一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源的制作方法

本实用新型涉及氦质谱检漏仪技术领域，尤其涉及一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源。

背景技术：

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中最常用的两种方法。

传统离子源中的灯丝为柱形螺旋结构，该种灯丝制造起来工艺过于复杂，成本较高，同时该种灯丝使用过程中更容易发热。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中柱形螺旋结构灯丝制造起来工艺过于复杂，成本较高，同时该种灯丝使用过程中更容易发热的缺点，而提出的一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，包括接收器座、反射筒，所述反射筒顶部开设有圆孔，所述接收器座底侧设有接线端，所述接收器座上部通过支撑件与反射筒连接，所述支撑件上设有水平摆放的拖片，所述拖片上设有螺旋栅筒，所述支撑件上连接有引线，所述引线与接线端连接，所述引线置于反射筒内部的部分设有灯丝，所述灯丝为带状直丝灯丝。

优选的，所述灯丝材质为铱丝外镀氧化钇。

优选的，所述灯丝长度10-28mm，宽1mm，厚0.1mm。

优选的，所述灯丝与螺旋栅筒间距为2.5-3.5mm。

优选的，所述圆孔与螺旋栅筒间距为1-3mm。

本实用新型提出的一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，有益效果在于：采用该种灯丝使离子源信号更大化，大幅度提升了产品的检测精度；材料成本较以前减少30％；灯丝的加工工艺比以前减少许多，一次成型，避免了中间再加工出现的损耗；组件的装配也较以前简单许多，提升了生产效率；发射信号较以前很大程度的提高了稳定性和一致性，也整体提高了产品的一致性；结构的优化大大提升了使用寿命，节省了产品的使用成本。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构示意图；

图2为本实用新型的整体外观结构示意图；

图3为本实用新型的俯视结构示意图。

图中：接收器座1、支撑件2、引线3、灯丝4、螺旋栅筒5、拖片6、拖片连杆7、反射筒8、圆孔9。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，包括接收器座1、反射筒8，反射筒8顶部开设有圆孔9，接收器座1底侧设有接线端，接收器座1上部通过支撑件2与反射筒8连接，支撑件2上设有水平摆放的拖片6，拖片6上设有螺旋栅筒5，圆孔9与螺旋栅筒5间距为1-3mm，支撑件2上连接有引线3，引线3与接线端连接，引线3置于反射筒8内部的部分设有灯丝4，灯丝4为带状直丝灯丝，灯丝4材质为铱丝外镀氧化钇，灯丝4长度10-28mm，宽1mm，厚0.1mm，灯丝4与螺旋栅筒5间距为2.5-3.5mm。

工作原理：对灯丝加电，散发出电子，电子碰撞周围的气体分子，将分子外围的电子撞击掉，从而变为带正电荷的离子，再通过加速电场使离子以一定的速度穿过反射筒的圆孔射入外部空间。整个过程即电离和推动离子运动的过程。

该种离子源灯丝电阻更小，发热更小，从而使用寿命更长；本装置可以使发射电子数更多，气体电离率更高，较以前电离率可提高50-70％；结构和加工更加简洁，且几何定型，不存在反复调试的现象；保证了离子的稳发射和设备整体性能的一致性。

采用该种灯丝使离子源信号更大化，大幅度提升了产品的检测精度；材料成本较以前减少30％；灯丝的加工工艺比以前减少许多，一次成型，避免了中间再加工出现的损耗；组件的装配也较以前简单许多，提升了生产效率；发射信号较以前很大程度的提高了稳定性和一致性，也整体提高了产品的一致性；结构的优化大大提升了使用寿命，节省了产品的使用成本。

其中接收器座1的法兰盘大小是根据与另一配件的装配情况而定，对于离子源的离子发射性能不产生实质上的影响；改变中间的栅网结构：只要不是根本上改变栅网，都不会对离子源的离子发射性能产生实质上的影响，目前通用的栅网基本两种：镂空栅网和螺旋式栅筒均可以；改变密封结构：密封结构是对整体性能起辅助作用，但不对离子源的离子发射性能产生实质上的影响，目前的密封方式大多分o型圈橡胶密封和金属密封两种；底座法兰盘和接线引线的烧结方式，烧结是对离子源工作环境密封的一种方式，对整体性能起辅助作用，但不对离子源的离子发射性能产生实质上的影响，目前的烧结方式基本有玻璃烧结和陶瓷烧结。灯丝尺寸小幅度改变不会对离子源的离子发射性能产生实质上的影响。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变而得到的技术方案、构思、设计，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，包括接收器座(1)、反射筒(8)，所述反射筒(8)顶部开设有圆孔(9)，所述接收器座(1)底侧设有接线端，所述接收器座(1)上部通过支撑件(2)与反射筒(8)连接，所述支撑件(2)上设有水平摆放的拖片(6)，所述拖片(6)上设有螺旋栅筒(5)，所述支撑件(2)上连接有引线(3)，所述引线(3)与接线端连接，所述引线(3)置于反射筒(8)内部的部分设有灯丝(4)，其特征在于，所述灯丝(4)为带状直丝灯丝。

2.根据权利要求1所述的一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，其特征在于，所述灯丝(4)材质为铱丝外镀氧化钇。

3.根据权利要求2所述的一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，其特征在于，所述灯丝(4)长度10-28mm，宽1mm，厚0.1mm。

4.根据权利要求1所述的一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，其特征在于，所述灯丝(4)与螺旋栅筒(5)间距为2.5-3.5mm。

5.根据权利要求1所述的一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，其特征在于，所述圆孔(9)与螺旋栅筒(5)间距为1-3mm。

技术总结
本实用新型涉及氦质谱检漏仪技术领域，尤其是一种新型双铱丝带状直丝灯丝震荡型离子源，包括接收器座、反射筒，所述反射筒顶部开设有圆孔，所述接收器座底侧设有接线端，所述接收器座上部通过支撑件与反射筒连接，所述拖片上设有螺旋栅筒，所述支撑件上连接有引线，所述引线与接线端连接，所述引线置于反射筒内部的部分设有灯丝，所述灯丝为带状直丝灯丝。采用该种灯丝使离子源信号更大化，大幅度提升了产品的检测精度；材料成本较以前减少30％；一次成型，避免了中间再加工出现的损耗；组件的装配也较以前简单许多；发射信号较以前很大程度的提高了稳定性和一致性，结构的优化大大提升了使用寿命，节省了产品的使用成本。

技术研发人员：刘勇
受保护的技术使用者：安徽博为光电科技有限公司
技术研发日：2020.01.10
技术公布日：2020.07.31