一种新型离子源射频中和器的制作方法

本发明涉及中和器，具体为一种新型离子源射频中和器。

背景技术：

1、在现有镀膜设备中，大多数薄膜结构都对牢固度及附着力有要求，如果不达标，将会导致薄膜脱落等现象。为了改善该问题必须进行高能的宽束离子源的辅助沉积，而离子源对于中和要求极其严格，若中和不好将会导致真空环境打火，离子斥力加强，而影响薄膜的基本及外观结构，传统的电子中和方式有热阴极中和器、空心阴极中和器、化合物中和器，但这几种在污染及使用成本方面也是有一定的弊端。因此射频离子源中和器及在这几方面有了很大的改善与性能提升。 现有射频离子源中和器主要由保持极、射频线圈、陶瓷杯、电极（亦称电子发射电极）、充气座、电极接头等所构成，但现有结构的电子发射电极为杯状体，且为单一缺口结构，由于采用单一缺口的结构，存在射频能量利用率低，从而导致离化效率低的不足之处。

2、这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：

3、1.控制精度低；

4、2.使用寿命短；

5、所以需要针对上述问题进行改进。

技术实现思路

1、本发明提供如下技术方案：本发明的目的在于提供一种新型离子源射频中和器，以解决上述背景技术提出的目前市场上的新型离子源射频中和器存在许多缺陷，控制精度低、使用寿命短的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型离子源射频中和器，包括：

3、箱体，箱体内设置有绝缘电离腔体，绝缘电离腔体设置在箱体的中部，绝缘电离腔体的一端设置有离子出射孔，绝缘电离腔体的另一端连接有电极接头，电极接头的末端连接有输气管，输气管上连接有充气腔，充气腔上连接有连接管，连接管上安装有控制阀，连接管的末端连接有储存箱，储存箱内储存有惰性气体；

4、充气腔，充气腔内设置有充气座、充气管和充气孔，充气座固定在充气腔内，充气管垂直连接在充气座的一侧，充气管深入到绝缘电离腔体内，充气管的末端设置有充气孔，充气孔设置在绝缘电离腔体内；

5、电子发生装置，电子发生装置由不锈钢外壳、钨丝和电子出射孔组成；所述钨丝连接有电源，钨丝设置在不锈钢外壳的内部，不锈钢外壳上连接有负电；

6、冷却箱，冷却箱固定在箱体的外侧，冷却箱内放置有冷却管，冷却管外侧的冷却箱内填充有冷却液。

7、优选的，所述离子出射孔呈喇叭状固定在箱体上，离子出射孔的外侧设置有电子发生装置，电子发生装置的另一端设置有基片。

8、优选的，所述绝缘电离腔体采用陶瓷材料制作而成，绝缘电离腔体呈杯状。

9、优选的，所述绝缘电离腔体的外侧设置有射频线圈，射频线圈缠绕在绝缘电离腔体的外侧。

10、优选的，所述电子发生装置共有两组，分别设置在离子出射孔的两侧。

11、优选的，所述不锈钢外壳上设置有电子出射孔，电子出射孔朝向离子出射孔的一侧。

12、优选的，所述冷却管为螺旋状的铜管。

13、优选的，所述冷却管的上端连接有排水管，冷却管的下端设置有进水管，并与低温水源连接。

14、与现有技术相比，本发明的有益效果是：该新型离子源射频中和器内设置有储存箱，能储存惰性气体，便于中和器的使用； 离子出射孔的两侧设置有电子发生器，电子发生器会释放电子，起到中和离子源的作用，增加了控制精度；箱体的外侧设置有冷却箱，冷却箱能使用冷水将箱体表面的温度降低，避免了高温影响中和器的使用寿命；该新型离子源射频中和器使用方便，并且提高了使用寿命。

15、1.设置有电子发生器，电子发生器会释放电子，起到中和离子源的作用，增加了控制精度。

16、2.设置有冷却箱，冷却箱能使用冷水将箱体表面的温度降低，避免了高温影响中和器的使用寿命，进而提高了使用寿命。

技术特征：

1.一种新型离子源射频中和器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种新型离子源射频中和器，其特征在于：所述离子出射孔（6）呈喇叭状固定在箱体（1）上，离子出射孔（6）的外侧设置有电子发生装置（8），电子发生装置（8）的另一端设置有基片（7）。

3.根据权利要求1所述的一种新型离子源射频中和器，其特征在于：所述绝缘电离腔体（3）采用陶瓷材料制作而成，绝缘电离腔体（3）呈杯状。

4.根据权利要求1所述的一种新型离子源射频中和器，其特征在于：所述绝缘电离腔体（3）的外侧设置有射频线圈（4），射频线圈（4）缠绕在绝缘电离腔体（3）的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种新型离子源射频中和器，其特征在于：所述电子发生装置（8）共有两组，分别设置在离子出射孔（6）的两侧。

6.根据权利要求1所述的一种新型离子源射频中和器，其特征在于：所述不锈钢外壳（17）上设置有电子出射孔（19），电子出射孔（19）朝向离子出射孔（6）的一侧。

7.根据权利要求1所述的一种新型离子源射频中和器，其特征在于：所述冷却管（22）为螺旋状的铜管。

8.根据权利要求1所述的一种新型离子源射频中和器，其特征在于：所述冷却管（22）的上端连接有排水管，冷却管（22）的下端设置有进水管（23），并与低温水源连接。

技术总结
本发明公开了一种新型离子源射频中和器，包括：箱体，箱体内设置有绝缘电离腔体，绝缘电离腔体设置在箱体的中部，绝缘电离腔体的一端设置有离子出射孔，绝缘电离腔体的另一端连接有电极接头，电极接头的末端连接有输气管，输气管上连接有充气腔，充气腔上连接有连接管，连接管上安装有控制阀，连接管的末端连接有储存箱；充气腔内设置有充气座、充气管和充气孔；电子发生装置由不锈钢外壳、钨丝和电子出射孔组成；所述钨丝连接有电源，钨丝设置在不锈钢外壳的内部，不锈钢外壳上连接有负电；冷却箱固定在箱体的外侧，冷却箱内放置有冷却管，冷却管外侧的冷却箱内填充有冷却液；该新型离子源射频中和器使用方便，并且提高了使用寿命。

技术研发人员：乔建栋,徐胜,黄坚
受保护的技术使用者：杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12