一种排风装置、工件处理装置及其控制方法与流程

本申请涉及半导体，涉及但不限于一种排风装置、工件处理装置及其控制方法。

背景技术：

1、相关技术中，由于工件处理装置的腔体外的排风口的风向与位于工件处理装置的上方的风机过滤机组(fan filter unit，ffu)的风向不一致，会造成扰流导致腔体外的颗粒物有向上或者其他方向运动的情况，从而有可能导致腔体外的颗粒物从工件处理装置的内部排风口进入工件处理装置的腔体内，使得暴露在工件处理装置的腔体内的晶圆在进行工件处理后又遭受颗粒物的侵害，造成晶圆受损，甚至报废。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供一种排风装置、工件处理装置及其控制方法。

2、第一方面，本申请实施例提供了一种排风装置，设置在工件处理装置的腔体内，所述排风装置包括：

3、主体部，包括排风面和第一进风面，所述排风面与所述腔体内的排风口连接；

4、挡风板，可转动地设置在所述主体部内，所述挡风板的顶部与所述排风面的顶部连接，所述挡风板位于所述第一进风面上，所述挡风板位于所述排风口的前侧。

5、在一些实施方式中，所述主体部还包括固定面板，第一侧面板和第二侧面板，所述固定面板的顶部与所述排风面的顶部连接。

6、在一些实施方式中，所述固定面板的两侧分别与所述第一侧面板和第二侧面板连接。

7、在一些实施方式中，所述第一侧面板和所述第二侧面板的第一端分别与所述排风面的两侧连接。

8、在一些实施方式中，所述第一侧面板和所述第二侧面板的第一端与所述第一侧面板和所述第二侧面板的第二端相对设置，且所述第一端的高度大于所述第二端的高度，以在所述挡风板的前侧形成第二进风面。

9、一些实施方式中，所述第二进风面与所述第一进风面垂直设置，所述第一进风面与所述排风面垂直设置。

10、在一些实施方式中，所述排风面的面积大于所述排风口的面积。

11、在一些实施方式中，所述主体部内还包括连杆，所述连杆的两端分别连接所述挡风板的侧部和所述排风面，所述连杆用于调整所述挡风板的开合角度。

12、在一些实施方式中，还包括控制器，所述控制器用于调整所述连杆的长度。

13、在一些实施方式中，所述挡风板的开合角度在15-40°之间。

14、在一些实施方式中，在所述挡风板处于最大开合角度时，所述挡风板与所述固定面板的重合。

15、在一些实施方式中，所述第一进风面的面积大于所述第二进风面的面积。

16、在一些实施方式中，所述连杆与所述第一侧面板或所述第二侧面板接触。

17、第二方面，本申请实施例还提供了一种工件处理装置，包括：

18、腔体，包括排风口；

19、运输线，设置在所述腔体内，位于所述排风口上，所述运输线用于移动工件；

20、排风装置，包括主体部和挡风板；

21、其中，所述主体部包括排风面和第一进风面，所述排风面与所述腔体内的排风口连接；

22、其中，所述挡风板可转动地设置在所述主体部内，所述挡风板的顶部与所述排风面的顶部连接，所述挡风板位于所述第一进风面上，所述挡风板位于所述排风口的前侧。

23、第三方面，本申请实施例还提供了一种工件处理装置的控制方法，所述工件处理装置包括上述任一所述的排风装置，包括：

24、将工件设置在腔体上，以对所述工件进行处理；

25、判断所述工件是否与排风口部分重叠；

26、若是，则减小所述挡风板的开合角度；

27、若否，则增大所述挡风板的开合角度。

28、本申请实施例中，由于在工件处理装置的腔体内设置有排风装置，而排风装置设有主体部和挡风板，主体部包括排风面和第一进风面，排风面与腔体内的排风口连接，可以将第一进风口的进风通过排风面与腔体内的排风口的连接排出腔体外；同时，由于挡风板可转动地设置在主体部内，挡风板的顶部与排风面的顶部连接，且挡风板位于第一进风面上，同时挡风板位于所述排风口的前侧；因此，挡风板可以对从工件处理装置的内部排风口进入工件处理装置的腔体内的颗粒物进行一定程度的遮挡，改善暴露在工件处理装置的腔体内的晶圆在进行工件处理后又遭受颗粒物的侵害，造成晶圆受损，甚至报废的问题。

技术特征：

1.一种排风装置，其特征在于，设置在工件处理装置的腔体内，所述排风装置包括：

2.根据权利要求1所述的排风装置，其特征在于，所述主体部还包括固定面板，第一侧面板和第二侧面板，所述固定面板的顶部与所述排风面的顶部连接。

3.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于，所述固定面板的两侧分别与所述第一侧面板和第二侧面板连接。

4.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于，所述第一侧面板和所述第二侧面板的第一端分别与所述排风面的两侧连接。

5.根据权利要求4所述的排风装置，其特征在于，所述第一侧面板和所述第二侧面板的第一端与所述第一侧面板和所述第二侧面板的第二端相对设置，且所述第一端的高度大于所述第二端的高度，以在所述挡风板的前侧形成第二进风面。

6.根据权利要求5所述的排风装置，其特征在于，所述第二进风面与所述第一进风面垂直设置，所述第一进风面与所述排风面垂直设置。

7.根据权利要求1至6任一所述的排风装置，其特征在于，所述排风面的面积大于所述排风口的面积。

8.根据权利要求2至6任一所述的排风装置，其特征在于，所述主体部内还包括连杆，所述连杆的两端分别连接所述挡风板的侧部和所述排风面，所述连杆用于调整所述挡风板的开合角度。

9.根据权利要求8所述的排风装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器用于调整所述连杆的长度。

10.根据权利要求8所述的排风装置，其特征在于，所述挡风板的开合角度在15-40°之间。

11.根据权利要求10所述的排风装置，其特征在于，在所述挡风板处于最大开合角度时，所述挡风板与所述固定面板重合。

12.根据权利要求5所述的排风装置，其特征在于，所述第一进风面的面积大于所述第二进风面的面积。

13.根据权利要求8所述的排风装置，其特征在于，所述连杆与所述第一侧面板或所述第二侧面板接触。

14.一种工件处理装置，其特征在于，包括：

15.一种工件处理装置的控制方法，所述工件处理装置包括权利要求1-13任一所述的排风装置，其特征在于，包括：

技术总结
本申请实施例提供一种排风装置、工件处理装置及其控制方法，所述排风装置设置在工件处理装置的腔体内，所述排风装置包括：主体部，包括排风面和第一进风面，所述排风面与所述腔体内的排风口连接；挡风板，可转动地设置在所述主体部内，所述挡风板的顶部与所述排风面的顶部连接，所述挡风板位于所述第一进风面上，所述挡风板位于所述排风口的前侧。

技术研发人员：马姣
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15