一种晶圆对中装置的制作方法

1.本实用新型属于晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆对中装置。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。
3.目前，由于不同尺寸的晶圆在上料时位置会有所偏差，为了保证晶圆以正确角度进入工作平台，本实用新型提出一种晶圆对中装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆对中装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆对中装置，包括水平安装在晶圆生产线上的安装基板；
6.所述安装基板的两侧分别设置有第二前挡块和第二后挡块，位于所述第二前挡块和第二后挡块之间的安装基板上设有第一前挡块和第一后挡块；
7.所述安装基板靠近第二后挡块的一端设有驱动机构，驱动机构包括滑动安装在安装基板远离第二后挡块一端面上的驱动滑块以及用于驱动驱动滑块沿安装基板平移的夹紧气缸，夹紧气缸固定安装在安装基板上，安装基板上构造有供驱动滑块滑动的通槽，第二后挡块和第一后挡块透过通槽安装在驱动滑块上。
8.优选的，所述第一前挡块、第一后挡块、第二前挡块和第二后挡块底端面均构造有罩设在安装基板上的凹槽，且所述第一前挡块和第二前挡块以及第一后挡块和第二后挡块均通过螺栓与安装基板和驱动滑块连接。
9.优选的，所述第一前挡块和第一后挡块以及第二前挡块和第二后挡块相向一端面的两侧均设有倒角，所述第一前挡块和第一后挡块以及第二前挡块和第二后挡块相互远离的一端设有辅助板。
10.优选的，所述驱动滑块上构造有若干个供第一后挡块卡接固定的额限位卡块，且所述驱动滑块上居中开设有供第一后挡块滑动的导向卡槽。
11.优选的，所述安装基板上与第一前挡块和第二前挡块对应的位置构造有多道调节槽，第一前挡块和第二前挡块均通过螺栓穿过调节槽固定在安装基板上。
12.优选的，所述安装基板远离第一前挡块一端面的一侧设有增高挡板。
13.本实用新型的技术效果和优点：该晶圆对中装置，通过第一前挡块和第一后挡块，可对较小的晶圆进行方向纠正，将第一前挡块和第一后挡块拆卸后，利用第二前挡块和第二后挡块，可对较大的晶圆进行方向纠正；通过夹紧气缸带动驱动滑块往复移动，能够驱使
第一后挡块和第二后挡块实现对晶圆的连续方向纠正，有利于连续性生产，保证生产效率；利用驱动滑块上的若干个限位卡块以及导向卡槽和安装基板上的多道调节槽，能够根据产品尺寸手动调节第一后挡块和第二后挡块以及第一前挡块和第二前挡块的位置，提高适用性。该晶圆对中装置，便于晶圆的方向纠正，适用性强，易于推广。
附图说明
14.图1为本实用新型安装基板侧立时的结构示意图；
15.图2为本实用新型的轴测图；
16.图3为本实用新型的俯视图；
17.图4为本实用新型的图2中a处放大图。
18.图中：1安装基板、2第一前挡块、3第一后挡块、4第二前挡块、5第二后挡块、6驱动滑块、7夹紧气缸、8调节槽、9增高挡板、10倒角、11限位卡块、12导向卡槽、13通槽、14驱动机构。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.本实用新型如图1-图4所示，包括水平安装在晶圆生产线上的安装基板1；
21.安装基板1的两侧分别设置有第二前挡块4和第二后挡块5，位于第二前挡块4和第二后挡块5之间的安装基板1上设有第一前挡块2和第一后挡块3；
22.安装基板1靠近第二后挡块5的一端设有驱动机构14，驱动机构14包括滑动安装在安装基板1远离第二后挡块5一端面上的驱动滑块6以及用于驱动驱动滑块6沿安装基板1平移的夹紧气缸7，夹紧气缸7固定安装在安装基板1上，安装基板1上构造有供驱动滑块6滑动的通槽13，第二后挡块5和第一后挡块3透过通槽13安装在驱动滑块6上，通过夹紧气缸7带动驱动滑块6往复移动，能够驱使第一后挡块3和第二后挡块5实现对晶圆的连续方向纠正，有利于连续性生产，保证生产效率；
23.第一前挡块2、第一后挡块3、第二前挡块4和第二后挡块5底端面均构造有罩设在安装基板1上的凹槽，起到限位导向的作用，且第一前挡块2和第二前挡块4以及第一后挡块3和第二后挡块5均通过螺栓与安装基板1和驱动滑块6连接，以便于拆装以及调节。
24.第一前挡块2和第一后挡块3以及第二前挡块4和第二后挡块5相向一端面的两侧均设有倒角10，防止棱角对晶圆造成损伤，第一前挡块2和第一后挡块3以及第二前挡块4和第二后挡块5相互远离的一端设有辅助板，用于印刻型号以及方便拿取调节。
