1.本实用新型涉及湿法刻蚀技术，具体为一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置。
背景技术：
2.湿法刻蚀可以通过溶液剥离材料表面不需要部分，广泛应用于半导体制造工艺。目前湿法刻蚀装置多需要滚轮，喷嘴等复杂设计，增加了实验室刻蚀装置的成本和复杂程度。申请编号为201410298834.5的发明专利提出了一种玻璃基板的蚀刻方法及蚀刻浸泡装置，在进行玻璃片基板装载时使用的传送装置包含了复杂的滚轮设计，并且需要配合气缸作为动力源，增加了装置整体的复杂性与成本。除此之外，装置没有对废液进行专门的收集处理，增加了后续废液处理的难度，不利于实验人员操作安全和环境保护。
技术实现要素：
3.为了对现有刻蚀装置进行简化以便适用于实验室刻蚀实验并妥善收集废液，本实用新型的目的在于提供一种玻璃基片的刻蚀装置，对玻璃基片进行刻蚀后还可以对废液进行统一的收集与管理。该装置结构简单，可以严格控制数片玻璃基片刻蚀时间一致，并且适用于不同尺寸玻璃基片的刻蚀。
4.一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，包括v型玻璃基片底座、刻蚀整体支架，废液收集盒；所述的v型玻璃基片底座由圆形凸点、玻璃基片固定卡齿、u型卡槽、锁紧六角螺栓、固定槽和圆柱直杆组成；所述的u型卡槽由玻璃基片固定卡齿和六角螺栓槽组成，u型卡槽与v型玻璃基片底座的固定槽处于同一水平面内，并且可以插入v型玻璃基片底座的固定槽内，且v型玻璃基片底座的玻璃基片固定卡齿与u型卡槽的玻璃基片固定卡齿相互对应，u型卡槽插入v型玻璃基片底座固定槽的长度可以根据玻璃基片的大小进行调节；所述的锁紧六角螺栓用于锁紧u型卡槽与v型玻璃基片底座的固定槽；所述的圆柱直杆由第一圆柱直杆和第二圆柱直杆组成，用于v型玻璃基片底座的固定和取放；所述的刻蚀整体支架分为上层刻蚀区、中间分层部分和下层废液收集区，上层刻蚀区可以放置v型玻璃基片底座和刻蚀液，中间分层部分包含废液流出孔，下层废液收集区可以放置废液收集盒；所述的废液收集盒由废液收集盒卡槽、废液收集盒把手、废液收集盒观察窗、废液收集槽和废液收集盒倾倒槽组成；所述的废液收集盒倾倒槽可以便于废液的倾倒；所述的废液收集盒观察窗可以便于观察废液的收集情况；所述的v型玻璃基片底座的四个圆形凸点与刻蚀整体支架的废液流出孔相匹配，完成与刻蚀整体支架刻蚀区的装配；所述的废液收集盒通过废液收集盒卡槽完成与刻蚀整体支架废液收集区的装配。该薄膜太阳能电池基片刻蚀装置的材料为聚四氟乙烯。
5.本实用新型的有益效果是：
6.1. 根据薄膜太阳能电池基片的大小可以调节u型卡槽插入v型玻璃基片底座固定槽的长度，适用于不同尺寸基片的刻蚀。
7.2. 具有废液统一收集装置，便于废液的收集与管理。
8.3. 能够控制所有薄膜太阳能电池基片刻蚀时间一致。
附图说明
9.下面结合附图与具体实施方式对本实用新型做进一步说明。
10.图1为本实用新型所述的刻蚀装置总体结构图。
11.图2为本实用新型所述的v型玻璃基片底座结构图。
12.图3为本实用新型所述的u型卡槽结构图。
13.图4为本实用新型所述的刻蚀整体支架结构图。
14.图5为本实用新型所述的废液收集盒结构图。
15.图中：1为v型玻璃基片底座；1-1为圆柱直杆；1-2为u型卡槽；1-3为锁紧六角螺栓；1-4为v型玻璃基片底座的玻璃基片固定卡齿；1-5为v型玻璃基片底座的圆形凸点；1-6为v型玻璃基片底座的固定槽；1-7为圆柱直杆螺纹槽；1-8为锁紧六角螺栓槽；1-9为u型卡槽的玻璃基片固定卡齿；2为刻蚀整体支架；2-1为废液流出孔；2-2为废液收集盒固定槽；2-3为废液收集盒放置区；3为废液收集盒； 3-1为废液收集盒观察窗；3-2为废液收集盒卡槽；3-3为废液收集盒倾倒槽；3-4为废液收集盒把手；3-5为废液收集槽。
具体实施方式
16.一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，包括v型玻璃基片底座1、刻蚀整体支架2，废液收集盒3；所述的v型玻璃基片底座1由圆柱直杆1-1、u型卡槽1-2、锁紧六角螺栓1-3、v型玻璃基片底座的玻璃基片固定卡齿1-4、圆形凸点1-5、固定槽1-6和圆柱直杆槽1-7组成；所述的u型卡槽1-2包含锁紧六角螺栓槽1-8和u型卡槽的玻璃基片固定卡齿1-9，u型卡槽1-2与v型玻璃基片底座1的固定槽1-6处于同一水平面内，并且可以插入v型玻璃基片底座1的固定槽1-6内，且v型玻璃基片底座1的玻璃基片固定卡齿1-4与u型卡槽1-2的玻璃基片固定卡齿1-9相互对应，u型卡槽1-2插入v型玻璃基片底座固定槽1-6的长度可以根据玻璃基片的大小进行调节；所述的锁紧六角螺栓1-3用于锁紧u型卡槽1-2与v型玻璃基片底座的固定槽1