等离子真空腔体自动开关门机构的制作方法

本技术涉及等离子腔体，特别是等离子真空腔体自动开关门机构。

背景技术：

1、真空等离子体设备由等离子体发生器、气体输送管路以及离子喷头等部分组成，等离子体发生器被设置在真空腔内，高压高频能量在喷嘴钢管中产生无序的低温等离子体，经由离子喷头轰击以达到材料的表面处理及沉积的目的。

2、等离子清洗在等离子真空腔体内进行，现有清洗方法主要包括离线真空等离子清洗和半自动等离子清洗，离线真空等离子清洗是将电路板分层摆放在离线式等离子体处理设备内，每次处理前打开腔门，逐个摆放产品后，关闭真空腔，然后抽真空，待真空度达到背底真空后，充入工艺气体，达到平衡后，打开电源进行放电；待处理完成，关闭电源，关闭充气，关闭真空泵，打开破真空阀，待真空腔内压力达到大气压后，打开真空腔，逐个去除电路板；打开等离子真空腔体开关门这一操作目前采用人工进行操作，此方式时间长，浪费大量人工，处理效率低，为此，需要设计等离子真空腔体自动开关门机构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了等离子真空腔体自动开关门机构。

2、实现上述目的本实用新型的技术方案为，等离子真空腔体自动开关门机构，包括设备主体，所述设备主体的两侧设置有支撑组件，所述支撑组件上设置有升降导向组件，所述支撑组件上下两端设置有升降传动组件，所述设备主体底部设置有动力组件，所述动力组件的输出端与所述升降传动组件相连，所述升降导向组件的移动部位设置有第一辅助板，所述第一辅助板上设置有辅助连接组件，所述辅助连接组件顶端设置有第二辅助板，所述第一辅助板与所述第二辅助板上均设置有密封动力输出组件，所述密封动力输出组件的输出端设置有连接型材，所述连接型材上设置有腔体门。

3、作为本技术方案的进一步描述，所述支撑组件包括设置在设备主体两侧的支撑立柱，所述支撑立柱上设置有升降导向组件。

4、作为本技术方案的进一步描述，所述升降导向组件包括设置在支撑立柱上的升降导向导轨，所述升降导向导轨上设置有升降滑块，所述升降滑块上设置有第一辅助板。

5、作为本技术方案的进一步描述，所述升降传动组件包括设置在支撑立柱顶端的顶轴承座、设置在支撑立柱底端的底轴承座。

6、作为本技术方案的进一步描述，两根支撑立柱顶端的顶轴承座上设置有顶传动轴，两根支撑立柱底端的顶轴承座上设置有底传动轴。

7、作为本技术方案的进一步描述，所述顶传动轴的两端设置有顶传动链轮，所述底传动轴的两端设置有底传动链轮，所述支撑立柱上的顶传动链轮与底传动链轮上设置有传动链条，所述传动链条与第一辅助板连接。

8、作为本技术方案的进一步描述，其中一个底传动链轮上设置有辅助传动链轮，所述动力组件包括设置在设备主体底部的动力电机，所述动力电机的输出端设置有连接链轮，所述连接链轮与所述辅助传动链轮之间通过传动链条连接。

9、作为本技术方案的进一步描述，所述密封动力输出组件包括设置在第一辅助板、第二辅助板上的密封动力气缸，所述密封动力气缸的输出端设置有连接型材，所述连接型材上设置有腔体门。

10、作为本技术方案的进一步描述，所述第一辅助板与所述第二辅助板上均设置有横向导轨，所述横向导轨上设置有横向滑块，所述横向滑块与所述连接型材连接。

11、其有益效果在于，此等离子真空腔体自动开关门机构，结构设计巧妙，实用性较强，且工作运行稳定，运用此等离子真空腔体自动开关门机构，实现了等离子腔体门的自动开关门，代替了人工开关门，有效提高了等离子腔体门的开关门效率，同时，也提高了等离子真空腔体的处理效率。

