1.本实用新型涉及半导体生产加工技术领域，尤其涉及一种半导体生产加工用固定装置。
背景技术：
2.半导体材料为产业的重要上游基础材料，半导体材料是ic制造重要基材，是现代电子信息社会高速发展的重要支撑。
3.现有技术中，公开号为cn212434581u的专利公开了一种半导体生产加工用固定装置，其通过设置的固定板和竖板等结构，半导体放置在两个夹块间，两个滑块一相对靠近滑动并固定，旋紧松紧螺杆二带动夹块移动，两个夹块将半导体进行固定住，该方案在使用该过程中存在如下不足：1、每次只能进行一个工件的固定，不适用于多工件批量加工；2、工件固定后只能进行单面加工，不适用于需要双面加工的工件，综上，提出一种半导体生产加工用固定装置，以适用于多工件批量加工及一次装夹固定实现双面加工作业。
技术实现要素：
4.本实用新型的目的是提供一种半导体生产加工用固定装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种半导体生产加工用固定装置，包括u型底座，所述u型底座的缺口朝上设置，并且u型底座的顶部设置有旋转支撑机构，所述旋转支撑机构的顶部设置有连接板，所述连接板的底部设置有底部定位板，并且连接板的顶部设置有顶部定位板，所述连接板的中部设置有阵列分布的定位槽口，并且底部定位板的中部设置有与定位槽口相匹配的底部定位槽，所述顶部定位板的中部设置有与定位槽口相匹配的顶部定位槽，所述底部定位槽的底部开设有第一加工槽，并且顶部定位槽的顶部开设有第二加工槽。
7.优选的，所述连接板顶部和底部的四周均固定连接有定位杆，并且底部定位板和顶部定位板内部的四周均开开设有与定位杆相适配的定位孔。
8.优选的，所述定位杆的表面设置有外螺纹，并且定位杆的表面螺纹连接有蝶型螺母。
9.优选的，所述旋转支撑机构包括通过连接轴与u型底座转动连接的旋转台，所述旋转台设置有两个，所述u型底座一侧的顶部固定连接有伺服电机，并且伺服电机输出轴的一端与其中一个旋转台的连接轴固定连接。
10.优选的，所述旋转台的顶部开设有与连接板相适配的定位卡口，并且定位卡口的底部开设有第一固定孔，所述连接板内部的两侧均开设有与第一固定孔对应的第二固定孔。
11.本实用新型至少具备以下有益效果：
12.通过在连接板上设置多个定位槽口，与底部定位板和顶部定位板配合，可实现一次性固定装夹多个工件，实现多工件批量同步加工处理，通过设置u型底座和旋转支撑机
构，可利用旋转支撑机构驱动连接板结构实现180度翻转，实现对固定在连接板上的工件进行双面加工处理，满足半导体工件批量加工和双面加工作业需求，有助于减少工件装夹定位作业，提高加工效率。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1为本实用新型结构的示意图；
15.图2为本实用新型连接板结构的俯视图；
16.图3为本实用新型连接板内部结构的侧视图。
17.图中：1、u型底座；2、连接板；3、底部定位板；4、顶部定位板；5、定位槽口；6、底部定位槽；7、顶部定位槽；8、第一加工槽；9、第二加工槽；10、定位杆；11、定位孔；12、外螺纹；13、蝶型螺母；14、旋转台；15、伺服电机；16、定位卡口；17、第一固定孔；18、第二固定孔。
具体实施方式
18.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
19.参照图1-3，一种半导体生产加工用固定装置，包括u型底座1，u型底座1的缺口朝上设置，并且u型底座1的顶部设置有旋转支撑机构，旋转支撑机构的顶部设置有连接板2，连接板2的底部设置有底部定位板3，并且连接板2的顶部设置有顶部定位板4，连接板2的中部设置有阵列分布的定位槽口5，并且底部定位板3的中部设置有与定位槽口5相匹配的底部定位槽6，顶部定位板4的中部设置有与定位槽口5相匹配的顶部定位槽7，底部定位槽6的底部开设有第一加工槽8，并且顶部定位槽7的顶部开设有第二加工槽9，底部定位槽3、顶部定位槽4和定位槽口5的深度之和等于工件厚度。
20.本方案具备以下工作过程：
21.将底部定位板3与连接板2对接，使连接板2底部的定位杆10穿过底部定位板3上的定位孔11，并通过蝶型螺母13实现底部定位板3与连接板2之间的固定，将半导体工件置于与工件适配的定位槽口5内，通过底部定位槽6对工件进行底部支撑，再对接顶部定位板4并通过蝶型螺母13进行固定，完成工件的装夹固定，将装夹固定有工件的连接板2置于两个旋转台14上，通过螺钉穿设第一固定孔17和第二固定孔18实现连接板2与旋转台14之间的固定，加工处理时通过加工机头透过加工槽对工件顶部表面进行加工处理，需要处理工件另一表面时，控制伺服电机15运行驱动旋转台14翻转180度，使连接板2带动工件翻转，即可进行另一面的加工处理。
