电解电容器用电极箔和电解电容器的制作方法

本发明涉及电解电容器用电极箔和电解电容器。

背景技术：

1、电解电容器的阳极箔例如可使用包含阀作用金属的箔状或板状的基材。为了增加电解电容器的容量，通常基材的表面具有多孔质部。多孔质部通过对基材进行蚀刻处理而形成。通过对基材进行化学转化处理，从而基材(多孔质部)的表面被金属氧化物(电介质)层覆盖。

2、然而，随着搭载电解电容器的电子设备的性能提高，要求电解电容器的高性能化。例如，要求电介质层的相对介电常数和耐电压性的提高。但是，难以通过1个电介质层(金属氧化物层)同时提高相对介电常数和耐电压性。作为同时提高相对介电常数和耐电压性的方法，可举出例如由有利于提高相对介电常数的第1金属的氧化物层和与第1金属不同的有利于提高耐电压性的第2金属的氧化物层这2层构成电介质层的方法。

3、在专利文献1中，提出了通过原子层沉积(ald)法，使用第1前体形成第1金属氧化物层，使用第2前体形成第2金属氧化物层。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：美国专利申请公开第2017/0103883号说明书

技术实现思路

1、本发明的一个方面的电解电容器用电极箔具备包含阀作用金属的基材和覆盖上述基材的表面的异种金属复合层，上述异种金属复合层包含第1金属和与上述第1金属不同的第2金属混存的混存区域，上述混存区域构成上述异种金属复合层的厚度方向的至少50％，上述混存区域的上述第1金属相对于全部金属的含有率m1和上述第2金属相对于全部金属的含有率m2分别为1原子％以上。

2、本发明的另一方面的电解电容器具备上述电解电容器用电极箔。

3、根据本发明，能够得到高性能和高可靠性的电解电容器。

技术特征：

1.一种电解电容器用电极箔，其具备：

2.根据权利要求1所述的电解电容器用电极箔，其中，所述混存区域的所述第1金属相对于全部金属的含有率m1和所述第2金属相对于全部金属的含有率m2分别为1原子％以上且99原子％以下。

3.根据权利要求1或2所述的电解电容器用电极箔，其中，在将所述混存区域在所述异种金属复合层的厚度方向上从该异种金属复合层的表面侧起依次三等分为a1区域、a2区域和a3区域时，

4.根据权利要求3所述的电解电容器用电极箔，其中，所述a1区域的所述第1金属相对于全部金属的含有率m1a1原子％、所述a2区域的所述第1金属相对于全部金属的含有率m1a2原子％和所述a3区域的所述第1金属相对于全部金属的含有率m1a3原子％满足0.9≤m1a2/m1a1≤1.1、0.9≤m1a3/m1a2≤1.1、1≤m1a1、1≤m1a2且1≤m1a3的关系。

5.根据权利要求3或4所述的电解电容器用电极箔，其中，所述a1区域的所述第2金属相对于全部金属的含有率m2a1原子％、所述a2区域的所述第2金属相对于全部金属的含有率m2a2原子％和所述a3区域的所述第2金属相对于全部金属的含有率m2a3原子％满足0.9≤m2a2/m2a1≤1.1且0.9≤m2a3/m2a2≤1.1、1≤m2a1、1≤m2a2且1≤m2a3的关系。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的电解电容器用电极箔，其中，所述基材具有多孔质部和与所述多孔质部连续的芯部，

7.根据权利要求6所述的电解电容器用电极箔，其中，所述b1区域的所述第1金属相对于全部金属的含有率m1b1原子％、所述b2区域的所述第1金属相对于全部金属的含有率m1b2原子％和所述b3区域的所述第1金属相对于全部金属的含有率m1b3原子％满足m1b3＜m1b2＜m1b1的关系。

8.根据权利要求6或7所述的电解电容器用电极箔，其中，所述b1区域的所述第2金属相对于全部金属的含有率m2b1原子％、所述b2区域的所述第2金属相对于全部金属的含有率m2b2原子％和所述b3区域的所述第2金属相对于全部金属的含有率m2b3原子％满足m2b1＜m2b2＜m2b3的关系。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的电解电容器用电极箔，其中，所述第1金属包含选自钛、钽、铪、锆和锌中的至少1种，

10.根据权利要求1～8中任一项所述的电解电容器用电极箔，其中，所述第1金属为钛，所述第2金属为硅，

11.根据权利要求1～8中任一项所述的电解电容器用电极箔，其中，所述第1金属为钛，所述第2金属为铝，

12.根据权利要求1～11中任一项所述的电解电容器用电极箔，其中，所述异种金属复合层为氧化物层。

13.根据权利要求12所述的电解电容器用电极箔，其中，所述混存区域包含杂质，

14.根据权利要求13所述的电解电容器用电极箔，其中，相对于所述混存区域中的全部金属和所述杂质的合计，所述混存区域中的所述氢的含有率为10原子％以下。

15.根据权利要求1～11中任一项所述的电解电容器用电极箔，其中，所述异种金属复合层包含导电性碳。

16.根据权利要求1～15中任一项所述的电解电容器用电极箔，其中，在所述基材与所述异种金属复合层之间具备包含所述阀作用金属的氧化物的层。

17.一种电解电容器，其具备权利要求1～16中任一项所述的电解电容器用电极箔。

技术总结
具备包含阀作用金属的基材和覆盖基材的表面的异种金属复合层。异种金属复合层包含第1金属和与第1金属不同的第2金属混存的混存区域。混存区域构成异种金属复合层的厚度方向的至少50％。通过使用混存区域的第1金属相对于全部金属的含有率M1和第2金属相对于全部金属的含有率M2分别为1原子％以上的电解电容器用电极箔，从而提供高性能和高可靠性的电解电容器。

技术研发人员：小川美和,栗原直美,吉村满久
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12