一种涂抹丙酮的装置的制作方法

本技术涉及晶圆翻转的，特别涉及一种涂抹丙酮的装置。

背景技术：

1、led晶圆是led的核心部分，事实上，led的波长、亮度、正向电压等主要光电参数基本上取决于晶圆材料。led的相关电路元件的加工与制作都是在晶圆上完成的，所以晶圆技术与设备是晶圆制造技术的关键所在。

2、在led芯片制作过程中，通常需要使用晶圆翻转设备将晶圆进行翻转，目的在于将白膜上的晶圆翻转至蓝膜上，其中，白膜在经过滚膜轮滚压以及硅胶压盘加压后，使得白膜上的晶圆与蓝膜完全贴合，然后再用撕膜夹爪将白膜撕下，这样便可将晶圆无损翻转至蓝膜上。

3、传统的晶圆翻转都是利用加热软化白膜来降低膜与晶圆之间的粘性，从而实现晶圆翻转，但该方式只适用于尺寸较大(10mil以上)的产品，对于尺寸较小(10mil以下)的产品，无法完整无损的翻转到蓝膜上(尺寸越小翻转难度越大)，随着led产业的迅速发展，未来miniled产品将成为主流趋势，目前miniled产品均使用手动翻转，手动翻转需要手动按压，并利用真空盘吸真空，再手动涂抹丙酮，最后将其即翻转至蓝膜上，此过程用时长，且耗费大量的人力物力。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型的目的是提供一种涂抹丙酮的装置，旨在解决现有技术中，目前miniled产品使用手动翻转，耗时耗力的问题。

2、根据本实用新型实施例当中的一种涂抹丙酮的装置，包括按压件以及与所述按压件活动连接的涂抹件，所述按压件包括按压部、由所述按压部向远离所述涂抹件方向延伸出的侧壁，以及由所述侧壁向远离所述按压部方向延伸出的导流部，其中，所述按压部、所述侧壁与所述导流部之间形成容纳空间，所述容纳空间用于容纳丙酮溶液，所述按压部开设有若干第一通孔，所述导流部开设有第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔用于当所述涂抹件和所述按压部接触时，丙酮溶液依次通过所述第二通孔和所述第一通孔流至所述涂抹件。

3、上述涂抹丙酮的装置，通过设置按压件以及与按压件活动连接的涂抹件，由于按压件包括按压部、由按压部向远离涂抹件方向延伸出的侧壁，以及由侧壁向远离按压部方向延伸出的导流部，其中，按压部、侧壁与导流部之间形成容纳空间，又由于在按压部和导流部分别开设有若干第一通孔和第二通孔，使得当涂抹件和按压部接触时，即涂抹件也同时与白膜接触，丙酮溶液通过第二通孔流至容纳空间中，丙酮溶液迅速将容纳空间填充，并从第一通孔均匀流至涂抹件上，吸收有丙酮溶液的涂抹件将白膜湿润，从而稀释黏性，达到快速翻转的目的。

4、进一步的，所述涂抹件包括承载部和固设于所述承载部两侧的丙酮吸收部，所述承载部向所述按压件方向延伸出的活动部，所述活动部上开设有活动孔，所述按压件的外壁上可拆卸连接有与所述活动部匹配的固定部，所述固定部穿设于所述活动孔中。

5、进一步的，所述活动部包括设置于远离所述承载部一端的限位分部，当所述限位分部与所述固定部抵靠时，所述涂抹件与所述按压部之间存在间隙。

6、进一步的，所述按压部和所述丙酮吸收部与晶圆大小匹配。

7、进一步的，所述丙酮吸收部的材料为聚酯纤维和涤纶纤维的混合材料。

8、进一步的，所述第二通孔设置于所述导流部的中部。

9、进一步的，所述按压件的外壁上至少固设有两个所述固定部，且所述固定部对称设置。

10、进一步的，所述固定部固设于所述按压件的外壁的同一水平高度上。

11、进一步的，所述固定部包括设置于远离所述活动部一端的防脱部，所述防脱部的宽度大于所述活动孔的孔径。

技术特征：

1.一种涂抹丙酮的装置，其特征在于，包括按压件以及与所述按压件活动连接的涂抹件，所述按压件包括按压部、由所述按压部向远离所述涂抹件方向延伸出的侧壁，以及由所述侧壁向远离所述按压部方向延伸出的导流部，其中，所述按压部、所述侧壁与所述导流部之间形成容纳空间，所述容纳空间用于容纳丙酮溶液，所述按压部开设有若干第一通孔，所述导流部开设有第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔用于当所述涂抹件和所述按压部接触时，丙酮溶液依次通过所述第二通孔和所述第一通孔流至所述涂抹件。

2.根据权利要求1所述的涂抹丙酮的装置，其特征在于，所述涂抹件包括承载部和固设于所述承载部两侧的丙酮吸收部，所述承载部向所述按压件方向延伸出的活动部，所述活动部上开设有活动孔，所述按压件的外壁上可拆卸连接有与所述活动部匹配的固定部，所述固定部穿设于所述活动孔中。

3.根据权利要求2所述的涂抹丙酮的装置，其特征在于，所述活动部包括设置于远离所述承载部一端的限位分部，当所述限位分部与所述固定部抵靠时，所述涂抹件与所述按压部之间存在间隙。

4.根据权利要求2所述的涂抹丙酮的装置，其特征在于，所述按压部和所述丙酮吸收部与晶圆大小匹配。

5.根据权利要求1所述的涂抹丙酮的装置，其特征在于，所述第二通孔设置于所述导流部的中部。

6.根据权利要求2所述的涂抹丙酮的装置，其特征在于，所述按压件的外壁上至少固设有两个所述固定部，且所述固定部对称设置。

7.根据权利要求6所述的涂抹丙酮的装置，其特征在于，所述固定部固设于所述按压件的外壁的同一水平高度上。

8.根据权利要求2所述的涂抹丙酮的装置，其特征在于，所述固定部包括设置于远离所述活动部一端的防脱部，所述防脱部的宽度大于所述活动孔的孔径。

技术总结
本技术提供一种涂抹丙酮的装置，按压件以及与按压件活动连接的涂抹件，由于按压件包括按压部、由按压部向远离涂抹件方向延伸出的侧壁，以及由侧壁向远离按压部方向延伸出的导流部，其中，按压部、侧壁与导流部之间形成容纳空间，又由于在按压部和导流部分别开设有若干第一通孔和第二通孔，使得当涂抹件和按压部接触时，即涂抹件也同时与白膜接触，丙酮溶液通过第二通孔流至容纳空间中，丙酮溶液迅速将容纳空间填充，并从第一通孔均匀流至涂抹件上，吸收有丙酮溶液的涂抹件将白膜湿润，从而稀释黏性，达到快速翻转的目的。

技术研发人员：方亚明,董务乐,赵晓明,董国庆,金从龙
受保护的技术使用者：江西兆驰半导体有限公司
技术研发日：20221018
技术公布日：2024/1/12