高性能离子源栅网的制作方法

本发明涉及光学，具体为高性能离子源栅网。

背景技术：

1、在镀膜过程中，由于镀膜而导致性能下降时，栅网将需要维护，多种膜料会以不同方式干扰每个的电气行为，从而导致最佳性能，定期进行翻新以延长电网寿命，多次保养后栅网将无法正常使用需要替换；

2、这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：

3、1.采购价格昂贵，无法替代进口栅网使用；

4、2.无法实现离子栅网系统的“变焦”功能，不便于更换；

5、所以需要针对上述问题进行改进。

技术实现思路

1、本发明提供如下技术方案：本发明的目的在于提供高性能离子源栅网，以解决上述背景技术提出的目前的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：高性能离子源栅网，包括：

3、固定板，所述固定板上下端面外圈均设置有套环，上部所述套环外部套接有上框架，下部所述套环外部套接有下框架；

4、限位槽，所述上框架上端面和下框架的下端面均开设有限位槽，上部所述限位槽内部设置有加速装置，下部所述限位槽内部设置有减速装置；

5、螺纹孔，所述上框架与下框架外圈右侧中部均开设有螺纹孔，所述螺纹孔与限位槽相连通，所述螺纹孔内腔设置有锁紧件。

6、优选的，所述固定板端面中部均匀开设有通孔，若干所述通孔构成屏栅网面 。

7、优选的，上下所述套环与固定板上下端面一体成形，上下所述套环外壁均设置有外螺纹。

8、优选的，所述限位槽的截面均为t字形状，且限位槽分别贯穿上框架和下框架的端面。

9、优选的，所述加速装置为加速板，所述加速装置端面中部设置有栅网加速网面部分。

10、优选的，所述减速板为减速板，所述减速装置端面中部设置有栅网减速网面部分。

11、优选的，所述上框架和下框架均呈凹槽状，所述上框架和下框架内腔内壁均设置有内螺纹，所述内螺纹与外螺纹相匹配。

12、优选的，所述限位槽内腔靠近屏栅网面一侧分别与加速装置和减速装置相匹配，所述锁紧件为锁紧螺栓，所述锁紧件末端均粘接有橡胶垫。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

14、1.通过外螺纹、内螺纹、通孔、固定板、上框架、下框架、限位槽、加速装置、减速装置、栅网加速网面部分和栅网减速网面部分，以螺纹连接形式将栅网集成化，从而简化栅网的安装步骤，增加离子栅网系统的集成度，螺纹连接方式可以保障栅网安装的定位精度，提高栅网的工作稳定性和对束流的控制能力，保证离子束流空间分布的稳定性和准确性，从而提升离子束加工的加工精度；

15、2.通过限位槽、加速装置、减速装置、栅网加速网面部分、栅网减速网面部分、螺纹孔和锁紧件，通过将加速装置和减速装置放置于限位槽内腔，再利用锁紧件锁紧加速装置和减速装置的外壁，实现离子栅网系统的“变焦”功能，提高加工效率，保证加工精度。

技术特征：

1.高性能离子源栅网，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：所述固定板（1）端面中部均匀开设有通孔（11），若干所述通孔（11）构成屏栅网面 。

3.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：上下所述套环（2）与固定板（1）上下端面一体成形，上下所述套环（2）外壁均设置有外螺纹（10）。

4.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：所述限位槽（5）的截面均为t字形状，且限位槽（5）分别贯穿上框架（3）和下框架（4）的端面。

5.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：所述加速装置（6）为加速板，所述加速装置（6）端面中部设置有栅网加速网面部分（13）。

6.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：所述减速板（7）为减速板，所述减速装置（7）端面中部设置有栅网减速网面部分（14）。

7.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：所述上框架（3）和下框架（4）均呈凹槽状，所述上框架（3）和下框架（4）内腔内壁均设置有内螺纹（12），所述内螺纹（12）与外螺纹（10）相匹配。

8.根据权利要求1所述的高性能离子源栅网，其特征在于：所述限位槽（5）内腔靠近屏栅网面一侧分别与加速装置（6）和减速装置（7）相匹配，所述锁紧件（9）为锁紧螺栓，所述锁紧件（9）末端均粘接有橡胶垫。

技术总结
本发明公开了高性能离子源栅网，包括固定板、限位槽和螺纹孔，所述固定板上下端面外圈均设置有套环，上部所述套环外部套接有上框架，下部所述套环外部套接有下框架，所述上框架上端面和下框架的下端面均开设有限位槽，上部所述限位槽内部设置有加速装置，下部所述限位槽内部设置有减速装置，所述上框架与下框架外圈右侧中部均开设有螺纹孔，所述螺纹孔与限位槽相连通，所述螺纹孔内腔设置有锁紧件，该装置结构简单，操作方便，有效提高镀膜的精度。

技术研发人员：乔建栋,徐胜,黄坚
受保护的技术使用者：杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14