本发明涉及一种蒸镀装置。
背景技术:
1、专利文献1中公开了蒸镀装置的对准方法。在此,对准是指使掩模和基板平行而使彼此的对准标记(成膜位置)配合。在基板因自重而挠曲而不平行的情况下,在对准后载置于掩模时,基板的伸长的方向变得不均匀。由此,掩模的对准孔的位置与基板的对准标记的位置容易错位,在最终确认中检测出对准错位。其结果,产生对准的重试。
2、因此,将触摸板(touch plate,以下称为tp)设于与掩模相反的一侧,通过tp的自重按压基板,抑制该基板的挠曲。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1:国际公开第2020/183552号
技术实现思路
1、本发明所要解决的技术问题
2、载置到掩模之前的基板在挠曲的同时基板的周缘由钩挂部支承。如果对该状态的基板单纯地载置tp,则与钩挂局部接触,对基板的端部施加强负荷,引起基板破裂。图8中示出该情形。由于自重而挠曲的基板3被钩挂部5支承,基板3的端部成为从钩挂部5稍微浮起的状态。当在该状态下将tp4a载置于基板3时,向基板3与tp4a接触的接触部t1或t2施加按压力。其结果是,施加来自接触部t1、t2的下方向的压力和基板3的挠曲所产生的上方向的压力,对接触点ld施加强的负荷。为了减轻该强负荷,需要在钩挂部5和tp4a之间配置垫板7,在钩挂部5和tp4a之间形成空隙,减轻接触部t1、t2的按压力。
3、另外,即使在使用了tp的情况下,由于基板的挠曲的抑制不充分,因此也会产生上述的对准错位。图9a至9d中示出该情形。图9a示出将基板3与掩模2对准后的情形。由于tp4a的挠曲量比基板3的挠曲量少,因此基板3和tp4a在周缘接触,在中央部成为稍微分离的状态。接着,钩挂部5下降,如图9b所示,基板3和掩模2在中央部接触。此时,基板3和tp4a与图9a同样,以tp4a的周缘与基板3接触。之后,钩挂部5进一步下降,基板3和掩模2在整个面接触。此时,由于掩模2的挠曲量比基板3和tp4a的挠曲量少,所以基板3的挠曲被消除,并且基板3和tp4a在中央部开始接触,基板3和tp4a的周缘开始稍微分离。之后,tp4a下降,在图9c中稍微分离的基板3与tp4a的周缘接触,如图9d所示,掩模2与基板3与tp4a在整个面接触。
4、从图9b移至图9c时,基板3与tp4a的接触点从周缘移至中央部,从而基板3的伸长的起点(被固定的点)仅tp4a的中心部(与基板3的接触点)变得不稳定。因此,在基板3挂住与tp4a的接触点地伸长时,挠曲的消除方向杂乱,基板3与掩模2的对准错位。
5、进而,伴随着用于修正该对准错位的对准的重试次数的增加,在掩模2与基板3之间异物转印增加。
6、本发明的一个方式的目的在于,在蒸镀装置中,抑制对准后的基板的错位。
7、解决问题的方案
8、本发明的一个方式所涉及的蒸镀装置包括:金属制的掩模;触摸板,其从与所述掩模相反的一侧按压被固定于所述掩模之上的基板;钩挂部,其支承所述基板以及、所述触摸板的周围;以及磁铁,其设置于所述触摸板的与所述基板相反的一侧,所述触摸板朝向与所述基板相反的一侧翘曲。
9、发明效果
10、依据本发明的一个方式,在蒸镀装置中,由于触摸板朝向与基板相反的一侧翘曲,所以能够抑制对准后的基板的错位。
1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置,其特征在于,
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置,其特征在于,
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的蒸镀装置,其特征在于,
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的蒸镀装置,其特征在于,