一种等离子体约束环的制作方法

本说明书涉及等离子体约束，具体涉及一种等离子体约束环。

背景技术：

1、在等离子体刻蚀腔体中，为了保证等离子体在一定区域内存在，往往需要对等离子体进行约束(plasma confine)。如果不对等离子体进行限制，等离子体会攻击本应得到保护的一些区域，例如腔体某些内表面，这样会产生一些金属污染，腔体还会因为该处得不到有效清洁而产生颗粒物污染。等离子体约束结构往往是在某种材料(例如单晶硅，石英或者阳极氧化铝)上面开槽，槽的目的一方面可以使等离子在其中湮灭(quench，这一现象可由pashin曲线得以解释)，另一方面可以使得反应气体和反应副产物通过。

2、现有技术中，等离子体约束环位于esc和腔壁之间，把等离子体区域和下部抽气部件隔离开，由于现有的等离子体约束环一般都为固定的结构，不能够对等离子体约束环的尺寸进行调节，当等离子体约束环安装完成后，等离子体约束环之间的宽深比就处于固定值，无法根据需要对等离子体约束环之间的宽深比进行调节，导致使用存在着一定的不便。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种等离子体约束环，可根据使用需要对等离子体约束子环的尺寸进行调节，以实现对等离子体约束环之间的宽深比进行调节。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：一种等离子体约束环，所述约束环包括定位辐条和至少两个直径不同的约束子环，所述至少两个直径不同的约束子环成同心设置，所述定位辐条对所述约束子环定位，所述约束子环包括对接部和插接部，所述插接部与所述对接部之间摩擦接触，所述插接部插入所述对接部内的尺寸可变，以实现对所述约束环的尺寸调节。

3、优选的，所述对接部包括第一环体，所述第一环体的第一端面开有第一腔室，所述插接部插入所述第一腔室内。

4、基于上述技术特征，通过设置第一环体，且在第一环体的第一端面开设容纳插接部的第一腔室，通过改变插接部插入第一腔室内的深度，从而对约束环的尺寸进行改变。

5、优选的，所述插接部包括第二环体，所述第二环体插入所述第一腔室内，所述第二环体与所述第一腔室内壁摩擦接触。

6、基于上述技术特征，通过设置第二环体插接于第一腔室内，第二环体与第一腔室内壁摩擦接触，保证只有在人为的调节下第二环体才会沿着第一腔室运动。

7、优选的，所述第一腔室的高度不小于所述第二环体高度的十分之一。

8、基于上述技术特征，通过对第一腔室的高度进行限定，保证第二环体能够插入第一腔室的深度。

9、优选的，所述定位辐条与所述第一环体外壁之间相连接，实现对相邻的所述约束子环的连接定位。

10、基于上述技术特征，通过定位辐条对相邻约束子环进行连接定位，避免约束子环发生偏移。

11、优选的，所述对接部包括若干第一弧形板，所述第一弧形板之间通过插接部相连接，所述第一弧形板的侧端面开设有第二腔室，所述插接部插入所述第二腔室内，所述插接部与所述第二腔室内壁摩擦接触。

12、基于上述技术特征，通过在第一弧形板的两个侧端面均开设第二腔室，插接部插入第二腔室内，通过改变插接部插入第二腔室内的深度，从而对约束环的尺寸进行改变。

13、优选的，所述插接部包括与所述第一弧形板数量相同的第二弧形板，所述第二弧形板插入所述第二腔室内，所述第二弧形板与所述第二腔室内壁摩擦接触。

14、基于上述技术特征，通过第二弧形板将第一弧形板相邻的侧端面之间进行连接，第二弧形板与第二腔室内壁摩擦接触，保证只有在人为的调节下第二弧形板才会沿着第二腔室运动。

15、优选的，当所述第一弧形板为两个时，所述第一弧形板的角度为170～180度。

16、基于上述技术特征，根据第一弧形板的数量不同，可对第一弧形板的角度进行设置，保证当第二弧形板完全插入第二腔室内后，对接后的第一弧形板组成的结构为圆环状或近似圆环状。

17、优选的，所述定位辐条设置于所述第一弧形板底部，实现对所述约束子环的支撑定位。

18、基于上述技术特征，通过定位辐条对约束环子环进行支撑定位。

19、优选的，所述对接部包括第三环体，所述第三环体周向有至少两个螺钉穿过，所述插接部包括第四环体，所述第四环体上与所述螺钉相对应的螺纹槽，沿着所述第四环体轴向方向，所述螺纹槽设有多个。

20、基于上述技术特征，通过螺钉将第三环体和第四环体之间进行连接，可通过松动螺钉将第三环体和第四环体之间相对移动，同时在沿着第四环体轴向方向设置多个螺纹槽，便于将发生相对移动后第三环体和第四环体之间进行连接固定。

