晶圆预对位系统的制作方法

1.本实用新型主要涉及晶圆生产领域，尤其涉及一种晶圆预对位系统。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆生产过程中需要将其放置在对应的位置。手动放置晶圆，员工操作时容易破坏晶圆、操作费时费力，生产效率低，此系统可以降低产品的损毁率，提供工作效率。


技术实现要素：

3.针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供晶圆预对位系统，包括固定底座1、z轴马达2、y轴驱动模组3、θ轴驱动模组6、ccd 相机，所述固定底座1为包括上板和下板，上板和下板之间通过支撑柱连接形成可容纳y轴驱动模组3和θ轴驱动模组6的空腔，所述z 轴马达2固定在固定底座1下板的下端表面并穿过固定底座1下板，所述z轴马达2通过滚珠丝杆连接z轴活动板5并带动z轴活动板5 上下移动，所述y轴驱动模组3固定在z轴活动板5上，所述y轴驱动模组3包括电机和滚珠丝杆，θ轴驱动模组6固定在滚珠丝杆的螺帽上通过电机带动在y轴方向移动，所述θ轴驱动模组6包括平台和电机，所述平台设置在电机上由电机带动平台旋转，所述固定底座1的上板设有通孔，平台通过通孔升降，上板上方固定有ccd相机 9，ccd相机9固定在通孔的正上方。
4.优选的，所述z轴活动板5通过直行导轨穿过固定板501固定在固定板501上，所述固定板501固定在下板上。固定板501固定不动， z轴活动板5通过直行导轨在固定板501的上方上下活动。
5.优选的，所述z轴活动板5的底部通过直行导轨连接z轴导向板 4连接，所述直行导轨的顶端和末端分别固定在z轴活动板5和z轴导向板4上。
6.优选的，所述z轴马达2与z轴导向板4固定连接，带动z轴导向板4上下活动。此时z轴导向板4上下活动，则直接带动了z轴活动板5的上下活动。
7.优选的，所述上板上设有ccd背光板7。
8.优选的，所述ccd相机9通过ccd固定板固定在上板上。
9.本实用新型的有益效果：
10.操作时无需手动移动晶圆，防止破坏晶圆、操作省事此系统可以降低产品的损毁率，提供工作效率。
附图说明
11.图1为本实用新型的结构图；
12.图2为本实用新型的另一视角立体结构图。
具体实施方式
13.为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
14.如图1-2所示可知，本实用新型包括有：
15.晶圆预对位系统，包括固定底座1、z轴马达2、y轴驱动模组 3、θ轴驱动模组6、ccd相机，所述固定底座1为包括上板和下板，上板和下板之间通过支撑柱连接形成可容纳y轴驱动模组3和θ轴驱动模组6的空腔，所述z轴马达2固定在固定底座1下板的下端表面并穿过固定底座1下板，所述z轴马达2通过滚珠丝杆连接z轴活动板5并带动z轴活动板5上下移动，所述y轴驱动模组3固定在z 轴活动板5上，所述y轴驱动模组3包括电机和滚珠丝杆，θ轴驱动模组6固定在滚珠丝杆的螺帽上通过电机带动在y轴方向移动，所述θ轴驱动模组6包括平台和电机，所述平台设置在电机上由电机带动平台旋转，所述固定底座1的上板设有通孔，平台通过通孔升降，上板上方固定有ccd相机9，ccd相机9固定在通孔的正上方。
16.在本实施中优选的，所述z轴活动板5通过直行导轨穿过固定板 501固定在固定板501上，所述固定板501固定在下板上。
17.在本实施中优选的，所述z轴活动板5的底部通过直行导轨连接 z轴导向板4连接，所述直行导轨的顶端和末端分别固定在z轴活动板5和z轴导向板4上。
18.在本实施中优选的，所述z轴马达2与z轴导向板4固定连接，带动z轴导向板4上下活动。
19.在本实施中优选的，所述上板上设有ccd背光板7。
20.在本实施中优选的，所述ccd相机9通过ccd固定板固定在上板上。
21.工作原理：
22.底座1固定在机架上，y轴驱动模组3固定在z轴活动板上，θ轴驱动模组固定在y轴驱动模组上，ccd固定在平台的正上方。开始使用时，第一片晶圆放置在平台上，ccd抓取当前位置作为基准原点，后续晶圆按照当前位置进行调整，z轴马达2负责平台的升降，来实现取放晶圆，y轴驱动模组3进行晶圆y方向调整，θ轴驱动模组进行旋转方向调整。此系统ccd相机通过学习第一个晶圆的放置位置，产生一个初始的基准位置，正常生产时，晶圆放置在平台上，ccd通过抓取当前晶圆的位置，计算出偏差，y、θ轴通过偏差来进行移动，保证当前晶圆与初始晶圆位置调整一致。
23.上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。