-6；所述的圆柱直杆1-7由第一圆柱直杆和第二圆柱直杆组成，用于v型玻璃基片底座1的固定和取放；所述的刻蚀整体支架2分为上层刻蚀区、中间分层部分和下层废液收集区，上层刻蚀区可以放置v型玻璃基片底座1和刻蚀液，中间分层部分包含废液流出孔2-1，下层废液收集区可以放置废液收集盒3；所述的废液收集盒3由废液收集盒观察窗3-1、废液收集盒卡槽3-2、废液收集盒倾倒槽3-3和废液收集盒把手3-4组成；所述的废液收集盒观察窗3-1可以便于观察废液的收集情况；所述的废液收集盒倾倒槽3-3可以便于废液的倾倒；所述的v型玻璃基片底座1的四个圆形凸点与刻蚀整体支架的废液流出孔相匹配，完成与刻蚀整体支架2刻蚀区的装配；所述的废液收集盒3通过废液收集盒卡槽完成与刻蚀整体支架2的废液收集区的装配。该薄膜太阳能电池基片刻蚀装置的材料为聚四氟乙烯。
17.下面以尺寸为25mm*25mm的薄膜太阳能电池基片为例，说明装置的具体的工作过程：首先通过圆柱直杆1-1固定v型玻璃基片底座1，将u型卡槽1-2插入v型玻璃基片底座1的固定槽1-6，调节u型卡槽1-2插入v型玻璃基片底座的固定槽1-6的长度使玻璃基片可以固定在u型卡槽1-2与v型玻璃基片底座的固定卡齿1-9之间，并用锁紧六角螺栓1-3固定u型卡槽1-2，玻璃基片的底部卡在v型玻璃基片底座1的对应固定卡齿1-9之中，待所有的玻璃基
片放置完成之后，将v型玻璃基片底座的圆形凸点1-5与刻蚀整体支架2中间分层部分的废液流出孔2-1相对应放入刻蚀整体支架2的刻蚀区中，以保证刻蚀液不会流入下层废液收集盒3中，之后倒入刻蚀液进行刻蚀。刻蚀完成之后，利用圆柱直杆1-1将v型玻璃基片底座1取出，刻蚀废液将通过刻蚀整体支架2中间分层部分的废液流出孔2-1自动流入废液收集盒3中，向刻蚀槽中继续倒入其他处理液进行废液的中和处理，通过废液收集盒观察窗3-1观察废液的存储情况，当废液容量超过刻度线时，将废液从废液收集盒的废液收集盒倾倒槽3-3处倒出，进行废液的统一处理。
技术特征：
1.一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，包括v型玻璃基片底座、刻蚀整体支架，废液收集盒；所述的v型玻璃基片底座由圆形凸点、玻璃基片固定卡齿、u型卡槽、锁紧六角螺栓、固定槽和圆柱直杆组成；所述的u型卡槽与v型玻璃基片底座的固定槽处于同一水平面内，并且可以插入v型玻璃基片底座的固定槽内；所述的刻蚀整体支架为上下两层，上层为刻蚀区，下层为废液收集区，中间分层部分留有废液流出孔；所述的废液收集盒包含废液收集盒倾倒槽和废液收集盒观察窗，便于废液倾倒与废液收集情况的观察；所述的v型玻璃基片底座的四个圆形凸点与刻蚀整体支架的废液流出孔相匹配，完成与刻蚀整体支架刻蚀区的装配；所述的废液收集盒通过废液收集盒卡槽完成与刻蚀整体支架废液收集区的装配。2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，其特征在于：所述的u型卡槽插入所述的v型玻璃基片底座固定槽的深度可根据玻璃基片尺寸进行调节，可调节范围为1.5-3cm。3.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，其特征在于：所述的v型玻璃基片底座可通过所述的圆柱直杆与刻蚀整体支架刻蚀区分离，圆柱直杆的直径为1cm。4.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，其特征在于：所述的刻蚀整体支架的刻蚀区与废液收集区之间开有废液流出孔，废液流出孔尺寸与所述的v型玻璃基片底座下方圆形凸点尺寸相匹配，直径为1cm，废液流出孔的个数为3-4个。5.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，其特征在于：装置所用材料为聚四氟乙烯。
技术总结
一种薄膜太阳能电池基片刻蚀装置，包括V型玻璃基片底座、刻蚀整体支架，废液收集盒；所述的V型玻璃基片底座包含圆柱直杆、U型卡槽、锁紧六角螺栓，可用于不同尺寸基片的固定；所述的刻蚀整体支架为上下两层，上层为刻蚀区，下层为废液收集区，中间分层部分留有废液流出孔；所述的废液收集盒包含废液收集盒倾倒槽和废液收集盒观察窗，便于废液倾倒与废液收集情况的观察；所述的V型玻璃基片底座的四个圆形凸点与刻蚀整体支架的废液流出孔相匹配，完成与刻蚀整体支架刻蚀区的装配；所述的废液收集盒通过废液收集盒卡槽完成与刻蚀整体支架废液收集区的装配。该装置可用于不同尺寸基片的刻蚀并保证所有基片刻蚀时间一致且便于废液的统一收集。的统一收集。的统一收集。
技术研发人员：韩然然 吴文烛 韩晋琛 董前民 刘祖刚
受保护的技术使用者：中国计量大学
技术研发日：2021.11.16
技术公布日：2022/3/19