技术特征：

1.等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，包括设备主体(1)，所述设备主体(1)的两侧设置有支撑组件(2)，所述支撑组件(2)上设置有升降导向组件(3)，所述支撑组件(2)上下两端设置有升降传动组件(4)，所述设备主体(1)底部设置有动力组件(5)，所述动力组件(5)的输出端与所述升降传动组件(4)相连，所述升降导向组件(3)的移动部位设置有第一辅助板(6)，所述第一辅助板(6)上设置有辅助连接组件(7)，所述辅助连接组件(7)顶端设置有第二辅助板(8)，所述第一辅助板(6)与所述第二辅助板(8)上均设置有密封动力输出组件(9)，所述密封动力输出组件(9)的输出端设置有连接型材(10)，所述连接型材(10)上设置有腔体门(11)。

2.根据权利要求1所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，所述支撑组件(2)包括设置在设备主体(1)两侧的支撑立柱(12)，所述支撑立柱(12)上设置有升降导向组件(3)。

3.根据权利要求2所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，所述升降导向组件(3)包括设置在支撑立柱(12)上的升降导向导轨(13)，所述升降导向导轨(13)上设置有升降滑块(14)，所述升降滑块(14)上设置有第一辅助板(6)。

4.根据权利要求1所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，所述升降传动组件(4)包括设置在支撑立柱(12)顶端的顶轴承座(15)、设置在支撑立柱(12)底端的底轴承座(16)。

5.根据权利要求4所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，两根支撑立柱(12)顶端的顶轴承座(15)上设置有顶传动轴(17)，两根支撑立柱(12)底端的顶轴承座(15)上设置有底传动轴(18)。

6.根据权利要求5所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，所述顶传动轴(17)的两端设置有顶传动链轮(19)，所述底传动轴(18)的两端设置有底传动链轮(20)，所述支撑立柱(12)上的顶传动链轮(19)与底传动链轮(20)上设置有传动链条(21)，所述传动链条(21)与第一辅助板(6)连接。

7.根据权利要求6所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，其中一个底传动链轮(20)上设置有辅助传动链轮(22)，所述动力组件(5)包括设置在设备主体(1)底部的动力电机(23)，所述动力电机(23)的输出端设置有连接链轮(27)，所述连接链轮(27)与所述辅助传动链轮(22)之间通过传动链条(21)连接。

8.根据权利要求1所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，所述密封动力输出组件(9)包括设置在第一辅助板(6)、第二辅助板(8)上的密封动力气缸(24)，所述密封动力气缸(24)的输出端设置有连接型材(10)，所述连接型材(10)上设置有腔体门(11)。

9.根据权利要求1所述的等离子真空腔体自动开关门机构，其特征在于，所述第一辅助板(6)与所述第二辅助板(8)上均设置有横向导轨(25)，所述横向导轨(25)上设置有横向滑块(26)，所述横向滑块(26)与所述连接型材(10)连接。

技术总结
本技术公开了等离子真空腔体自动开关门机构，包括设备主体，设备主体的两侧设置有支撑组件，支撑组件上设置有升降导向组件，支撑组件上下两端设置有升降传动组件，设备主体底部设置有动力组件，动力组件的输出端与升降传动组件相连，升降导向组件的移动部位设置有第一辅助板，第一辅助板上设置有辅助连接组件，第一辅助板上设置有密封动力输出组件，密封动力输出组件的输出端设置有连接型材，连接型材上设置有腔体门。此自动开关门机构，结构设计巧妙，实用性较强，且工作运行稳定，运用此自动开关门机构，实现了等离子腔体门的自动开关门，代替了人工开关门，有效提高了等离子腔体门的开关门效率，同时，也提高了等离子真空腔体的处理效率。

技术研发人员：朱志山
受保护的技术使用者：苏州爱特维电子科技有限公司
技术研发日：20221128
技术公布日：2024/1/12