贴片贴附装置的制作方法

本发明涉及一种贴片贴附装置，特别是涉及一种用以自动地贴附一贴片于贴附有一固定物的一第一胶膜上，并且所述贴片用以辅助一撕胶机构自所述固定物撕除所述第一胶膜。

背景技术：

1、晶圆(wafer)经过切割后形成多个裸晶(die)，由于切割成形的裸晶之间的多个间距极小，当裸晶在运送或是取晶的过程中，若是发生碰撞，裸晶的侧边便会发生碎裂。

2、为解决切割后的裸晶可能发生的碰撞问题，在一切割晶圆的制程之后，会进行晶圆扩片制程。在晶圆切割前，其底面预先贴附有具延展性的扩片胶膜，并且在晶圆被切割、被分离出裸晶后，透过扩片装置将扩片胶膜均匀的延展，便能够同时地均匀拉开裸晶之间的间距。

3、当裸晶之间的间距被扩片胶膜拉开后，裸晶贴附有扩片胶膜的相对侧会再贴附未受延展的移转胶膜以固定裸晶之间的间距。当裸晶被贴附移转胶膜后，扩片胶膜便必须被撕除。

4、由于切割后的裸晶的外轮廓大致呈现为圆形，因此扩片胶膜的侧边也会裁切为圆形。而圆形的扩片胶膜与其贴附的裸晶在扩片胶膜的侧边部分的接触面积将随着所述晶圆的尺寸提升而增大，而接触面积增大即意味着扩片胶膜的撕除难度增加，使得扩片胶膜的侧边部分更不容易透过任何自动化设备撕起。

5、在现有的撕胶机构在撕胶过程中，往往会需要通过人工先行将扩片胶膜的侧边部分撕离裸晶一定的面积，才能让撕胶机构接续撕胶过程。在产线中，由于连续的撕胶过程需要在人工以及撕胶机构之间交替接续，因此现有技术的撕胶过程不利于自动化制造或是无法有效提升生产效率。

技术实现思路

1、为解决习知技术在一晶圆扩片制程后的一撕胶机构在一撕胶过程中所面临的问题，本发明提供一种贴片贴附装置。所述贴片贴附装置包括一贴片、一第一胶膜、一固定物、以及一贴片取放机构。所述贴片包括一第一表面以及相对所述第一表面的一第二表面。所述第一胶膜包括一第三表面、相对所述第三表面的一第四表面、以及连接所述第三表面以及所述第四表面的一侧边。所述固定物贴附于所述第一胶膜的所述第三表面。所述贴片取放机构，用以捡取所述贴片并且固定所述贴片的所述第一表面。所述贴片取放机构还用以将所述贴片的所述第二表面贴附于所述第一胶膜的所述第三表面上。所述贴片的所述第二表面自所述第一胶膜的所述侧边向外延伸，以暴露出所述贴片的一部分所述第二表面。当以一撕胶机构撕除所述第一胶膜时，所述撕胶机构连接于所述第一胶膜的所述第四表面以及所述贴片的所述第二表面，所述撕胶机构透过所述贴片撕起所述第一胶膜，使得所述第一胶膜与所述固定物分离。

2、在一实施例中，所述贴片的所述第二表面包括一第一区域以及一第二区域，所述第一区域凸出所述第一胶膜的所述侧边，所述第二区域贴附于所述第一胶膜的所述第三表面上。

3、在一实施例中，所述贴片取放机构包括一吸头，所述吸头用以捡取所述贴片或是释放所述贴片于所述第一胶膜上。

4、在一实施例中，本发明之贴片贴附装置还包括一贴片供给机构。所述贴片供给机构用以供给所述贴片予所述贴片取放机构捡取。

5、在一实施例中，所述贴片取放机构还包括一第一移动组件。所述第一移动组件连接所述吸头。所述贴片取放机构的所述吸头通过所述第一移动组件往返所述贴片供给机构以及所述第一胶膜的所述第三表面之间。

6、在一实施例中，所述贴片取放机构还包括一第二移动组件。所述第一移动组件通过所述第二移动组件连接所述吸头。所述贴片取放机构的所述吸头通过所述第一移动组件以及所述第二移动组件往返所述贴片供给机构以及所述第一胶膜的所述第三表面之间。

