1.本实用新型是一种便于使用的小型真空室，属于真空电子设备器件技术领域。
背景技术：
2.真空室，主要是应用在真空领域，作为真空设备的一部分，将产品置入真空室连接到真空设备。一般真空室都是半开放式的真空管道或者腔体，小型真空室以管道为主。通过其开放的法兰或者接口与真空系统相连，获得真空从而使产品处于真空环境进行各种生产测试。真空室一般要求气体漏放率小，极限真空度高，安装便捷，成本适宜。
3.现有的小型真空室，一般是cf接口的金属半开放式管道（以下简称cf金属真空室）或者是玻璃橡胶圈密封的玻璃半开放式管道（以下简称橡胶圈玻璃真空室）。cf金属真空室的特点是密封性比较好，真空漏放率小，适合超高真空密封条件，缺点是更换产品拆卸真空室相对繁琐、每次更换产品需要更换无氧铜密封垫片，成本较高，金属真空室难于观察产品状态、无法通过高频感应加热产品或对产品进行测温。橡胶圈玻璃真空室的特点是更换产品拆卸真空室比较简单，橡胶密封圈可以反复使用成本较低，玻璃真空室可以通过电磁感应加热产品或对产品进行测温，缺点是漏放率大、稳定性差容易漏气，适合用于对真空度要求不高的场合。
技术实现要素：
4.本实用新型提出的是一种便于使用的小型真空室，其目的在于解决现有技术中真空室安装不便、成本高企、稳定性差的问题，提供一种便于安装使用、一致性好、成本低廉的小型真空室。
5.本实用新型的技术解决方案：一种便于使用的小型真空室，包括kf真空法兰、可伐管、玻璃管；其中kf真空法兰与可伐管一端密封连接，可伐管另一端密封连接半封闭的玻璃管开放端，该真空室通过kf法兰与真空系统连接。
6.所述kf法兰为kf16、kf25、kf40三种标准规格中的一种，通过焊接的方式与可伐管道密封焊接在一起。
7.所述可伐管道为外径大于等于12mm小于等于45mm，长度大于等于10mm小于等于200mm，壁厚大于等于0.5mm小于等于2mm的金属管道，其一端与kf真空法兰密封焊接，另一端与玻璃管钎焊连接。
8.所述玻璃管，为一端开口一端密封的半开放式管道；其管道外径大于等于12mm小于等于45mm，长度大于等于50mm小于等于500mm，管道壁厚大于等于0.8mm小于等于5mm，其开放的一端与可伐管道密封焊接。
9.还包括橡胶密封件，所述橡胶密封件设于kf法兰与真空系统连接处。
10.本实用新型的有益效果：
11.1）气体漏放率较小，容易实现较高的真空度，极限真空度可达(1e
‑
5)pa量级；
12.2）真空室玻璃透明，便于观察内部情况，且可实现高频加热内部器件，光学测温
等；
13.3）结构简单、安装方便；
14.4）耗材耐用、成本较低，所搭配橡胶密封件价格低廉，可以反复使用，寿命可达数年。
附图说明
15.附图1是用于真空器件的吸气剂加热装置的结构示意图。
16.附图中1是kf真空法兰、2是可伐管、3是玻璃管。
具体实施方式
17.下面结合附图对本实用新型技术方案做进一步解释说明。
18.对照附图1，一种便于使用的小型真空室，其结构包括kf真空法兰、可伐管、玻璃管；其中kf真空法兰与可伐管密封焊接，可伐管另一端密封焊接玻璃管的开放端。
19.所述的kf法兰为kf16、kf25、kf40三种标准规格中的一种，通过焊接的方式与可伐管道密封连接在一起。
20.所述的可伐管道为外径12mm到45mm，长度从10mm到200mm，壁厚从0.5mm到2mm的金属管道，其一端与kf真空法兰密封焊接，另一端与玻璃管密封焊接。
21.所述的玻璃管，是一种一端开口一端密封的半开放式管道；其管道外径大于等于12mm小于等于45mm，长度大于等于50mm小于等于500mm，管道壁厚大于等于0.8mm小于等于5mm，其开放的一端与可伐管道密封焊接。
