一种硅片转换组件及转换装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种硅片转换组件及转换装置。


背景技术：

2.在半导体器件的实际生产中，根据需要有时只需选取硅片盒内的部分硅片，比如，于半导体生产过程中，较为常见的情况为，需对硅片盒内奇数卡槽内的硅片与偶数卡槽内的硅片分别进行不同的工艺流程，此时只需选取奇数卡槽内的硅片或只选取偶数卡槽内的硅片。现有的解决方法是需先对硅片盒内的硅片进行手动分片，将不需要选取的硅片取出，然后再使用硅片取放装置取放硅片，这种方法即浪费时间且易造成不必要的风险，如可能导致硅片选取错误和硅片受损等。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种硅片转换组件，以解决现有技术中需要选取硅片盒内的部分硅片操作中存在浪费时间和易造成不必要的风险的问题。
4.本实用新型的另一目的在于针对上述问题，提供一种硅片转换装置，以解决现有技术中需要选取硅片盒内的部分硅片操作中存在浪费时间和易造成不必要的风险的问题。
5.本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
6.一种硅片转换组件，其包括支架和对称设置于支架上的两根转轴，所述转轴的一端连接有驱动其转动的驱动装置，另一端安装有夹手，其中，所述夹手包括夹手本体，所述夹手本体的一侧开设有若干个贯穿其厚度方向且用于避让硅片盒内部分硅片的避让槽，每个所述避让槽的至少一侧的夹手本体上开设有用于支撑同一所述硅片盒内剩余部分硅片的分片槽。
7.作为本实用新型的一种优选方案，所述夹手本体上相对于设置避让槽和分片槽的另一侧开设有用于支撑同一所述硅片盒内所有硅片的取放料槽，所述取放料槽的个数等于避让槽与分片槽的个数之和。
8.作为本实用新型的一种优选方案，所述夹手本体的一侧面的中部沿其长度方向开设有转轴装配槽，所述转轴装配槽内间隔开设有两个转轴安装孔。
9.作为本实用新型的一种优选方案，所述夹手本体为长方体结构，所述分片槽、取放料槽和转轴装配槽位于所述夹手本体的同一侧面上。
10.作为本实用新型的一种优选方案，所述转轴安装孔为腰型孔，以便于调节夹手本体在转轴上的安装位置。
11.作为本实用新型的一种优选方案，所述避让槽为方形槽，所述分片槽和取放料槽均为具有斜槽。
12.一种硅片转换装置，其中，所述硅片转换装置上安装有上述硅片转换组件。
13.本实用新型的有益效果为，所述硅片转换组件不仅结构简单，设计巧妙；而且能够实现对同一硅片盒的硅片进行部分选择，整个硅片选择转换过程安全可靠，节省人力，工作
效率高。
附图说明
14.图1是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换组件的结构示意图；
15.图2是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换组件的夹手的立体结构示意图；
16.图3是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换组件的夹手的又一立体结构示意图；
17.图4是本实用新型具体实施方式提供的硅片转换组件的夹手的主视图。
具体实施方式
18.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
19.为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当部件被称为“固定于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者也可以存在居中的部件。当一个部件被认为是“连接”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者可能同时存在居中部件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
20.请参照图1至图4所示，于本实施例中，一种硅片转换装置包括硅片转换组件，硅片转换组件用于实现同一硅片盒将奇数卡槽内的硅片和偶数卡槽内的硅片进行转换分离，包括支架1和对称设置于支架1上的两根转轴2，转轴2的一端连接有驱动其转动的驱动装置，另一端能拆装地安装有夹手3，夹手3由硬质的塑料制成，整体为长方体结构，包括夹手本体30，夹手本体30的一侧面的中部沿其长度方向开设有转轴装配槽31，转轴装配槽31内间隔开设有两个转轴安装孔32，转轴安装孔32为腰型孔，以便于调节夹手本体30在转轴2上的安装位置，转轴2通过螺栓固定于转轴安装孔32内。
21.夹手本体30开设转轴装配槽31的侧面上的一侧边处开设有若干个贯穿夹手本体30厚度方向的避让槽33，避让槽33对应硅片盒内奇数位置上硅片设置，用于避让硅片盒内奇数位置上的硅片，每个避让槽23的一侧的夹手本体上均开设有分片槽34，分片槽34对应硅片盒内偶数位置上硅片设置，用于支撑硅片盒内偶数位置上的硅片，其中，避让槽33的截面为方形结构，分片槽34为具有斜槽，只要能够稳定支撑住硅片即可。
22.夹手本体30开设转轴装配槽31的侧面上的另一侧边处开设有用于支撑硅片盒内所有硅片的取放料槽35，取放料槽35的个数等于避让槽33与分片槽34 的个数之和，以使该夹手具有自动取放整盒硅片的功能。
23.工作时，支架1移动至取料工位，两个转轴2转动一定角度，通过取放料槽35将整盒硅片托起并转移放置于选择转换工位上，然后两个转轴2再转动一定角度，通过分片槽34将
偶数位置上的硅片支撑并托起放置于备用的硅片盒内即完成转换工作。
24.以上实施例只是阐述了本实用新型的基本原理和特性，本实用新型不受上述实施例限制，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书界定。


技术特征：
1.一种硅片转换组件，其包括支架和对称设置于支架上的两根转轴，所述转轴的一端连接有驱动其转动的驱动装置，另一端安装有夹手，其特征在于，所述夹手包括夹手本体，所述夹手本体的一侧开设有若干个贯穿其厚度方向且用于避让硅片盒内部分硅片的避让槽，每个所述避让槽的至少一侧的夹手本体上开设有用于支撑同一所述硅片盒内剩余部分硅片的分片槽。2.根据权利要求1所述的硅片转换组件，其特征在于：所述夹手本体上相对于设置避让槽和分片槽的另一侧开设有用于支撑同一所述硅片盒内所有硅片的取放料槽，所述取放料槽的个数等于避让槽与分片槽的个数之和。3.根据权利要求2所述的硅片转换组件，其特征在于：所述夹手本体的一侧面的中部沿其长度方向开设有转轴装配槽，所述转轴装配槽内间隔开设有两个转轴安装孔。4.根据权利要求3所述的硅片转换组件，其特征在于：所述夹手本体为长方体结构，所述分片槽、取放料槽和转轴装配槽位于所述夹手本体的同一侧面上。5.根据权利要求3所述的硅片转换组件，其特征在于：所述转轴安装孔为腰型孔。6.根据权利要求2所述的硅片转换组件，其特征在于：所述避让槽为方形槽，所述分片槽和取放料槽均为斜槽。7.一种硅片转换装置，其特征在于：其包括上述权利要求1
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6任一项所述的硅片转换组件。

技术总结
本实用新型公开一种硅片转换组件及转换装置，该包括支架和对称设置于支架上的两根转轴，转轴的一端连接有驱动其转动一定角度的驱动装置，另一端安装有夹手，夹手包括夹手本体，夹手本体的一侧开设有若干个贯穿其厚度方向且用于避让硅片盒内部分硅片的避让槽，每个避让槽的至少一侧的夹手本体上开设有用于支撑同一硅片盒内剩余部分硅片的分片槽。上述硅片转换组件不仅结构简单，设计巧妙；而且能够实现对同一硅片盒的硅片进行部分选择，整个硅片选择转换过程安全可靠，节省人力，工作效率高。工作效率高。工作效率高。


技术研发人员：欧阳小泉
受保护的技术使用者：无锡泉一科技有限公司
技术研发日：2020.09.13
技术公布日：2021/11/14