一种供液装置的制作方法

本技术涉及一种半导体生产的供液设备，尤其是一种供液装置。

背景技术：

1、现有的供液装置采用氦气进行供液，也就是通过高压的氦气提供压力，将供液钢瓶中的液体送出。

2、现有的供液装置采用单个钢瓶供液，单个钢瓶供液时，当钢瓶内的液体解决用完时，需要更换钢瓶，更换钢瓶时不能供液，需要停车。目前主要采用两台装置并联的方式来解决更换导致停产的问题，但是两台设备并联导致结构复杂，管路的控制复杂，并且体积较大。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型提供一种既能保证连续生产，同时体积小、管路简单的一种供液装置，具体技术方案为：

2、一种供液装置，包括原液钢瓶和液位传感器，所述液位传感器安装在所述原液钢瓶内，还包括：供液钢瓶，所述供液钢瓶内装有液位传感器；箱体，所述供液钢瓶和所述原液钢瓶均安装在所述箱体内，所述箱体上设有可开关的箱门；进出管路单元，所述进出管路单元安装在所述箱体上，且与所述箱门相对设置，用于控制进气和供液；供气管路单元，所述供气管路单元安装在所述箱体的一侧，分别与所述进出管路单元、所述原液钢瓶和所述供液钢瓶连接；供液管路单元，所述供液管路单元安装在所述箱体的另一侧，分别与所述进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接，用于将所述原液钢瓶内的液体输送到所述供液钢瓶内，以及将所述供液钢瓶内的液体送出。

3、优选的，还包括抽拉装置，所述抽拉装置安装在所述箱体上，且位于所述箱门的一侧，所述原液钢瓶安装在所述抽拉装置上。

4、优选的，所述抽拉装置包括：抽拉底座，所述原液钢瓶安装在所述抽拉底座上；及三节导轨，所述三节导轨安装在所述抽拉底座的两侧，且与所述箱体的两侧连接。

5、优选的，还包括称重装置，所述称重装置包括：称重底板，所述称重底板安装在所述箱体内；称重传感器，所述称重传感器安装在所述称重底板上，且不少于三个；及称重板，所述称重板安装在所述称重传感器上，所述供液钢瓶和所述原液钢瓶安装在所述称重板上。

6、优选的，还包括橡胶垫，所述橡胶垫安装在箱体上，所述供液钢瓶和所述原液钢瓶分别安装在所述橡胶垫上。

7、优选的，还包括排气阀，所述排气阀安装在所述箱体的顶部。

8、优选的，还包括漏液传感器，所述漏液传感器安装在所述箱体的底部。

9、优选的，还包括气液分离器，所述气液分离器安装在所述供液管路单元上。

10、与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：

11、本实用新型提供的一种供液装置通过设置固定的供液钢瓶和一个活动的原液钢瓶，原液钢瓶对供液钢瓶补充液体，当原液钢瓶中液体供完时，更换新的原液钢瓶，而供液钢瓶中仍有大量的液体，不影响连续供液，同时结构紧凑，减小了体积，并且通过三个管路单元将管路分开设置，方便装配和维护，极大的提高了装配效率以及缩短了维护的时间，有效保证了生产的连续性；同时通过抽拉装置方便原液钢瓶的拆装；还通过称重传感器对生产情况进行实时反馈；并通过漏油传感器检测是否发生漏油现象，能够及时有效的对漏液监管，避免发生安全事故，提高了安全性；采用橡胶垫减少气体冲击产生的振动，减小噪音；通过排气装置在维护时方便排气；还通过气液分离器将溶解在液体中的惰性气体排出，减少气体对后续生产的影响。

技术特征：

1.一种供液装置，包括原液钢瓶(3)和液位传感器，所述液位传感器安装在所述原液钢瓶(3)内；其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种供液装置，其特征在于，还包括抽拉装置，所述抽拉装置安装在所述箱体(11)上，且位于所述箱门(12)的一侧，所述原液钢瓶(3)安装在所述抽拉装置上。

3.根据权利要求2所述的一种供液装置，其特征在于，所述抽拉装置包括：

4.根据权利要求1或2所述的一种供液装置，其特征在于，还包括称重装置，所述称重装置包括：

5.根据权利要求1或2所述的一种供液装置，其特征在于，还包括橡胶垫(22)，所述橡胶垫(22)安装在箱体(11)上，所述供液钢瓶(2)和所述原液钢瓶(3)分别安装在所述橡胶垫(22)上。

6.根据权利要求1所述的一种供液装置，其特征在于，还包括排气阀(7)，所述排气阀(7)安装在所述箱体(11)的顶部。

7.根据权利要求1所述的一种供液装置，其特征在于，还包括漏液传感器(16)，所述漏液传感器(16)安装在所述箱体(11)的底部。

8.根据权利要求1所述的一种供液装置，其特征在于，还包括气液分离器(66)，所述气液分离器(66)安装在所述供液管路单元(6)上。

技术总结
本技术涉及一种供液装置，包括原液钢瓶和液位传感器，液位传感器安装在原液钢瓶内，还包括供液钢瓶，供液钢瓶内装有液位传感器；液钢瓶和原液钢瓶均安装在箱体内，箱体上设有可开关的箱门；进出管路单元安装在箱体上，且与箱门相对设置，用于控制进气和供液；供气管路单元安装在箱体的一侧，分别与进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接；供液管路单元安装在箱体的另一侧，分别与进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接，用于将原液钢瓶内的液体输送到供液钢瓶内，以及将供液钢瓶内的液体送出。该供液装置通过供液钢瓶持续供液，通过原液钢瓶周转，保证了生产的连续性，结构紧凑、体积小、三个管路单元将管路分开设置，方便装配和维护。

技术研发人员：罗保兴,钟贵平,金凡奎,王富斌,杨利斌
受保护的技术使用者：吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
技术研发日：20221107
技术公布日：2024/1/12