22.实施例1
23.一种便于使用的小型真空室，其结构包括kf真空法兰、可伐管、玻璃管；其中kf真空法兰与可伐管焊接，可伐管另一端钎焊半封闭的玻璃管。
24.kf法兰为kf40标准规格，通过氩弧焊的方式与可伐管道密封焊接在一起。
25.可伐管道为外径40mm，长度50mm，壁厚1.5mm的金属圆柱形管道，可伐材料4j29，其一端与kf真空法兰密封氩弧焊，另一端与玻璃管密封钎焊。
26.玻璃管，是一端开口一端密封的半开放式圆柱形管道，开放端为圆环形平整截面，封闭端为圆弧形密闭底面；其管道外径40mm，总长度250mm，管道壁厚2mm，材料为dm
‑
305，其开放的一端与可伐管道密封钎焊。
27.工作时，将产品置于真空室中，通过kf快卸法兰将真空室与真空系统相连，开启真空系统，按程序进行排气，达到预定真空度即可。
28.实施例2
29.一种便于使用的小型真空室，其结构包括kf真空法兰、可伐管、玻璃管；其中kf真空法兰与可伐管焊接，可伐管另一端钎焊半封闭的玻璃管。
30.kf法兰为kf25标准规格，通过氩弧焊的方式与可伐管道密封焊接在一起。
31.可伐管道为外径25mm，长度40mm，壁厚1.35mm的金属圆柱形管道，可伐材料4j29，其一端与kf真空法兰密封氩弧焊，另一端与玻璃管密封钎焊。
32.玻璃管，是一端开口一端密封的半开放式圆柱形管道，开放端为圆环形平整截面，封闭端为圆弧形密闭底面；其管道外径25mm，总长度380mm，管道壁厚1.8mm，材料为dm
‑
305，
其开放的一端与可伐管道密封钎焊。
33.kf法兰与真空系统连接处还设有橡胶密封件。
34.工作时，将产品置于真空室中，通过kf快卸法兰将真空室与真空系统相连，开启真空系统，按程序进行排气，达到预定真空度即可。
技术特征：
1.一种便于使用的小型真空室，其特征是包括kf真空法兰、可伐管、玻璃管；其中kf真空法兰与可伐管一端密封连接，可伐管另一端密封连接半封闭的玻璃管开放端，该真空室通过kf法兰与真空系统连接。2.根据权利要求1所述的一种便于使用的小型真空室，其特征是所述kf法兰为kf16、kf25、kf40三种标准规格中的一种，通过焊接的方式与可伐管道密封焊接在一起。3.根据权利要求1所述的一种便于使用的小型真空室，其特征是所述可伐管道为外径大于等于12mm小于等于45mm，长度大于等于10mm小于等于200mm，壁厚大于等于0.5mm小于等于2mm的金属管道，其一端与kf真空法兰密封焊接，另一端与玻璃管钎焊连接。4.根据权利要求1所述的一种便于使用的小型真空室，其特征是所述玻璃管，为一端开口一端密封的半开放式管道；其管道外径大于等于12mm小于等于45mm，长度大于等于50mm小于等于500mm，管道壁厚大于等于0.8mm小于等于5mm，其开放的一端与可伐管道密封焊接。5.根据权利要求1所述的一种便于使用的小型真空室，其特征是还包括橡胶密封件，所述橡胶密封件设于kf法兰与真空系统连接处。
技术总结
本实用新型涉及一种便于使用的小型真空室，其结构包括KF真空法兰、可伐管、玻璃管；其中KF真空法兰与可伐管密封焊接，可伐管另一端钎焊半封闭的玻璃管。优点：1）气体漏放率较小，容易实现较高的真空度；2）真空室透明，便于观察内部情况，且可实现高频加热内部器件，光学测温等；3）结构简单、安装方便；4）耗材耐用、成本较低。本较低。本较低。
技术研发人员：王浏杰 薛函迎 柴云川 郭卫斌
受保护的技术使用者：南京华东电子真空材料有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/9/21