太阳能电池扩散炉尾气处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置。


背景技术：

2.扩散工序是太阳能电池生产过程中重要的一步，如图1所示，将氮气通过氮气管道1通入装有液态磷源的源瓶2中进行鼓泡，携带磷源进入扩散炉3腔室，pocl3在高温下生成五氧化二磷和五氯化磷，其中生成的五氧化二磷在高温下与硅反应生成二氧化硅和磷原子，随后磷原子通过热扩散进入体硅，实现表面磷掺杂，现有的太阳能电池扩散炉尾气处理装置由尾气管4连接冷凝瓶5组成，该方法无法完全处理扩散过程产生的五氧化二磷等固体反应物，容易在尾气管壁积聚堵塞，对扩散炉腔室环境造成影响，进而影响电池的转换效率。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其能够减少固体杂质(氧化磷等)堵塞尾气管道,从而影响腔室扩散环境，而且其维护部件少,维护时间短，结构简单易改造。
4.本实用新型的目的通过如下技术方案实现：
5.一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，它包括与氮气管道相连的氮气支路、与氮气支路出口端相连的纯水瓶以及进气端与纯水瓶出气端相连的水汽支路；所述氮气支路出口端位于纯水瓶的水中；所述水汽支路的出气端与扩散炉的尾气管相连。
6.较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：
7.(1)本实用新型在利用氮气携带水汽能够有效防止扩散工艺中产生的固体反应物堵塞管路。
8.(2)本实用新型改造简单，成本低。
附图说明
9.图1是现有太阳能电池扩散炉的实施例的结构简图。
10.图2是本实用新型一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置的结构简图。
11.标号说明：氮气管道1、源瓶2、扩散炉3、尾气管4、冷凝瓶5、氮气支路6、纯水瓶7、水汽支路8、氮气单向阀9、尾气单向阀10、流量控制器11、气动阀12、自动控制器13、氮气总阀14。
具体实施方式
12.下面结合说明书附图和实施例对本

技术实现要素：
进行详细说明：
13.如图2所示为本实用新型提供的一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置的实施例示意图。
14.一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，它包括与氮气管道1相连的氮气支路6、与氮气支路6出口端相连的纯水瓶7以及进气端与纯水瓶7出气端相连的水汽支路8；所述氮气支路6出口端位于纯水瓶7的水中；所述水汽支路8的出气端与扩散炉3的尾气管4相连。
15.所述氮气支路6上设有氮气单向阀9。
16.所述尾气管4与扩散炉3之间设有尾气单向阀10。
17.所述尾气单向阀10出口端与尾气管4进口端、水汽支路8进气端相连。
18.所述水汽支路8上设有流量控制组件。
19.所述流量控制组件包括设于水汽支路8上的流量控制器11和气动阀12。
20.所述流量控制组件还包括与流量控制器11、气动阀12电连接的自动控制器13。自动控制器13的控制指令与设置在氮气管道1进口端的氮气总阀14的控制指令同步，实现同时开启和关闭，防止水汽进入扩散炉3腔室或源瓶。
21.本实用新型所述装置适用于大部分扩散工艺，优选地用于磷源扩散。
22.本实用新型所述装置的具体实施方法为：当氮气总阀14开启，氮气携带磷源进入扩散炉3腔室开始扩散工艺时，气动阀12相应开启，通过流量控制器11控制氮气流量，氮气携带水汽与尾气管4管壁上附着的五氧二化磷产生反应生成偏磷酸，经冷凝瓶冷却收集处理，可以有效防止五氧二化磷堵塞尾气管4，从而保证扩散炉3腔室压力的稳定性。


技术特征：
1.一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：它包括与氮气管道相连的氮气支路、与氮气支路出口端相连的纯水瓶以及进气端与纯水瓶出气端相连的水汽支路；所述氮气支路出口端位于纯水瓶的水中；所述水汽支路的出气端与扩散炉的尾气管相连。2.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述氮气支路上设有氮气单向阀。3.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述扩散炉的尾气出口设有尾气单向阀。4.根据权利要求3所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述尾气单向阀出口端与尾气管进口端、水汽支路进气端相连。5.根据权利要求1
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4任意一项所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述水汽支路上设有流量控制组件。6.根据权利要求5所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述流量控制组件包括流量控制器和气动阀。7.根据权利要求6所述的太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其特征在于：所述流量控制组件还包括与流量控制器、气动阀电连接的自动控制器。

技术总结
本实用新型涉及一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，它包括与氮气管道相连的氮气支路、与氮气支路出口端相连的纯水瓶以及进气端与纯水瓶出气端相连的水汽支路；所述氮气支路出口端位于纯水瓶的水中；所述水汽支路的出气端与扩散炉的尾气管相连。本实用新型的目的在于提供一种太阳能电池扩散炉尾气处理装置，其能够减少固体杂质(氧化磷等)堵塞尾气管道,从而影响腔室扩散环境，而且其维护部件少,维护时间短，结构简单易改造。结构简单易改造。结构简单易改造。


技术研发人员：黄晓狄 林锦山 张超华
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
技术研发日：2021.02.01
技术公布日：2021/9/24