激光器的控制方法、装置及激光器与流程

本发明涉及控制领域，具体一种激光器的控制方法、装置及控制器。

背景技术：

1、准分子激光器，以准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束(能量大于200千电子伏特)或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的能量以激光辐射的形式放出。

2、而为了使得激光器可以可稳定且可靠的工作，需要对其进行较好的控制，而如何对激光器进行控制是现在需要解决的问题。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题在于，克服现有的技术的不足，提供一种激光器的控制方法、装置及激光器，用于能够较好地控制激光器的工作状态。

2、为达到上述技术目的，一方面，本发明提供的一种激光器的控制方法，包括：在激光器无异常的情况下，获取开启指令，开启激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至开启状态，并将准备标置位进行置位；获取工作指令，控制激光器进行曝光，将出光信号位进行置位，当监测到激光器的能量异常或工作气体量异常，调整工作气体，以切换激光器的控制状态至气体调整状态；获取关闭指令，关闭激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至关闭状态，并将出光信号位进行复位，将准备标置位进行复位。

3、此外，该方法还包括：在获取开启指令前，获取激光器的监测信息，当所述监测信息存在报警信息，将报警标志位进行置位，以切换激光器的控制状态至报警状态，并进行报警排查；当监测信息不存在报警信息，确定激光器的工作气体是否符合更换条件，如果符合条件，则将气体标志位进行置位，以切换激光器的控制状态至气体操作状态，并更换激光器的工作气体，以使激光器无异常；在激光器的执行结构开启的过程中，获取监测信息并当监测信息存在报警信息，关闭激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至关闭状态，并将报警标志位进行置位，以切换激光器的控制状态至报警状态，并进行报警排查。

4、此外，该方法还包括：获取控制指令，对所述控制指令进行验证，当通过验证后，根据所述控制指令，确定对应指令类型，以使得根据指令类型，用以控制所述激光器，并切换控制状态。

5、此外，该方法还包括：提供交互界面，基于所述交互界面，响应于输入的登录信息，进行账户登录；在账户登录后，基于所述交互界面，响应于输入或选择的操作指令，以使得获取所述操作指令，用以控制激光器。

6、此外，该方法还包括：响应于输入或选择的操作指令，确定所述操作指令对应的账户是否具有执行权限；当不具有执行权限，则提示表示不具有执行权限的信息；当具有执行权限，则确定所述操作指令是否符合激光器的执行条件，当符合执行条件，以使得根据获取到的操作指令，执行操作指令，用以控制激光器。

7、此外，该方法还包括：对激光器的硬件进行初始化，在初始化后，接收读取指令，根据读取指令，读取对应硬件的信息；在初始化后，接收写入指令，根据写入指令，对对应硬件的信息进行写入，以使控制对应的硬件。

8、此外，该方法还包括：在初始化的过程中，确定所述硬件是否异常，如果确定没有异常，则执行接收读取指令的步骤，或执行接收写入指令的步骤；在读取对应硬件的信息的过程中，如果存在读取异常的情况，则根据读取指令，重复读取预置次数的对应硬件的信息，如果存在读取异常的情况，则提示表示硬件异常的信息，并停止读取；在对对应硬件的信息进行写入的过程中，如果存在写入异常的情况，则根据写入指令，重复预置次数对对应硬件的信息进行写入，如果存在写入异常的情况，则提示表示硬件异常的信息，并停止写入。

9、此外，该方法还包括：提供数据库操作界面，基于所述数据库操作界面，响应于输入的读取指令，从数据库中读取激光器对应的参数数据，并进行展示，数据库用于存储激光器的参数数据；基于所述数据库操作界面，响应于输入的更新指令，对数据库中对应的参数数据进行更新；基于所述数据库操作界面，响应于输入的写入指令，对数据库中对应的参数数据进行写入。

10、具体的，所述响应于输入的读取指令，从数据库中读取对应的参数数据，包括：根据读取指令，从数据库中读取预置数量或预置长度的参数数据；其中，该方法还包括：在对数据库中对应的参数数据进行写入前，对数据库的存储空间的状态进行检测，当存储空间超过了预置存储容量后，提示表示数据备份的信息。

11、另一方面，本发明提供的一种激光器的控制装置，包括：开启模块，用于在激光器无异常的情况下，获取开启指令，开启激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至开启状态，并将准备标置位进行置位；控制模块，用于获取工作指令，控制激光器进行曝光，将出光信号位进行置位，当监测到激光器的能量异常或工作气体量异常，调整工作气体，以切换激光器的控制状态至气体调整状态；关闭模块，用于获取关闭指令，关闭激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至关闭状态，并将出光信号位进行复位，将准备标置位进行复位。

12、本发明提供的一种激光器，包括控制器，所述控制器实现前文所述方法中的步骤。

13、在本申请实施例中，在激光器无异常的情况下，获取开启指令，开启激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至开启状态，并将准备标置位进行置位；获取工作指令，控制激光器进行曝光，将出光信号位进行置位，当监测到激光器的能量异常或工作气体量异常，调整工作气体，以切换激光器的控制状态至气体调整状态；获取关闭指令，关闭激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至关闭状态，并将出光信号位进行复位，将准备标置位进行复位。从而使得控制激光器的工作过程，以及各个工作状态，即控制状态，同时还可以对报警信息进行很好的监控，以及气体的更换等，由此较好地实现了控制激光器的目的。

技术特征：

1.一种激光器的控制方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

9.一种激光器的控制装置，包括：开启模块，用于在激光器无异常的情况下，获取开启指令，开启激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至开启状态，并将准备标置位进行置位；控制模块，用于获取工作指令，控制激光器进行曝光，将出光信号位进行置位，当监测到激光器的能量异常或工作气体量异常，调整工作气体，以切换激光器的控制状态至气体调整状态；关闭模块，用于获取关闭指令，关闭激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至关闭状态，并将出光信号位进行复位，将准备标置位进行复位。

10.一种激光器，其特征在于，包括控制器，所述控制器实现权利要求1-8任一项所述方法中的步骤。

技术总结
本申请实施例提供一种激光器的控制方法、装置及激光器。在本申请实施例中，在激光器无异常的情况下，获取开启指令，开启激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至开启状态，并将准备标置位进行置位；获取工作指令，控制激光器进行曝光，将出光信号位进行置位，当监测到激光器的能量异常或工作气体量异常，调整工作气体，以切换激光器的控制状态至气体调整状态；获取关闭指令，关闭激光器的执行机构，以切换激光器的控制状态至关闭状态，并将出光信号位进行复位，将准备标置位进行复位。使得控制激光器的工作过程，以及各个工作状态，即控制状态，同时还可以对报警信息进行很好的监控，以及气体的更换等，由此较好地实现了控制激光器的目的。

技术研发人员：张华,冯泽斌,江锐,徐向宇,刘广义
受保护的技术使用者：北京科益虹源光电技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12