细化,所述控制箱上设置有液晶屏,显示加热温度,控制箱上设置有若干按钮,分别控制驱动机构、加热板、排风扇的开/关。
本实用新型优点是,设计合理,结构简单,能够有效释放半导体的封装器件的封装应力,从而避免封装应力对半导体造成影响,不易失效,使用寿命长。
附图说明
图1是释放封装应力的装置结构示意图。
图2是释放封装应力的装置局部俯视图。
图3是加热板俯视图。
图4是加热板仰视图。
具体实施方式
如图1-4所述,一种释放封装应力的装置,用于释放半导体封装器件的封装应力;它包括机架1、钢丝网带2以及加热板3;所述机架1两端分别旋转安装有主动辊4、传动辊5,主动辊4由驱动机构6驱动;钢丝网带2套装在主动辊4与传动辊5上,随主动辊4转动传动;加热板3设置在钢丝网带2之间,所述加热板3包括一平板3-1,平板3-1两端分别与机架1固定连接,在平板3-1上均匀分布设置有若干条形孔3-2,在平板3-1下缠绕设置有加热丝3-3;所述平板3-1与上侧钢丝网带2之间间隙接触;所述装置还包括有控制箱7以及温度传感器,控制箱7分别连接驱动机构6、加热板3、温度传感器以及设置在机架1上的外接电源插口,外接电源插口连接外接电源供电,温度传感器设置在加热板3上,检测加热板3温度;所述机架1顶部设置有吸风罩8,吸风罩8罩在钢丝网带2上方,所述吸风罩8上设置有出风口,出风口通过管道连接排风扇9,排风扇9与控制箱7连接;排风扇9的设计便于热量的扩散;所述控制箱7上设置有液晶屏7-1,显示加热温度,控制箱7上设置有若干按钮7-2,分别控制驱动机构、加热板、排风扇的开/关。
由于文字表达的有限性,而客观上存在无限的具体结构,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进、润饰或变化,也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合;这些改进润饰、变化或组合,或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的,均应视为本实用新型的保护范围。
1.一种释放封装应力的装置,用于释放半导体封装器件的封装应力;其特征在于,它包括机架、钢丝网带以及加热板;所述机架两端分别旋转安装有主动辊、传动辊,主动辊由驱动机构驱动;钢丝网带套装在主动辊与传动辊上,随主动辊转动传动;加热板设置在钢丝网带之间。
2.根据权利要求1所述的一种释放封装应力的装置,其特征在于,所述装置还包括有控制箱以及温度传感器,控制箱分别连接驱动机构、加热板、温度传感器以及设置在机架上的外接电源插口,外接电源插口连接外接电源供电,温度传感器设置在加热板上,检测加热板温度。
3.根据权利要求2所述的一种释放封装应力的装置,其特征在于,所述加热板包括一平板,平板两端分别与机架固定连接,在平板上均匀分布设置有若干条形孔,在平板下缠绕设置有加热丝;所述加热丝与控制箱连接;所述平板与上侧钢丝网带之间间隙接触。
4.根据权利要求2所述的一种释放封装应力的装置,其特征在于,所述机架顶部设置有吸风罩,吸风罩罩在钢丝网带上方,所述吸风罩上设置有出风口,出风口通过管道连接排风扇,排风扇与控制箱连接。
5.根据权利要求4所述的一种释放封装应力的装置,其特征在于,所述控制箱上设置有液晶屏,显示加热温度,控制箱上设置有若干按钮,分别控制驱动机构、加热板、排风扇的开/关。