用于样品转移的方法和系统与流程

背景技术：

1、带电粒子显微术是一种众所周知且日益重要的用于成像和分析微观物体的技术。在涉及带电粒子显微镜的工作流程期间，样品可能需要在用于成像、处理、操纵和/或存储的多个工具之间转移。一些样品（例如电池样品）可能是气敏的，因此必须在真空或惰性气体环境中转移。申请人认识到，目前的样品转移系统体积庞大，难以操作，并且可能需要工具修改。

技术实现思路

1、在一个实施例中，一种用于将样品载体转移进或转移出真空室的样品转移系统包含：转移梭，该转移梭包括用于接收所述样品载体的梭室，以及转移杆，该转移杆可拆卸地联接到转移梭，其中可通过操作转移杆而将样品载体转移进或转移出梭室。

2、在另一实施例中，一种用于将样品转移到真空室中的方法包含：将转移梭的第一侧附接到固定在真空室的壁上的样品装载器，其中转移杆可拆卸地联接到转移梭的第二侧；向样品装载器提供真空；将转移梭的梭室与真空室流体连接；以及通过操作转移杆将样品载体从梭室转移到真空室中。

3、在又一实施例中，一种用于将样品转移出真空室的方法包含：将保持样品的样品载体机械地联接到转移梭的梭载体，其中将该梭载体锁定到与转移梭可拆卸地连接的转移杆；通过操作转移杆将样品载体从真空室转移到转移梭的梭室中；将梭室与样品装载器隔绝密封；以及将转移梭从真空室上拆下。

4、这样，可以在不接触空气的情况下，使用样品转移系统将气敏样品转移进和转移出真空室。在转移杆不附接到转移梭的情况下，可以通过仅将转移梭转移进或转移出手套箱而将样品转移进和转移出手套箱。在手套箱内，可以使用第二转移杆将样品转移进或转移出转移梭。由于转移梭的小轮廓，对于气敏样品的转移不需要手套箱的大前室。

5、应理解，提供以上概述是为了以简化的形式介绍在详细描述中另外描述的一些概念。其并非打算识别所要求保护主题的关键或必需特征，所要求保护主题的范围唯一地由实施方式之后的权利要求书来界定。此外，所要求保护主题并不限于解决上文或在本公开的任何部分中指出的任何缺点的实施方案。

技术特征：

1. 一种用于将样品载体转移进或转移出真空室的样品转移系统，其包含：

2.根据权利要求1所述的样品转移系统，其中能够将所述转移杆与所述梭室隔绝密封。

3.根据权利要求2所述的样品转移系统，其中所述转移梭可拆卸地联接到固定在所述真空室的壁上的样品装载器，并且所述转移杆的远端能够与所述样品装载器流体连接，同时与所述梭室隔绝密封。

4.根据权利要求3所述的样品转移系统，其中所述转移杆的所述远端能够通过通道与所述样品装载器流体连接，所述通道的至少一部分嵌入在所述转移梭的壁中。

5.根据权利要求1所述的样品转移系统，其中所述转移杆包括转移柱和沿所述转移杆的纵轴延伸的壳体，并且操作所述转移杆包括相对于所述壳体滑动所述转移柱。

6.根据权利要求5所述的样品转移系统，其中所述转移柱包括与所述转移梭的梭载体可拆卸地联接的远端，所述样品载体可拆卸地联接到所述梭载体。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的样品转移系统，其中所述真空室是带电粒子仪器的样品室。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的样品转移系统，其中所述样品转移系统进一步包括压力传感器，所述压力传感器用于监测所述梭室中的压力。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的样品转移系统，其中一个或多个样品定位在所述样品载体上，并且当所述一个或多个样品由所述样品载体保持时，在所述真空室中用带电粒子束照射所述一个或多个样品中的至少一个样品。

10.一种用于将样品转移到真空室中的方法，其包含：

11.根据权利要求10所述的方法，其进一步包含：在向所述样品装载器提供真空之前，将所述转移杆的远端与所述样品装载器流体连接，同时保持所述梭室与所述转移杆和所述样品装载器隔绝密封。

12.根据权利要求11所述的方法，其中用梭阀将所述转移梭与所述样品装载器隔绝密封，并且将所述梭室与所述样品装载器流体连接包括打开所述梭阀。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述转移杆的所述远端通过通道与所述样品装载器流体连接，所述通道部分地位于所述转移梭的壁内。

14.根据权利要求11所述的方法，其中所述转移杆包括由壳体封闭的转移柱，所述转移柱在所述壳体内可移动地滑动，并且当所述转移杆的所述远端与所述样品装载器流体连接时，所述转移柱的远端处的气体被所述样品装载器中的所述真空抽吸。

15.根据权利要求11所述的方法，其中将所述转移杆可拆卸地联接到所述转移梭的所述第二侧包括将所述转移杆的转移柱与所述转移梭的梭载体锁定。

16.根据权利要求11所述的方法，其进一步包含：

17.根据权利要求10至16中任一项所述的方法，其进一步包含：在向所述样品装载器提供真空之后并且在将所述梭室与所述真空室流体连接之前，用惰性气体填充所述样品装载器；将所述梭室与所述样品装载器流体连接；以及在所述样品装载器中提供真空。

18.一种用于将样品转移出真空室的方法，其包含：

19.根据权利要求18所述的方法，其进一步包含在将所述梭室与所述真空室隔绝密封之后，将所述转移杆从所述转移梭上拆下。

20.根据权利要求18所述的方法，其进一步包含在将所述梭室与所述真空室隔绝密封之前，用惰性气体填充所述梭室。

技术总结
可以使用样品转移系统在带电粒子仪器之间或在带电粒子仪器和手套箱之间转移气敏样品。所述样品转移系统包括用于接收样品载体的转移梭和可拆卸地联接到所述转移梭的转移杆。所述转移杆将所述样品载体移动进或移动出所述转移梭。

技术研发人员：K·K·尼利塞蒂,M·特伦茨,J·冯德鲁斯卡,J·什泰蒂娜
受保护的技术使用者：FEI 公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12