一种晶圆传输装置用定位工装的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种晶圆传输装置用定位工装。


背景技术：

2.现有技术中，通过涂胶显影机的晶圆传输装置一般针对八寸的晶圆，但是对于4寸、6寸以及12寸其他尺寸的晶圆不同精准定位，传送其他尺寸的晶圆因为没有限位定位机构，会造成晶圆位置偏移或损坏，影响产品生产效率。增设其他设备，大大提高生产成本。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种晶圆传输装置用定位工装，适用于多种尺寸的晶圆固定，定位可靠，提高了传输装置的兼容性，降低设备成本。
4.为实现上述目的，本实用新型提供了一种晶圆传输装置用定位工装，包括固定盘以及若干圆周对称分布于所述固定盘上的定位块，所述定位块包括固定板、移动板以及固定螺钉，所述固定板一端设置有卡台，所述固定板另一端设置有插槽，所述移动板一端插入到所述插槽内并通过固定螺钉固定，所述移动板另一端设置定位凸起。
5.优选的，所述移动板上开设有若干定位通孔。
6.优选的，所述固定板顶部开设有用于设置固定螺钉的固定通孔，与所述固定通孔相对设置有安装通孔。
7.优选的，所述安装通孔内设置有弹性定位件，所述弹性定位件包括固定管、卡球、弹簧以及托板，所述托板固定于所述固定管内并与所述弹簧一端固定连接，所述弹簧另一端与所述卡球相对设置，所述卡球的直径大于固定管开口的直径。
8.优选的，所述定位块设置有至少4个。
9.优选的，所述定位块的固定板通过螺栓固定于所述固定盘上。
10.因此，本实用新型采用上述结构的一种晶圆传输装置用定位工装，若干圆周对称分布于所述固定盘上的定位块，定位可靠，定位块可调节，适用于多种尺寸的晶圆固定，提高了传输装置的兼容性，降低设备成本。
11.下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
12.图1为本实用新型一种晶圆传输装置用定位工装结构示意图；
13.图2为本实用新型定位块结构示意图。
14.附图标记
15.1、固定盘；2、定位块；21、移动板；211、定位凸起；212、定位通孔；22、固定板；221、固定通孔；222、卡台；23、固定螺钉；3、弹性定位件；31、固定管；32、卡球；33、托板；34、弹簧；4、晶圆。
具体实施方式
16.实施例
17.图1为本实用新型一种晶圆传输装置用定位工装结构示意图，图2为本实用新型定位块结构示意图，如图所示，一种晶圆传输装置用定位工装，包括固定盘1以及若干圆周对称分布于固定盘1上的定位块2，定位块2的固定板22通过螺栓固定于固定盘1上。定位块2设置有至少4个，本实施例设置有6个，对称设置晶圆4固定可靠。
18.定位块2包括固定板22、移动板21以及固定螺钉23，固定板22一端设置有卡台222，固定板22另一端设置有插槽，移动板21一端插入到插槽内并通过固定螺钉23固定，移动板21另一端设置定位凸起211，用于对大尺寸的晶圆边缘进行限位。移动板21上开设有若干定位通孔212。
19.固定板22顶部开设有用于设置固定螺钉23的固定通孔221，与固定通孔221相对设置有安装通孔，安装通孔内设置有弹性定位,3，弹性定位件3包括固定管31、卡球32、弹簧34以及托板33，托板33固定于固定管31内并与弹簧34一端固定连接，弹簧34另一端与卡球32相对设置，卡球32的直径大于固定管31开口的直径，当根据实际晶圆尺寸向外拉动移动板21达到合适位置时，卡球32卡到相对的定位通孔212内，在通过固定螺钉23固定，使得调节位置精准。
20.因此，本实用新型采用上述结构的一种晶圆传输装置用定位工装，若干圆周对称分布于固定盘上的定位块，定位可靠，定位块可调节，适用于多种尺寸的晶圆固定，提高了传输装置的兼容性，降低设备成本。
21.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修改后的技术方案脱离本实用新型技术方案的精神和范围。


技术特征：
1.一种晶圆传输装置用定位工装，包括固定盘，其特征在于：还包括若干圆周对称分布于所述固定盘上的定位块，所述定位块包括固定板、移动板以及固定螺钉，所述固定板一端设置有卡台，所述固定板另一端设置有插槽，所述移动板一端插入到所述插槽内并通过固定螺钉固定，所述移动板另一端设置定位凸起。2.根据权利要求1所述的一种晶圆传输装置用定位工装，其特征在于：所述移动板上开设有若干定位通孔。3.根据权利要求1所述的一种晶圆传输装置用定位工装，其特征在于：所述固定板顶部开设有用于设置固定螺钉的固定通孔，与所述固定通孔相对设置有安装通孔。4.根据权利要求3所述的一种晶圆传输装置用定位工装，其特征在于：所述安装通孔内设置有弹性定位件，所述弹性定位件包括固定管、卡球、弹簧以及托板，所述托板固定于所述固定管内并与所述弹簧一端固定连接，所述弹簧另一端与所述卡球相对设置，所述卡球的直径大于固定管开口的直径。5.根据权利要求1所述的一种晶圆传输装置用定位工装，其特征在于：所述定位块设置有至少4个。6.根据权利要求1所述的一种晶圆传输装置用定位工装，其特征在于：所述定位块的固定板通过螺栓固定于所述固定盘上。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆传输装置用定位工装，包括固定盘以及若干圆周对称分布于所述固定盘上的定位块，所述定位块包括固定板、移动板以及固定螺钉，所述固定板一端设置有卡台，所述固定板另一端设置有插槽，所述移动板一端插入到所述插槽内并通过固定螺钉固定，所述移动板另一端设置定位凸起。采用上述结构的一种晶圆传输装置用定位工装，适用于多种尺寸的晶圆固定，定位可靠，提高了传输装置的兼容性，降低设备成本。降低设备成本。降低设备成本。


技术研发人员：唐正隆 王正辉 吴星华 储长流 张立
受保护的技术使用者：合肥开悦半导体科技有限公司
技术研发日：2021.09.02
技术公布日：2022/1/18