气路自保持机构和加工设备的制作方法

本技术涉及物料加工，具体地，涉及一种气路自保持机构和一种加工设备。

背景技术：

1、在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域，半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。切割方式通常有两种：一种是刀轮切割，另一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割，简称隐切)为例，通过将激光光束聚集在待加工物料内部，从而形成炸点。通过精确控制聚焦物镜与待加工物料表面之间的距离，在待加工物料内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片使彼此相邻的晶粒分离。

2、传统的激光加工设备主要包括上料机构、加工机构以及下料机构。具体地，上料机构可以将物料运送到载台上，然后通过加工机构对载台上的物料进行切割，以形成已加工物料。下料机构将已加工物料运送到指定位置。然后上料机构接着继续上料，继续加工，如此往复。

3、然而传统的激光加工设备存在以下缺陷：对于上下料机构是吸盘的结构，当突然断电或者断气，吸盘会突然没有吸力。这样会导致物料突然掉落，从而导致物料以及其他部件损坏。

技术实现思路

1、为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本实用新型的一个方面，提供了一种气路自保持机构。该气路自保持机构具有气体入口。该气路自保持机构包括控制阀、真空发生器、单向阀、第一气管、第二气管、第三气管和吸附组件，所述第一气管连通在所述控制阀和所述真空发生器的供气口之间，所述第二气管连通在所述控制阀和所述吸附组件之间，所述第三气管连通在所述吸附组件和所述单向阀的进气口之间，所述单向阀的出气口连通至所述真空发生器的真空口，所述控制阀在抽真空状态、保真空状态和泄真空状态之间可切换，所述控制阀处于所述抽真空状态时导通所述第一气管，所述控制阀处于所述泄真空状态时导通所述第二气管，所述控制阀处于所述保真空状态时封堵所述第一气管和所述第二气管。

2、示例性地，所述控制阀包括三位五通电磁阀，所述三位五通电磁阀具有第一口、第二口、第三口、第四口和第五口，所述第一口连通至所述气体入口，所述第二口为封闭口，所述第三口连通至所述气路自保持机构的外部，所述第四口连通至所述第一气管，所述第五口连通至所述第二气管，其中，所述三位五通电磁阀位于第一位时，所述第一口与所述第四口连通，所述第二口与所述第五口连通，对应地所述三位五通电磁阀处于所述抽真空状态；所述三位五通电磁阀位于第二位时，所述第一口与所述第五口连通，所述第三口与所述第四口连通，对应地所述三位五通电磁阀处于所述泄真空状态；所述三位五通电磁阀位于第三位时，所述第一口、所述第二口、所述第三口、所述第四口和所述第五口相互隔断，对应地所述三位五通电磁阀处于所述保真空状态。

3、示例性地，所述气路自保持机构还包括气路板，所述气路板包括第一气路、第二气路和第三气路，所述第一气路连通在所述气体入口和所述第一口之间，所述第二气路连通至所述第二口，所述第三气路连通在所述第三口和所述外部之间。

4、示例性地，所述第三气路和所述外部之间连通有消声器。

5、示例性地，所述气体入口和所述控制阀之间连通有调压阀。

6、示例性地，所述气路自保持机构还包括第四气管，所述第二气管和所述第三气管均通过所述第四气管连通至所述吸附组件，所述第四气管上设置有过滤器。

7、示例性地，所述第二气管上设置有调速阀。

8、示例性地，所述第三气管上设置有压力检测器。

9、示例性地，所述吸附组件包括并联的多个吸附件，所述第二气管和所述第三气管均连通至所述多个吸附件。

10、根据本实用新型的另一个方面，还提供了一种加工设备。该加工设备包括前述所述的气路自保持机构。

11、本实用新型实施例提供的气路自保持机构，一旦出现断电或者断气的情况时，控制阀可以立即切换至保真空状态。这样，控制阀可以封堵第一气管和第二气管。并且，单向阀可以封堵第三气管。因此，吸附组件可以继续吸附物料，从而避免物料掉落，进而避免物料以及其他部件造成损坏。以及，操作人员可以具有充足的时间进行干预。气路自保持机构应用至的设备(例如加工设备)的安全性较好。

12、在
技术实现要素：
中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本实用新型内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

13、以下结合附图，详细说明本实用新型的优点和特征。

技术特征：

1.一种气路自保持机构，具有气体入口，其特征在于，包括控制阀、真空发生器、单向阀、第一气管、第二气管、第三气管和吸附组件，所述第一气管连通在所述控制阀和所述真空发生器的供气口之间，所述第二气管连通在所述控制阀和所述吸附组件之间，所述第三气管连通在所述吸附组件和所述单向阀的进气口之间，所述单向阀的出气口连通至所述真空发生器的真空口，所述控制阀在抽真空状态、保真空状态和泄真空状态之间可切换，所述控制阀处于所述抽真空状态时导通所述第一气管，所述控制阀处于所述泄真空状态时导通所述第二气管，所述控制阀处于所述保真空状态时封堵所述第一气管和所述第二气管。

2.如权利要求1所述的气路自保持机构，其特征在于，所述控制阀包括三位五通电磁阀，所述三位五通电磁阀具有第一口、第二口、第三口、第四口和第五口，所述第一口连通至所述气体入口，所述第二口为封闭口，所述第三口连通至所述气路自保持机构的外部，所述第四口连通至所述第一气管，所述第五口连通至所述第二气管，其中，

3.如权利要求2所述的气路自保持机构，其特征在于，所述气路自保持机构还包括气路板，所述气路板包括第一气路、第二气路和第三气路，所述第一气路连通在所述气体入口和所述第一口之间，所述第二气路连通至所述第二口，所述第三气路连通在所述第三口和所述外部之间。

4.如权利要求3所述的气路自保持机构，其特征在于，所述第三气路和所述外部之间连通有消声器。

5.如权利要求1所述的气路自保持机构，其特征在于，所述气体入口和所述控制阀之间连通有调压阀。

6.如权利要求1所述的气路自保持机构，其特征在于，所述气路自保持机构还包括第四气管，所述第二气管和所述第三气管均通过所述第四气管连通至所述吸附组件，所述第四气管上设置有过滤器。

7.如权利要求1所述的气路自保持机构，其特征在于，所述第二气管上设置有调速阀。

8.如权利要求1所述的气路自保持机构，其特征在于，所述第三气管上设置有压力检测器。

9.如权利要求1所述的气路自保持机构，其特征在于，所述吸附组件包括并联的多个吸附件，所述第二气管和所述第三气管均连通至所述多个吸附件。

10.一种加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的气路自保持机构。

技术总结
本技术的实施例提供了一种气路自保持机构和加工设备。该气路自保持机构包括控制阀、真空发生器、单向阀、第一气管、第二气管、第三气管和吸附组件，控制阀在抽真空状态、保真空状态和泄真空状态之间可切换，控制阀处于抽真空状态时导通第一气管，处于泄真空状态时导通第二气管，处于保真空状态时封堵第一气管和第二气管。该气路自保持机构一旦出现断电或者断气情况时，控制阀可立即切换至保真空状态。这样，控制阀可封堵第一气管和第二气管。并且，单向阀可封堵第三气管。因此，吸附组件可继续吸附物料，避免物料掉落，避免物料及其他部件损坏。操作人员可具有充足时间进行干预。气路自保持机构应用至的设备的安全性较好。

技术研发人员：刘伟雄,陈先文
受保护的技术使用者：深圳镁伽科技有限公司
技术研发日：20221220
技术公布日：2024/1/12