1.本发明涉及液晶相控阵平板天线领域，尤其涉及低功耗平板天线的电磁波调控领域。
背景技术：
2.近年来，激光通信技术得到快速发展。随着卫星激光通信技术的发展，需要建立卫星激光通信网络，实现一颗卫星与多颗卫星之间的通信，即多用户接入技术。目前国内外研究的激光通信系统为点对点单链路数据传输系统，采用机械式捕跟机构和传统式捕获跟踪策略。由于卫星激光通信链路距离远，激光发射功率受限，需要激光束散角尽量接近衍射极限。受激光束散角的限制，机械式扫描机构只能实现点对点的激光通信，如果要实现激光多点通信，一个平台上需要搭载多个光学天线，难以满足卫星平台对体积、重量和功耗的要求。这需要采用新型光学相控阵天线，实现卫星光通信多用户接入技术。
3.目前常用卫星光学天线的通信系统束散角窄，为了保证卫星间、星地间激光通信系统的稳定性，需要减少液晶相控阵天线的功耗，降低回波损耗，提升天线效率。
4.目前主要的液晶相控阵天线的外接滤波器、电容、电感、电阻等器件电路是额外生产装配，生产效率低，产品良率不高，标准化水平差。
技术实现要素：
5.本发明的目的在于提供一种电磁波调控装置，以解决上述问题。
6.本发明的上述目的是通过如下技术方案予以实现的：一种电磁波调控装置，在基于玻璃载板的移相器馈线单元的制作中，使用金属镀膜工艺在馈线、微带线等天线结构上添加金属薄膜器件，以达成液晶相控阵天线整机生产效率的提高、成本降低等目标。
7.优选地，所述金属薄膜的厚度一般为50a以上，长宽尺寸为大于2um，材质可以为铝、钛、铬、铜、银、金、金属氧化物、金属合金等。
8.优选地，所述金属薄膜可以为单层金属，也可以为多个单层金属，可以理解为单个电阻或者多个电阻，可以并联或串联。
9.优选地，所述金属薄膜也可以为多层金属，可以理解为电容，金属层与层之间可以用无机、有机等材料填充。
10.优选地，所述金属薄膜也可以为金属按照尺寸要求环绕，可以理解为电感。
11.优选地，所述金属的制备方法包括但不限于物理气相沉积、电镀、离子束、涂布等方法。
12.本发明金属薄膜器件制备完成后，用于替代现有的液晶相控阵天线上外接的滤波器、电感、电容等器件电路，与液晶相控阵天线同步制造，形成一体化，可以有效提升整机生产效率，降低成本，提高品质、标准化水平。
附图说明
13.图1是目前传统液晶相控阵天线出厂时未加外接器件电路截面示意图。
14.图2是目前传统液晶相控阵天线出厂时未加外接器件电路俯视示意图。
15.图3 是本发明电磁调控装置添加于相控阵天线截面示意图。
16.图4 是本发明电磁调控装置添加于相控阵天线俯视示意图。
具体实施方式
17.图1是目前传统液晶相控阵天线出厂时未加外接器件电路截面示意图，传统的液晶相控阵天线中的液晶移相器等技术中生产天线时不添加外电路。
18.图2是目前传统液晶相控阵天线出厂时未加外接器件电路俯视示意图，在出厂结束后，还需外接滤波器、电容、电阻等器件电路，以实现馈线、微带线之间的电路功能，提升器件的性能和效率，但是外接器件电路易造成成本增加、品质难以把控、标准化水平差、生产效率低等问题。
19.图3本发明电磁调控装置添加于相控阵天线截面示意图，本装置无需外接器件电路，而是在制造液晶相控阵天线的过程中，把额外的电子电路，诸如滤波器、电阻、电容等器件同步制造。
20.图4 是本发明电磁调控装置添加于相控阵天线俯视示意图，器件电路在基板上进行生产时的连接，可以有效提升整机生产效率，降低成本，提高品质、标准化水平，如在馈线之间增加20-200欧姆的电阻，可以提升馈电网络的隔离度，降低回波损耗，提升天线效率。
21.以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用于限定本发明的保护。
技术特征：
1.在基于玻璃载板的移相器馈线单元的制作中，使用金属镀膜工艺在馈线、微带线等天线结构上同时添加金属薄膜器件，器件的膜厚、尺寸、形状、工艺等可以根据设计要求进行调整。2.根据权利要求1所述的金属薄膜器件，其特征在于：金属薄膜的厚度一般为50a以上，长宽尺寸为大于2um，材质可以为铝、钛、铬、铜、银、金、金属氧化物、金属合金等。3.根据权利要求1所述的金属薄膜器件，其特征在于：金属薄膜可以为单层金属，也可以为多个单层金属，可以理解为单个电阻或者多个电阻，可以并联或串联。4.根据权利要求1所述的金属薄膜器件，其特征在于：金属薄膜也可以为多层金属，可以理解为电容，金属层与层之间可以用无机、有机等材料填充。5.根据权利要求1所述的金属薄膜器件，其特征在于：金属薄膜也可以为金属按照尺寸要求环绕，可以理解为电感。6.根据权利要求1所述的金属薄膜器件，其特征在于：金属的制备方法包括但不限于物理气相沉积、电镀、离子束、涂布等方法。
技术总结
本发明提供一种液晶相控阵电磁波调控装置及其制造方法，其包括在诸如馈线、微带线等天线结构上添加金属薄膜器件，器件的膜厚、尺寸、形状、工艺可以根据设计要求进行调整；在玻璃基板上制作微带线层时，使用半导体镀膜工艺，制作相应的元器件，达到提升生产效率、降低成本、提升馈电网络的隔离度，降低回波损耗，提升天线效率等。升天线效率等。升天线效率等。
技术研发人员：范泽龙 张加坤 王健
受保护的技术使用者：南京迪钛飞光电科技有限公司
技术研发日：2021.12.08
技术公布日：2022/1/21