22.进一步的，连接板2顶部和底部的四周均固定连接有定位杆10，并且底部定位板3和顶部定位板4内部的四周均开开设有与定位杆10相适配的定位孔11，定位孔11便于定位板与连接板2之间的对接定位。
23.进一步的，定位杆10的表面设置有外螺纹12，并且定位杆10的表面螺纹连接有蝶型螺母13，通过碟形螺母13与外螺纹12配合实现对定位板的锁定。
24.进一步的，旋转支撑机构包括通过连接轴与u型底座1转动连接的旋转台14，旋转台14设置有两个，u型底座1一侧的顶部固定连接有伺服电机15，并且伺服电机15输出轴的一端与其中一个旋转台14的连接轴固定连接，伺服电机15用于驱动旋转台14做180度翻转。
25.进一步的，旋转台14的顶部开设有与连接板2相适配的定位卡口16，并且定位卡口16的底部开设有第一固定孔17，连接板2内部的两侧均开设有与第一固定孔17对应的第二固定孔18，定位卡口16便于连接板2与旋转台14之间的连接定位，通过在第一固定孔17和第二固定孔18内安装螺钉实现连接板2与旋转台14之间的固定。
26.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
技术特征：
1.一种半导体生产加工用固定装置，包括u型底座(1)，其特征在于，所述u型底座(1)的缺口朝上设置，并且u型底座(1)的顶部设置有旋转支撑机构，所述旋转支撑机构的顶部设置有连接板(2)，所述连接板(2)的底部设置有底部定位板(3)，并且连接板(2)的顶部设置有顶部定位板(4)，所述连接板(2)的中部设置有阵列分布的定位槽口(5)，并且底部定位板(3)的中部设置有与定位槽口(5)相匹配的底部定位槽(6)，所述顶部定位板(4)的中部设置有与定位槽口(5)相匹配的顶部定位槽(7)，所述底部定位槽(6)的底部开设有第一加工槽(8)，并且顶部定位槽(7)的顶部开设有第二加工槽(9)。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用固定装置，其特征在于，所述连接板(2)顶部和底部的四周均固定连接有定位杆(10)，并且底部定位板(3)和顶部定位板(4)内部的四周均开开设有与定位杆(10)相适配的定位孔(11)。3.根据权利要求2所述的一种半导体生产加工用固定装置，其特征在于，所述定位杆(10)的表面设置有外螺纹(12)，并且定位杆(10)的表面螺纹连接有蝶型螺母(13)。4.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工用固定装置，其特征在于，所述旋转支撑机构包括通过连接轴与u型底座(1)转动连接的旋转台(14)，所述旋转台(14)设置有两个，所述u型底座(1)一侧的顶部固定连接有伺服电机(15)，并且伺服电机(15)输出轴的一端与其中一个旋转台(14)的连接轴固定连接。5.根据权利要求4所述的一种半导体生产加工用固定装置，其特征在于，所述旋转台(14)的顶部开设有与连接板(2)相适配的定位卡口(16)，并且定位卡口(16)的底部开设有第一固定孔(17)，所述连接板(2)内部的两侧均开设有与第一固定孔(17)对应的第二固定孔(18)。
技术总结
本实用新型涉及半导体生产加工技术领域，尤其涉及一种半导体生产加工用固定装置，包括U型底座，所述U型底座的缺口朝上设置，并且U型底座的顶部设置有旋转支撑机构，所述旋转支撑机构的顶部设置有连接板，所述连接板的底部设置有底部定位板，连接板的顶部设置有顶部定位板，连接板的中部设置有阵列分布的定位槽口。本实用新型通过在连接板上设置多个定位槽口，与底部定位板和顶部定位板配合，可一次性固定装夹多个工件，实现多工件批量同步加工处理，设置U型底座和旋转支撑机构，利用旋转支撑机构驱动连接板结构实现180度翻转，实现对固定在连接板上的工件进行双面加工处理，有助于减少工件装夹定位作业，提高加工效率。提高加工效率。提高加工效率。
技术研发人员：华铁军 黄春城
受保护的技术使用者：江苏海创微电子有限公司
技术研发日：2021.09.01
技术公布日：2022/4/6