技术特征：
1.晶圆预对位系统，其特征在于，包括固定底座(1)、z轴马达(2)、y轴驱动模组(3)、θ轴驱动模组(6)、ccd相机，所述固定底座(1)为包括上板和下板，上板和下板之间通过支撑柱连接形成可容纳y轴驱动模组(3)和θ轴驱动模组(6)的空腔，所述z轴马达(2)固定在固定底座(1)下板的下端表面并穿过固定底座(1)下板，所述z轴马达(2)通过滚珠丝杆连接z轴活动板(5)并带动z轴活动板(5)上下移动，所述y轴驱动模组(3)固定在z轴活动板(5)上，所述y轴驱动模组(3)包括电机和滚珠丝杆，θ轴驱动模组(6)固定在滚珠丝杆的螺帽上通过电机带动在y轴方向移动，所述θ轴驱动模组(6)包括平台和电机，所述平台设置在电机上由电机带动平台旋转，所述固定底座(1)的上板设有通孔，平台通过通孔升降，上板上方固定有ccd相机(9)，ccd相机(9)固定在通孔的正上方。2.根据权利要求1所述的晶圆预对位系统，其特征在于：所述z轴活动板(5)通过直行导轨穿过固定板(501)固定在固定板(501)上，所述固定板(501)固定在下板上。3.根据权利要求2所述的晶圆预对位系统，其特征在于：所述z轴活动板(5)的底部通过直行导轨连接z轴导向板(4)连接，所述直行导轨的顶端和末端分别固定在z轴活动板(5)和z轴导向板(4)上。4.根据权利要求3所述的晶圆预对位系统，其特征在于：所述z轴马达(2)与z轴导向板(4)固定连接，带动z轴导向板(4)上下活动。5.根据权利要求4所述的晶圆预对位系统，其特征在于：所述上板上设有ccd背光板(7)。6.根据权利要求5所述的晶圆预对位系统，其特征在于：所述ccd相机(9)通过ccd固定板固定在上板上。

技术总结
本实用新型提供晶圆预对位系统，包括固定底座、Z轴马达、Y轴驱动模组、θ轴驱动模组、CCD相机，固定底座为包括上板和下板，Z轴马达固定在固定底座下板的下端表面并穿过固定底座下板，Z轴马达通过滚珠丝杆连接Z轴活动板并带动Z轴活动板上下移动，Y轴驱动模组固定在Z轴活动板上，Y轴驱动模组包括电机和滚珠丝杆，θ轴驱动模组固定在滚珠丝杆的螺帽上通过电机带动在Y轴方向移动，θ轴驱动模组包括平台和电机，平台设置在电机上由电机带动平台旋转，固定底座的上板设有通孔，平台通过通孔升降，上板上方固定有CCD相机，CCD相机固定在通孔的正上方，操作时无需手动移动晶圆，防止破坏晶圆、操作省事此系统可以降低产品的损毁率，提供工作效率。作效率。作效率。


技术研发人员：石利
受保护的技术使用者：无锡旭电科技有限公司
技术研发日：2021.04.23
技术公布日：2022/5/31