一种半导体扩散炉用花篮支架的制作方法

1.本实用新型主要涉及半导体扩散炉技术领域，尤其涉及一种半导体扩散炉用花篮支架。


背景技术：

2.随着科学技术的飞速发展，客户对产品有多元化需求，在扩散炉中，也需要一台机器可以生产多种尺寸晶圆。
3.花篮支架在设备中起到作为花篮工作平台以及监控的作用。现有扩散炉tel 853v只能生产8寸的wafer(晶圆),当需要生产6寸晶圆时，原配花篮支架无法使用。


技术实现要素：

4.针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架，用于适配可以同时进行6寸及8寸晶圆生产的情况。
5.本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架，包括下固定支架 1，中心支架2和传感器支架3；
6.所述下固定支架1设置有t型凹槽11用于配合固定第一花篮4 或第二花篮5；所述第一花篮4为6寸；所述第二花篮为8寸；
7.所述t型凹槽11两侧边缘设置有传感器支架3，检测上方是否设有花篮；所述t型凹槽11两侧折角处设置有中心支架2，用于对6 寸的花篮进行圆点定位。
8.优选的，所述传感器支架3设置有三组，分别设置在三个t型槽的两侧；所述传感器支架3呈条状；两端用于与下固定架1固定。
9.优选的，位于下固定架1两端的两个传感器支架3呈块状。
10.优选的，所述中心支架2对称设置。
11.优选的，所述中心支架2的材质为铝。
12.优选的，所述下固定支架1外表面喷涂设置有ptfe材料。
13.本实用新型的有益效果：本花篮支架本体采用ptfe制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，中心支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂ptfe,以防止花篮与金属支架直接接触，专为tel 853v机台6寸花篮设计。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为下固定架结构示意图；
16.图3为下固定架俯视图；
17.图中，
18.1、下固定支架，11、t型凹槽；2、中心支架；3、传感器支架；4 、第一花篮；5、第二花篮。
具体实施方式
19.下面结合附图对本实用进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。
20.本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架，包括下固定支架 1，中心支架2和传感器支架3；
21.所述下固定支架1设置有t型凹槽11用于配合固定第一花篮4 或第二花篮5；所述第一花篮4为6寸；所述第二花篮为8寸；
22.所述t型凹槽11两侧边缘设置有传感器支架3，检测上方是否设有花篮；所述t型凹槽11两侧折角处设置有中心支架2下固定支架，用于对6寸的花篮进行圆点定位。
23.花篮在被机械手抓起后，放在花篮支架，即下固定架1上，需要准确的定位。8寸花篮利用中心定位，而6寸花篮需要圆点定位，故而设置中心支架2对6寸花篮进行定位。
24.本实施例中优选的，所述传感器支架3设置有三组，分别设置在三个t型槽的两侧；所述传感器支架3呈条状；两端用于与下固定架 1固定。
25.本实施例中优选的，位于下固定架1两端的两个传感器支架3呈块状。
26.设置上述结构，一方面方便固定，另一方面节约空间。
27.本实施例中优选的，所述中心支架2对称设置。
28.设置上述结构，方便对6寸的花篮进行精准定位。
29.本实施例中优选的，所述中心支架2的材质为铝。
30.设置上述结构，强度高和精度，表面不会有金属离子溢出。
31.本实施例中优选的，所述下固定支架1外表面喷涂设置有ptfe 材料。
32.设置上述结构，保护花篮，以防花篮与金属支架直接接触。
33.工作原理：当花篮被机械手臂抓取后，放在下固定支架1上，设备就开始检测治具上是否有花篮。传感器支架4上安装有传感器探头，用于检测上方是否有花篮。
34.需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
35.以上所述的本实用新型实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何在本实用新型的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的权利要求保护范围之内。


技术特征：
1.一种半导体扩散炉用花篮支架，包括下固定支架(1)，中心支架(2)和传感器支架(3)；其特征在于，所述下固定支架(1)设置有t型凹槽(11)用于配合固定第一花篮(4)或第二花篮(5)；所述第一花篮(4)为6寸；所述第二花篮为(8)寸；所述t型凹槽(11)两侧边缘设置有传感器支架(3)，检测上方是否设有花篮；所述t型凹槽(11)两侧折角处设置有中心支架(2)，用于对6寸的花篮进行圆点定位。2.根据权利要求1所述的半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于：所述传感器支架(3)设置有三组，分别设置在三个t型槽的两侧；所述传感器支架(3)呈条状，两端用于与下固定支架(1)固定。3.根据权利要求2所述的半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于：位于下固定支架(1)两端的两个传感器支架(3)呈块状。4.根据权利要求3所述的半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于：所述中心支架(2)对称设置。5.根据权利要求4所述的半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于：所述中心支架(2)的材质为铝。6.根据权利要求5所述的半导体扩散炉用花篮支架，其特征在于：所述下固定支架(1)外表面喷涂设置有ptfe材料。

技术总结
本实用新型提供一种半导体扩散炉用花篮支架，用于适配可以同时进行6寸及8寸晶圆生产的情况；包括下固定支架1，中心支架2和传感器支架3；所述下固定支架1设置有T型槽11用于配合固定第一花篮4或第二花篮5；所述第一花篮4为6寸；所述第二花篮为8寸；所述T型凹槽11两侧边缘设置有传感器支架3，检测上方是否设有花篮；所述T型凹槽11两侧折角处设置有中心支架4，用于对6寸的花篮进行圆点定位；本实用新型的有益效果：本花篮支架本体采用PTFE制成，洁净度高，传感器感应灵敏，安装位置与原厂匹配，中心支架内部采用铝制作，强度高，外部喷涂ptfe,以防止花篮与金属支架直接接触。ptfe,以防止花篮与金属支架直接接触。ptfe,以防止花篮与金属支架直接接触。


技术研发人员：程宪良
受保护的技术使用者：无锡诺莱德智能科技有限公司
技术研发日：2021.11.23
技术公布日：2022/6/7