7、在一实施例中，所述第二移动组件通过所述第一移动组件沿着一第一轴移动，以及所述吸头通过所述第二移动组件沿着一第二轴移动。所述第一轴与所述第二轴垂直。所述第二轴与所述第一胶膜垂直。

8、在一实施例中，所述第一移动组件以及所述第二移动组件包括一滑轨与滑块组或是一伸缩缸。

9、在一实施例中，所述贴片供给机构包括一贴片容置空间以及一贴片裁切组件。所述贴片容置空间用以容置一贴片卷料。所述贴片裁切组件用以裁切所述贴片卷料为所述贴片。

10、在一实施例中，所述贴片供给机构包括一贴片容置空间。所述贴片容置空间用以容置叠层的多个所述贴片。

11、利用本发明的所述贴片贴附装置，能解决所述晶圆扩片制程后的所述撕胶过程中所面临的问题。所述贴片贴附装置能够自动地贴附所述贴片于贴附于所述固定物的所述第一胶膜的所述第三表面上并且部分凸出所述第一胶膜的所述侧边，使得所述贴片能够辅助所述撕胶机构自动地自所述固定物上撕除所述第一胶膜，以达成自动化制造以及提升生产效率。

技术特征：

1.一种贴片贴附装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述贴片的所述第二表面包括一第一区域以及一第二区域，所述第一区域凸出所述第一胶膜的所述侧边，所述第二区域贴附于所述第一胶膜的所述第三表面上。

3.如权利要求1所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述贴片取放机构包括一吸头，所述吸头用以捡取所述贴片或是释放所述贴片于所述第一胶膜上。

4.如权利要求3所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述贴片贴附装置还包括一贴片供给机构，用以供给所述贴片予所述贴片取放机构捡取。

5.如权利要求4所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述贴片取放机构还包括一第一移动组件，所述第一移动组件连接所述吸头，所述贴片取放机构的所述吸头通过所述第一移动组件往返所述贴片供给机构以及所述第一胶膜的所述第三表面之间。

6.如权利要求5所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述贴片取放机构还包括一第二移动组件，所述第一移动组件通过所述第二移动组件连接所述吸头，以及所述贴片取放机构的所述吸头通过所述第一移动组件以及所述第二移动组件往返所述贴片供给机构以及所述第一胶膜的所述第三表面之间。

7.如权利要求6所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述第二移动组件通过所述第一移动组件沿着一第一轴移动，所述吸头通过所述第二移动组件沿着一第二轴移动，所述第一轴与所述第二轴垂直，以及所述第二轴与所述第一胶膜垂直。

8.如权利要求6所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述第一移动组件以及所述第二移动组件包括一滑轨与滑块组或是一伸缩缸。

9.如权利要求1所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述贴片供给机构包括一贴片容置空间以及一贴片裁切组件，所述贴片容置空间用以容置一贴片卷料，所述贴片裁切组件用以裁切所述贴片卷料为所述贴片。

10.如权利要求1所述的贴片贴附装置，其特征在于，所述贴片供给机构包括一贴片容置空间，所述贴片容置空间用以容置叠层的多个所述贴片。

技术总结
一种贴片贴附装置包括一贴片、一第一胶膜、一固定物、以及一贴片取放机构。所述贴片包括一第一表面以及相对所述第一表面的一第二表面。所述第一胶膜包括一第三表面、相对所述第三表面的一第四表面、以及连接所述第三表面以及所述第四表面的一侧边。所述固定物贴附于所述第一胶膜的所述第三表面。所述贴片取放机构，用以捡取所述贴片并且固定所述贴片的所述第一表面。所述贴片取放机构还用以将所述贴片的所述第二表面贴附于所述第一胶膜的所述第三表面上。所述贴片的所述第二表面自所述第一胶膜的所述侧边向外延伸，以暴露出所述贴片的一部分所述第二表面。

技术研发人员：陈正钦,林柏育
受保护的技术使用者：荌益国际有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13