21、优选的，所述对接部包括第五环体，所述第五环体上连接有至少两根螺杆，所述插接部包括第六环体，所述螺杆穿过第六环体，所述螺杆上螺接有调节块，所述调节块与所述第六环体下端面相接触。

22、基于上述技术特征，通过转动调节块使其沿着螺杆运动，调节块推动第六环体运动，使第六环体相对于第五环体发生移动，实现对约束子环的高度进行调节。

23、优选的，所述约束子环的数量为2～30个，每个所述约束子环直径均不相同。

24、基于上述技术特征，当约束子环设置有六个时，靠外的三个约束子环的可设计为较小的深宽比，靠内的三个约束子环可设计为较大的深宽比，以实现更好的约束效果。

25、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

26、本实用新型中，通过设置对接部和插接部，插接部插入对接部内，通过对插接部插入对接部内的尺寸进行调节，从而对约束子环的尺寸进行调节，等离子体约束子环的尺寸调节操作十分的方便，可在不更换约束子环的情况下，实现对相邻约束子环之间的宽深比的改变。

技术特征：

1.一种等离子体约束环，其特征在于，所述约束环包括定位辐条和至少两个直径不同的约束子环，所述至少两个直径不同的约束子环成同心设置，所述定位辐条对所述约束子环定位，所述约束子环包括对接部和插接部，所述插接部与所述对接部之间横向间隙小于环间槽距，所述插接部插入所述对接部内的尺寸可变，以实现对所述约束环的尺寸调节。

2.根据权利要求1所述的等离子体约束环，其特征在于，所述对接部包括第一环体，所述第一环体的第一端面开有第一腔室，所述插接部插入所述第一腔室内。

3.根据权利要求2所述的等离子体约束环，其特征在于，所述插接部包括第二环体，所述第二环体插入所述第一腔室内，所述第二环体与所述第一腔室内壁摩擦接触。

4.根据权利要求3所述的等离子体约束环，其特征在于，所述第一腔室的高度不小于所述第二环体高度的十分之一。

5.根据权利要求2所述的等离子体约束环，其特征在于，所述定位辐条与所述第一环体外壁之间相连接，实现对相邻的所述约束子环的连接定位。

6.根据权利要求1所述的等离子体约束环，其特征在于，所述对接部包括若干第一弧形板，所述第一弧形板之间通过插接部相连接，所述第一弧形板的侧端面开设有第二腔室，所述插接部插入所述第二腔室内，所述插接部与所述第二腔室内壁摩擦接触。

7.根据权利要求6所述的等离子体约束环，其特征在于，所述插接部包括与所述第一弧形板数量相同的第二弧形板，所述第二弧形板插入所述第二腔室内，所述第二弧形板与所述第二腔室内壁摩擦接触。

8.根据权利要求7所述的等离子体约束环，其特征在于，当所述第一弧形板为两个时，所述第一弧形板的角度为170～180度。

9.根据权利要求6所述的等离子体约束环，其特征在于，所述定位辐条设置于所述第一弧形板底部，实现对所述约束子环的支撑定位。

10.根据权利要求1所述的等离子体约束环，其特征在于，所述对接部包括第三环体，所述第三环体周向有至少两个螺钉穿过，所述插接部包括第四环体，所述第四环体上与所述螺钉相对应的螺纹槽，沿着所述第四环体轴向方向，所述螺纹槽设有多个。

11.根据权利要求1所述的等离子体约束环，其特征在于，所述对接部包括第五环体，所述第五环体上连接有至少两根螺杆，所述插接部包括第六环体，所述螺杆穿过第六环体，所述螺杆上螺接有调节块，所述调节块与所述第六环体下端面相接触。

12.根据权利要求1所述的等离子体约束环，其特征在于，所述约束子环的数量为2～30个，每个所述约束子环直径均不相同。

技术总结
本说明书实施例提供一种等离子体约束环，约束环包括定位辐条和至少两个直径不同的约束子环，至少两个直径不同的约束子环成同心设置，定位辐条对约束子环定位，约束子环包括对接部和插接部，插接部与对接部之间横向间隙小于环间槽距，插接部插入对接部内的尺寸可变，以实现对约束环的尺寸调节。通过设置对接部和插接部，插接部插入对接部内，通过对插接部插入对接部内的尺寸进行调节，从而对约束环的尺寸进行调节，等离子体约束环的尺寸调节操作十分的方便，可在不更换约束环的情况下，实现对相邻约束环之间的宽深比的改变。

技术研发人员：陈世名
受保护的技术使用者：上海谙邦半导体设备有限公司
技术研发日：20220920
技术公布日：2024/1/12