一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台。


背景技术：

2.在半导体(芯片)生产中。晶圆需要在各个工序上进行流转，晶圆是容易碎的物品，需要放在盒子(暗盒)中进行流转。对于自动化生产来说，盒子也是放在托盘上进行流转，由于晶圆有不同的尺寸，因此需要配置不同托盘对晶圆进行流转，十分浪费材料，也占用空间，不利于生产。
3.因此，现有技术存在缺陷，需要改进。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，便于对不同尺寸的晶圆进行流转，节约材料，减少空间占用，方便生产。
5.本实用新型的技术方案如下：提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，包括：底板、分别安装在底板的固定夹板、活动夹板组件，安装在所述活动夹板组件上的活动定位销组件；所述底板设置有若干定位孔，所述活动定位销组件包括：定位销本体，与所述定位销本体连接的活动件；所述定位孔沿直线排布，所述定位销本体与所述定位孔配合。
6.通过拉动活动件，便可以拉起定位销本体，使定位销本体从定位孔中脱出，通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。
7.进一步地，所述活动夹板组件包括：安装在底板上的导轨，与所述导轨配合的滑块，安装在滑块上的活动连接板，与所述活动连接板连接的夹板本体，所述活动件安装在活动夹板本体上。所述夹板本体能够通过滑块在导轨上移动，从而实现固定夹板与夹板本体之间的距离不同，实现放置不同尺寸的暗盒。
8.进一步地，所述活动件包括：合页、台阶件，所述合页的两个页片分别与台阶件、夹板本体连接，所述定位销本体安装在台阶件上。台阶件可以在合页的作用下，实现上下移动，从而实现插销本体插入定位孔和从定位孔中拉出。
9.进一步地，所述夹板本体设置有限位缺口，所述定位销设置在限位缺口内。
10.进一步地，所述导轨、滑块均为两个，所述定位孔设置在两个所述导轨之间。
11.进一步地，所述固定夹板通过螺丝安装在底板上。
12.采用上述方案，本实用新型提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，通过拉动活动件，便可以拉起定位销本体，使定位销本体从定位孔中脱出，通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。
附图说明
13.图1为本实用新型的结构示意图；
14.图2为本实用新型另一视角的结构示意；
15.图3为活动定位销组件的结构示意图；
16.图4为夹板本体的结构示意图。
具体实施方式
17.以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。
18.请参阅图1-图4，本实用新型提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，包括：底板10、分别安装在底板10的固定夹板11、活动夹板组件，安装在所述活动夹板组件上的活动定位销组件；所述底板10设置有若干定位孔12，所述活动定位销组件包括：定位销本体13，与所述定位销本体13连接的活动件；所述定位孔12沿直线排布，所述定位销本体13与所述定位孔12配合。
19.通过拉动活动件，便可以拉起定位销本体13，使定位销本体13从定位孔12中脱出，通过移动活动板组件，可以移动定位销本体13，使得定位销本体13能够插入其他的定位孔12，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。
20.在本实施例中，所述活动夹板组件包括：安装在底板10上的导轨14，与所述导轨14配合的滑块15，安装在滑块15上的活动连接板16，与所述活动连接板16连接的夹板本体17，所述活动件安装在活动夹板本体17上。所述夹板本体17能够通过滑块15在导轨14上移动，从而实现固定夹板11与夹板本体17之间的距离不同，实现放置不同尺寸的暗盒。
21.在本实施例中，所述活动件包括：合页18、台阶件19，所述合页18的两个页片分别与台阶件19、夹板本体17连接，所述定位销本体13安装在台阶件19上。台阶件19可以在合页18的作用下，实现上下移动，从而实现插销本体插入定位孔12和从定位孔12中拉出。
22.在本实施例中，所述夹板本体17设置有限位缺口20，所述定位销设置在限位缺口20内。所述导轨14、滑块15均为两个，所述定位孔12设置在两个所述导轨14之间。所述固定夹板11通过螺丝安装在底板10上。
23.综上所述，本实用新型提供一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，通过拉动活动件，便可以拉起定位销本体，使定位销本体从定位孔中脱出，通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。
24.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，其特征在于，包括：底板、分别安装在底板的固定夹板、活动夹板组件，安装在所述活动夹板组件上的活动定位销组件；所述底板设置有若干定位孔，所述活动定位销组件包括：定位销本体，与所述定位销本体连接的活动件；所述定位孔沿直线排布，所述定位销本体与所述定位孔配合。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，其特征在于，所述活动夹板组件包括：安装在底板上的导轨，与所述导轨配合的滑块，安装在滑块上的活动连接板，与所述活动连接板连接的夹板本体，所述活动件安装在活动夹板本体上。3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，其特征在于，所述活动件包括：合页、台阶件，所述合页的两个页片分别与台阶件、夹板本体连接，所述定位销本体安装在台阶件上。4.根据权利要求2所述的一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，其特征在于，所述夹板本体设置有限位缺口，所述定位销设置在限位缺口内。5.根据权利要求2所述的一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，其特征在于，所述导轨、滑块均为两个，所述定位孔设置在两个所述导轨之间。6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，其特征在于，所述固定夹板通过螺丝安装在底板上。

技术总结
本实用新型公开一种半导体生产用暗盒多尺寸转换平台，包括：底板、分别安装在底板的固定夹板、活动夹板组件，安装在所述活动夹板组件上的活动定位销组件；所述底板设置有若干定位孔，所述活动定位销组件包括：定位销本体，与所述定位销本体连接的活动件；所述定位孔沿直线排布，所述定位销本体与所述定位孔配合。本实用新型通过移动活动板组件，可以移动定位销本体，使得定位销本体能够插入其他的定位孔，从而可以实现放置不同尺寸的暗盒，从而对不同尺寸的晶圆进行流转，有效节约材料，减少空间占用，有利于生产。有利于生产。有利于生产。


技术研发人员：彭霞锋 彭卫华
受保护的技术使用者：深圳市安吉拉测试设备有限公司
技术研发日：2022.01.20
技术公布日：2022/5/29