一种等离子刻蚀机硅片加压夹具的制作方法

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种等离子刻蚀机硅片加压夹具。

背景技术：

太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性pn结，在制作过程中，需要将扩散工序中形成的硅边缘p-n结去除，在大规模生产中，一般用cf4在高频电场中电离，产物与si反应生成sif4的方式来去除边缘pn结。因而反应过程中需将硅片层叠压紧。现有的硅片等离子刻蚀夹具，不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控制产品质量。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种等离子刻蚀机硅片加压夹具。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座，所述底座上部两端设置有支撑柱，所述支撑柱外围安装有弹簧，所述支撑柱上部外表面具有外螺纹，所述底座上方设置有压板，所述压板两端与所述支撑柱滑动连接，所述压板上部与所述支撑柱连接处设置有涡轮，所述涡轮底部设置有压块，所述涡轮与所述压块中间具有内螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹相配合，所述支撑柱一侧的所述压板上部两端设置有轴承座，所述轴承座安装有蜗杆，所述轴承座外侧设置有把手，所述把手与所述蜗杆相连接，所述涡轮与所述蜗杆相啮合。

进一步的，所述压板底部设置有压力感应板，所述压板侧面设置压力显示表。

进一步的，所述底座和所述压板四角都设置有圆倒角。

进一步的，所述弹簧底部与所述底座相连接，顶部与所述压板相连接。

进一步的，所述弹簧为柱形压缩弹簧。

本实用新型的有益效果是：本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；设置的涡轮与蜗杆相配合，使得压板下压时保持稳定平衡均匀的力，使得硅片四周的压力相平衡，准确控制产品质量；设置的压力感应板与压力显示表相配合，能够实时监测压板对硅片加压的压力，并通过旋转把手调节，进而准确控制整叠硅片的压力。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的主视图；

图3是本实用新型中涡轮与压块配合的立体结构示意图。

图中：1-底座、2-支撑柱、3-弹簧、4-外螺纹、5-压板、6-涡轮、7-压块、8-内螺纹、9-轴承座、10-蜗杆、11-把手、12-压力感应板、13-压力显示表。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

结合图1至图所示的一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座1，底座1上部两端设置有支撑柱2，支撑柱2外围安装有弹簧3，支撑柱2上部外表面具有外螺纹4，底座1上方设置有压板5，压板5两端与支撑柱2滑动连接，压板5上部与支撑柱2连接处设置有涡轮6，涡轮6底部设置有压块7，涡轮6与压块7中间具有内螺纹8，外螺纹4与内螺纹8相配合，支撑柱2一侧的压板5上部两端设置有轴承座9，轴承座9安装有蜗杆10，轴承座9外侧设置有把手11，把手11与蜗杆10相连接，涡轮6与蜗杆10相啮合。

压板5底部设置有压力感应板12，压板5侧面设置压力显示表13，使得通过压力显示表13能够监测出压板5对整叠的硅片施加压力的大小，进而通过旋转把手11旋转控制调节；底座1和压板5四角都设置有圆倒角，避免人体或者物体被割伤刮伤；弹簧3底部与底座1相连接，顶部与压板5相连接。弹簧3为柱形压缩弹簧，通过弹簧3对压板5起到支撑的作用。

工作原理：在使用本装置时，先将整叠的硅片摆放在底座的上部，然后正向旋转把手，把手带动蜗杆，然后通过蜗杆传动带动涡轮旋转沿着支撑柱下降，(由于涡轮中间设置有内螺纹，且内螺纹与支撑柱上设置的外螺纹相匹配，所述蜗杆能够带动涡轮沿着支撑柱上下移动)下降的过程中，带动底部设置的压块与压板一起向下运动，对整叠的硅片进行加压，加压完成后，反向旋转把手，压板由于失去涡轮和压块的压力，在弹簧弹力的作用下，压板上升，取出加压好的硅片，加压工序完成。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

技术特征：

1.一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上部两端设置有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)外围安装有弹簧(3)，所述支撑柱(2)上部外表面具有外螺纹(4)，所述底座(1)上方设置有压板(5)，所述压板(5)两端与所述支撑柱(2)滑动连接，所述压板(5)上部与所述支撑柱(2)连接处设置有涡轮(6)，所述涡轮(6)底部设置有压块(7)，所述涡轮(6)与所述压块(7)中间具有内螺纹(8)，所述外螺纹(4)与所述内螺纹(8)相配合，所述支撑柱(2)一侧的所述压板(5)上部两端设置有轴承座(9)，所述轴承座(9)安装有蜗杆(10)，所述轴承座(9)外侧设置有把手(11)，所述把手(11)与所述蜗杆(10)相连接，所述涡轮(6)与所述蜗杆(10)相啮合。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，其特征在于：所述压板(5)底部设置有压力感应板(12)，所述压板(5)侧面设置压力显示表(13)。

3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，其特征在于：所述底座(1)和所述压板(5)四角都设置有圆倒角。

4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，其特征在于：所述弹簧(3)底部与所述底座(1)相连接，顶部与所述压板(5)相连接。

5.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，其特征在于：所述弹簧(3)为柱形压缩弹簧。

技术总结
本实用新型公开了一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座，底座上部两端设置有支撑柱，支撑柱外围安装有弹簧，支撑柱上部外表面具有外螺纹，底座上方设置有压板，压板两端与支撑柱滑动连接，压板上部与支撑柱连接处设置有涡轮，涡轮底部设置有压块，涡轮与压块中间具有内螺纹，外螺纹与内螺纹相配合，支撑柱一侧的压板上部两端设置有轴承座，轴承座安装有蜗杆，轴承座外侧设置有把手，涡轮与蜗杆相啮合。本实用新型的有益效果是：本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；本实用新型设计合理，结构简单稳定，实用性强；不仅能够保证压板对硅片周边施加的压力平衡均匀，提高加压效果，还可以精确的控制压板对整叠硅片加压压力的大小。

技术研发人员：陈正;刘昭;周亮亮
受保护的技术使用者：江苏国源激光智能装备制造有限公司
技术研发日：2019.12.30
技术公布日：2020.07.17