一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台

本技术涉及扫描电镜领域，尤其涉及一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台。

背景技术：

1、扫描电镜主要用于样品表面微观形貌观察和显微结构分析。扫描电镜具有分辨率高、视野大、样品制备简单以及综合分析能力强等优点，在材料学、物理学、生物学以及微加工等领域有广泛应用。扫描电镜测试的过程包括将样品固定到样品台上，对不导电样品进行喷金操作，然后将样品放入扫描电镜仓中进行测试。为了获得好的扫描电镜成像结果，样品的制备和固定至关重要。针对不同形状(比如：粉末、薄膜、块体等)的样品固定，需选取相应的平面或截面样品台，通过导电胶将样品固定到样品台上，用于后续扫描电镜测试。但对于一类球形或类球形的样品，市面上尚缺乏相对应的样品台。球形或类球形样品由于其弧形底面与普通类型样品台的接触面积小，使其固定不牢固，在测试的过程中可能发生图像漂移的情况，甚至出现样品掉落到扫描电镜仓中造成污染。此外，当样品数量较多时，多批次制样将导致喷金、人力和时间的浪费，而一次制备多个样品受扫描电镜有限的低倍视窗影响，容易造成样品混淆的问题。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是：提供一种能够固定样品并便于区分样品的用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台。

2、为解决上述问题采用的技术方案是：一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台包括基台，基台中心设置有安装结构,基台的顶面上设置有内外标记、周向标记和多个样品孔,样品孔的形状为半球形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个正多边形线或圆形线布置从而形成多层样品孔，同层的样品孔均匀间隔布置,内外标记用于标记样品孔的内外位置，周向标记用于标记样品孔的周向位置。

3、进一步的是：各样品孔的半径不同。

4、进一步的是：内外标记包括标记线以及位于标记线上的英文字母；周向标记为数字。

5、进一步的是：基台的形状为圆形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个圆形线布置。

6、进一步的是：基台的形状为正方形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个正方形线布置。

7、进一步的是：基台的形状为正方形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个圆形线布置。

8、进一步的是：安装结构为螺纹盲孔。

9、进一步的是：基台的底面上设置有内外标记、周向标记和多个样品孔，基台的底面的内外标记、周向标记和样品孔的设置方式与基台顶面的内外标记、周向标记和样品孔的设置方式相同。

10、进一步的是：一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台包括固定堵头，安装结构为螺纹通孔，固定堵头与螺纹通孔连接。

11、本实用新型的有益效果是：1、基台上的球形孔为球形或类球形样品提供匹配的固定位，样品放入样品孔，不易移动；再通过导电胶可将样品牢固地固定到样品台上。可避免样品固定不牢导致的测试的过程中发生图像漂移，或掉落到扫描电镜仓中造成污染和样品丢失等问题。

12、2、样品孔设置多个，各样品孔可以是不同直径；或者几个样品孔直径相同，形成几组直径不同的样品孔。从而样品台可以放置多个样品，多个样品可以是直径不同的。此后的检测过程中，移动基台即可进行多个样品的检测，可提高检测效率，降低检测成本。内外标记和周向标记可以准确对各个样品进行位置标记，方便根据定位需要的样品；也方便对样品进行编号和记录，保证记录信息准确；从而可避免样品定位或记录错误。

技术特征：

1.一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，包括基台(1)，基台(1)中心设置有安装结构(3),其特征在于：包括固定堵头(8)，基台(1)的顶面上设置有内外标记(4)、周向标记(7)和多个样品孔(2),样品孔(2)的形状为半球形，各样品孔(2)沿以基台(1)中心为中心的多个正多边形线或圆形线布置从而形成多层样品孔(2)，同层的样品孔(2)均匀间隔布置,内外标记(4)用于标记样品孔(2)的内外位置，周向标记(7)用于标记样品孔(2)的周向位置；

2.根据权利要求1所述的一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，其特征在于：各样品孔(2)的半径不同。

3.根据权利要求1所述的一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，其特征在于：内外标记(4)包括标记线(6)以及位于标记线(6)上的英文字母(5)；周向标记(7)为数字。

4.根据权利要求1所述的一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，其特征在于：基台(1)的形状为圆形，各样品孔(2)沿以基台(1)中心为中心的多个圆形线布置。

5.根据权利要求1所述的一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，其特征在于：基台(1)的形状为正方形，各样品孔(2)沿以基台(1)中心为中心的多个正方形线布置。

6.根据权利要求1所述的一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，其特征在于：基台(1)的形状为正方形，各样品孔(2)沿以基台(1)中心为中心的多个圆形线布置。

技术总结
本技术公开了一种用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台，涉及扫描电镜领域。提供一种能够固定样品并便于区分样品的用于球形样品固定及标记的扫描电镜样品台。该样品台包括基台，基台中心设置有安装结构,基台的顶面上设置有内外标记、周向标记和多个样品孔,样品孔的形状为半球形，各样品孔沿以基台中心为中心的多个正多边形线或圆形线布置从而形成多层样品孔，同层的样品孔均匀间隔布置,内外标记用于标记样品孔的内外位置，周向标记用于标记样品孔的周向位置。基台上的球形孔为球形或类球形样品提供匹配的固定位，样品放入样品孔，不易移动；再通过导电胶可将样品牢固地固定到样品台上。

技术研发人员：余凌竹,鲁建,谭言飞,孟国龙,路姣
受保护的技术使用者：四川大学
技术研发日：20220822
技术公布日：2024/1/11