25.驱动滑块6上构造有若干个供第一后挡块3卡接固定的额限位卡块11，且驱动滑块6上居中开设有供第一后挡块3滑动的导向卡槽12，以便于第一后挡块3的位置调节。
26.安装基板1上与第一前挡块2和第二前挡块4对应的位置构造有多道调节槽8，第一前挡块2和第二前挡块4均通过螺栓穿过调节槽8固定在安装基板1上，以便于第一前挡块2和第二前挡块4的位置调节；安装基板1远离第一前挡块2一端面的一侧设有增高挡板9，起
到防护的作用。
27.工作原理：该晶圆对中装置，使用时，通过第一前挡块2和第一后挡块3，可对较小的晶圆进行方向纠正，将第一前挡块2和第一后挡块3拆卸后，利用第二前挡块4和第二后挡块5，可对较大的晶圆进行方向纠正；通过夹紧气缸7带动驱动滑块6往复移动，能够驱使第一后挡块3和第二后挡块5实现对晶圆的连续方向纠正，有利于连续性生产，保证生产效率；利用驱动滑块6上的若干个限位卡块11以及导向卡槽12和安装基板1上的多道调节槽8，能够根据产品尺寸手动调节第一后挡块3和第二后挡块5以及第一前挡块2和第二前挡块4的位置，提高适用性。该晶圆对中装置，便于晶圆的方向纠正，适用性强，易于推广。
28.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种晶圆对中装置，包括水平安装在晶圆生产线上的安装基板(1)，其特征在于：所述安装基板(1)的两侧分别设置有第二前挡块(4)和第二后挡块(5)，位于所述第二前挡块(4)和第二后挡块(5)之间的安装基板(1)上设有第一前挡块(2)和第一后挡块(3)；所述安装基板(1)靠近第二后挡块(5)的一端设有驱动机构(14)，驱动机构(14)包括滑动安装在安装基板(1)远离第二后挡块(5)一端面上的驱动滑块(6)以及用于驱动驱动滑块(6)沿安装基板(1)平移的夹紧气缸(7)，夹紧气缸(7)固定安装在安装基板(1)上，安装基板(1)上构造有供驱动滑块(6)滑动的通槽(13)，第二后挡块(5)和第一后挡块(3)透过通槽(13)安装在驱动滑块(6)上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆对中装置，其特征在于：所述第一前挡块(2)、第一后挡块(3)、第二前挡块(4)和第二后挡块(5)底端面均构造有罩设在安装基板(1)上的凹槽，且所述第一前挡块(2)和第二前挡块(4)以及第一后挡块(3)和第二后挡块(5)均通过螺栓与安装基板(1)和驱动滑块(6)连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆对中装置，其特征在于：所述第一前挡块(2)和第一后挡块(3)以及第二前挡块(4)和第二后挡块(5)相向一端面的两侧均设有倒角(10)，所述第一前挡块(2)和第一后挡块(3)以及第二前挡块(4)和第二后挡块(5)相互远离的一端设有辅助板。4.根据权利要求1所述的一种晶圆对中装置，其特征在于：所述驱动滑块(6)上构造有若干个供第一后挡块(3)卡接固定的额限位卡块(11)，且所述驱动滑块(6)上居中开设有供第一后挡块(3)滑动的导向卡槽(12)。5.根据权利要求1所述的一种晶圆对中装置，其特征在于：所述安装基板(1)上与第一前挡块(2)和第二前挡块(4)对应的位置构造有多道调节槽(8)，第一前挡块(2)和第二前挡块(4)均通过螺栓穿过调节槽(8)固定在安装基板(1)上。6.根据权利要求1所述的一种晶圆对中装置，其特征在于：所述安装基板(1)远离第一前挡块(2)一端面的一侧设有增高挡板(9)。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆对中装置，包括水平安装在晶圆生产线上的安装基板；所述安装基板的两侧分别设置有第二前挡块和第二后挡块，位于所述第二前挡块和第二后挡块之间的安装基板上设有第一前挡块和第一后挡块；所述安装基板靠近第二后挡块的一端设有驱动机构，驱动机构包括滑动安装在安装基板远离第二后挡块一端面上的驱动滑块以及用于驱动驱动滑块沿安装基板平移的夹紧气缸，夹紧气缸固定安装在安装基板上，安装基板上构造有供驱动滑块滑动的通槽，第二后挡块和第一后挡块透过通槽安装在驱动滑块上。该晶圆对中装置，便于晶圆的方向纠正，适用性强，易于推广。易于推广。易于推广。


技术研发人员：吕龙 洪超 张守成 陈怡福
受保护的技术使用者：纽豹智能识别技术（无锡）有限公司
技术研发日：2021.08.13
技术公布日：2022/2/8