离子注入机中离子发生器的制作方法

1.本实用新型涉及一种离子注入机，具体是离子注入机中离子发生器，尤其是一种离子发生器的狭缝组件。


背景技术：

2.如今，半导体器件已深入到现代生活的方方面面。而诸如计算机、移动电话之类的大多数电子产品的核心部件、如处理器、存储器等都含有半导体器件。半导体器件已在现代信息化设备中扮演至关重要的角色。
3.半导体制造的一个重要工艺是离子注入。离子注入是指，将来自离子源的离子束进行加速和偏转后入射到目标材料中去，离子束最后停留在目标材料中，从而对目标材料的化学或物理性质进行调整。在半导体制造中，通常例如采用离子注入对目标材料进行掺杂、如n型或p型掺杂。
4.当半导体制造设备离子注入机在进行离子注入时，需要在离子源的起弧室里用电子轰击气体产生等离子体，等离子体通过离子出口中喷出，当等离子体喷出时，由于起弧室内温度较高以及等离子体的轰击作用会导致固定安装在起弧室出口端的狭缝组件发生形变，会使部分等离子体从变形狭缝中喷出，轰击在引出电极上，造成抑制电流过高，影响工艺的稳定性。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供离子注入机中离子发生器，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.离子注入机中离子发生器，包括狭缝组件，所述狭缝组件安装在离子源的起弧室的出口处；所述狭缝组件至少包括壳体，其中壳体为矩形壳体，壳体的上下两端均开口设置，壳体的左右两端均固定连接有连接板，连接板上均开设有螺孔槽；
8.所述壳体的下端为离子出口，壳体的上端为离子进口，壳体的内腔内设置有两组平行设置的石墨棒组，石墨棒组由若干平行设置的石墨棒组成，石墨棒包括芯棒和石墨层；
9.所述壳体的内壁的左右两端均设有安装槽，安装槽的截面为矩形，且同时安装槽的顶部固定设有一螺孔板，螺孔板的顶部螺纹连接有一抵接螺钉；芯棒两端安装在安装槽内，待多个石墨棒安装完毕后，旋紧抵接螺钉石墨棒组成的石墨棒组即被固定。
10.进一步的，所述壳体为钼合金材质。
11.进一步的，所述芯棒的耐高温的陶瓷棒。
12.进一步的，所述芯棒的截面为矩形，石墨层的外圈为圆形。
13.进一步的，所述芯棒两端的安装部的宽度与石墨层的直径一致；即芯棒两端的安装部的截面相较于芯棒中段的截面大。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：石墨棒是由石墨层以及设置在石墨
层内的芯棒组成，且耐高温的陶瓷棒的硬度大于所述石墨层的硬度，因而在所述陶瓷棒的支撑下，石墨层不易在离子束的作用下发生弯曲变形，从而可以保证离子注入机在使用过程中，离子注入机离子源产生的离子束不会由于石墨棒的弯曲变形而变得不均匀；防止起弧室出口端的狭缝组件发生形变，保证工艺的稳定性。
附图说明
15.图1为离子注入机中离子发生器的结构示意图。
16.图2为离子注入机中离子发生器中狭缝组件的结构示意图。
17.图3为离子注入机中离子发生器中a-a向的结构示意图。
18.图4为离子注入机中离子发生器中石墨棒的结构示意图。
具体实施方式
19.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-4，离子注入机中离子发生器，包括狭缝组件，所述狭缝组件安装在离子源的起弧室900的出口处；
21.所述狭缝组件至少包括壳体100，所述壳体100为钼合金材质，其中壳体100为矩形壳体，壳体100的上下两端均开口设置，壳体100的左右两端均固定连接有连接板101，连接板101上均开设有螺孔槽102，
22.所述壳体100的下端为离子出口103，壳体100的上端为离子进口104，壳体100的内腔内设置有两组平行设置的石墨棒组200，石墨棒组200由若干平行设置的石墨棒210组成，石墨棒210包括芯棒211和石墨层212，其中芯棒211的耐高温的陶瓷棒，且芯棒211的截面为矩形，石墨层212的外圈为圆形；其中芯棒211两端的安装部213的宽度与石墨层212的直径一致；即芯棒211两端的安装部213的截面相较于芯棒211中段的截面要大；
23.所述壳体100的内壁的左右两端均设有安装槽300，安装槽300的截面为矩形，且同时安装槽300的顶部固定设有一螺孔板301，螺孔板301的顶部螺纹连接有一抵接螺钉302；芯棒211两端安装在安装槽300内，待多个石墨棒210安装完毕后，旋紧抵接螺钉石墨棒210组成的石墨棒组200即被固定，
24.由于所述石墨棒210是由石墨层212以及设置在所述石墨层212内的芯棒211组成，且耐高温的陶瓷棒的硬度大于所述石墨层212的硬度，因而在所述陶瓷棒的支撑下，石墨层212不易在离子束的作用下发生弯曲变形，从而可以保证离子注入机在使用过程中，离子注入机离子源产生的离子束不会由于石墨棒210的弯曲变形而变得不均匀。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“左”、“右”等
指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“设置”、“连接”等术语应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。


技术特征：
1.离子注入机中离子发生器，包括狭缝组件，其特征在于，所述狭缝组件安装在离子源的起弧室的出口处；所述狭缝组件至少包括壳体，其中壳体为矩形壳体，壳体的上下两端均开口设置，壳体的左右两端均固定连接有连接板，连接板上均开设有螺孔槽；所述壳体的下端为离子出口，壳体的上端为离子进口，壳体的内腔内设置有两组平行设置的石墨棒组，石墨棒组由若干平行设置的石墨棒组成，石墨棒包括芯棒和石墨层；所述壳体的内壁的左右两端均设有安装槽，安装槽的截面为矩形，且同时安装槽的顶部固定设有一螺孔板，螺孔板的顶部螺纹连接有一抵接螺钉；芯棒两端安装在安装槽内，待多个石墨棒安装完毕后，旋紧抵接螺钉石墨棒组成的石墨棒组即被固定。2.根据权利要求1所述的离子注入机中离子发生器，其特征在于，所述壳体为钼合金材质。3.根据权利要求1所述的离子注入机中离子发生器，其特征在于，所述芯棒的耐高温的陶瓷棒。4.根据权利要求1所述的离子注入机中离子发生器，其特征在于，所述芯棒的截面为矩形，石墨层的外圈为圆形。5.根据权利要求4所述的离子注入机中离子发生器，其特征在于，所述芯棒两端的安装部的宽度与石墨层的直径一致；即芯棒两端的安装部的截面相较于芯棒中段的截面大。

技术总结
本实用新型公开了离子注入机中离子发生器，包括狭缝组件，所述狭缝组件安装在离子源的起弧室的出口处；所述狭缝组件至少包括壳体，其中壳体为矩形壳体，壳体的上下两端均开口设置，壳体的左右两端均固定连接有连接板，连接板上均开设有螺孔槽；所述壳体的下端为离子出口，壳体的上端为离子进口，壳体的内腔内设置有两组平行设置的石墨棒组，石墨棒组由若干平行设置的石墨棒组成，石墨棒包括芯棒和石墨层；本实用新型可以保证离子注入机在使用过程中，离子注入机离子源产生的离子束不会由于石墨棒的弯曲变形而变得不均匀；防止起弧室出口端的狭缝组件发生形变，保证工艺的稳定性。保证工艺的稳定性。保证工艺的稳定性。


技术研发人员：彭强祥 刘仁杰
受保护的技术使用者：浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
技术研发日：2021.11.30
技术公布日：2022/5/25