差分真空系统控制装置的制作方法

本技术涉及精密质谱仪器，具体为差分真空系统控制装置。

背景技术：

1、大气气溶胶对环境以及人体健康有巨大的影响，越来越受到重视。大气气溶胶的来源以及演变复杂，深入研究其来源特性、理化性质以及演变机理困难。单颗粒气溶胶质谱仪作为一种新型的气溶胶分析仪器，能够从单个颗粒的层面上测量颗粒的尺寸大小和化学组成，对于研究大气颗粒物的种类、混合状态、演变过程及来源解析具有重要的作用。

2、在精密质谱仪器行业，离子源腔室与质量分析器腔室都处于高真空环境(10-5pa)，并且两个腔室空间差异较大。因离子源电离老化损耗的原因，较小的离子源腔室则需定期停机更换离子源，然而，由于大小两个腔室连通的原因，使重开机而达到所需稳定的高真空测试环境往往要十二小时以上，造成很大的成本及时间损耗，因此，设计实用性强和能够在定期停机更换离子源时，暂时将离子源腔室与质量分析器腔室隔断，可单独更换离子源，单独调试离子源腔室的真空环境，减少调试所需时间，减少成本及时间消耗的差分真空系统控制装置是很有必要的。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供差分真空系统控制装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：差分真空系统控制装置，包括差分真空系统，所述差分真空系统内部设有离子源腔室和质量分析器腔室，所述离子源腔室和质量分析器腔室交界处设有腔室间隔结构，所述差分真空系统上表面设有气囊式隔板滑动装配结构，且气囊式隔板滑动装配结构的下端插接于腔室间隔结构内，所述差分真空系统上表面固定装配有升降控制阀体，且升降控制阀体的活动部下端与气囊式隔板滑动装配结构上端固定连接，所述升降控制阀体上装配有按压式充放气结构，且按压式充放气结构输出端与气囊式隔板滑动装配结构的进气端固定连通。

3、根据上述技术方案，所述腔室间隔结构包括固定装配于离子源腔室和质量分析器腔室交界处的固定板、环形极板，所述固定板和环形极板之间形成导向槽，所述固定板上设有通过孔，所述气囊式隔板滑动装配结构的下端插接于导向槽内。

4、根据上述技术方案，所述气囊式隔板滑动装配结构包括纵向开设于差分真空系统上表面的条形通孔，且条形通孔下端与导向槽上端相连通，所述条形通孔内插接有挡板，所述挡板下端插接于导向槽内，且挡板下端抵靠在导向槽内腔底面上，所述挡板左右侧壁上侧涂覆有固体润滑层，所述挡板左右侧壁下侧粘贴固定有空腔气囊薄板，且空腔气囊薄板外侧面与导向槽同侧内壁紧密贴合，所述升降控制阀体的活动部下端与挡板上端中部固定连接，所述按压式充放气结构输出端与空腔气囊薄板的进气端固定连通。

5、根据上述技术方案，所述升降控制阀体包括固定装配于差分真空系统上表面的阀座，所述阀座中部滑动插接有阀杆，且阀杆下端与挡板上端中部固定连接，所述阀座上表面中部开设有圆槽，所述圆槽底面插接有密封圈，且密封圈包裹于阀杆外壁上，所述阀杆外壁套接有弹簧，所述弹簧插接于圆槽内，且弹簧下端抵靠在密封圈上，所述圆槽上端螺接有环形盖板，且环形盖板抵靠在弹簧上端，所述阀杆外壁上端固定套接有圆帽。

6、根据上述技术方案，所述按压式充放气结构包括固定装配于阀杆上端的按压气囊，所述按压气囊上设有单向进气阀和放气阀，所述按压气囊底面左右两侧固定连通有导气管，所述导气管贯穿阀杆与同侧所述空腔气囊薄板的进气端固定连通。

7、与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

8、本实用新型，通过设置有升降控制阀体对气囊式隔板滑动装配结构的升降进行控制，通过气囊式隔板滑动装配结构对腔室间隔结构左右两侧连通进行阻断，腔室间隔结构左右两端分别与离子源腔室和质量分析器腔室相连通，通过按压式充放气结构对气囊式隔板滑动装配结构内的空腔气囊薄板充气，使得空腔气囊薄板膨胀封堵与导向槽的间隙，保证离子源腔室和质量分析器腔室隔断的密闭性，暂时将离子源腔室与质量分析器腔室隔断，可单独更换离子源，单独调试离子源腔室的真空环境，减少调试所需时间，减少成本及时间的消耗。

技术特征：

1.差分真空系统控制装置，其特征在于：包括差分真空系统(1)，所述差分真空系统(1)内部设有离子源腔室(11)和质量分析器腔室(12)，所述离子源腔室(11)和质量分析器腔室(12)交界处设有腔室间隔结构(2)，所述差分真空系统(1)上表面设有气囊式隔板滑动装配结构(3)，且气囊式隔板滑动装配结构(3)的下端插接于腔室间隔结构(2)内，所述差分真空系统(1)上表面固定装配有升降控制阀体(4)，且升降控制阀体(4)的活动部下端与气囊式隔板滑动装配结构(3)上端固定连接，所述升降控制阀体(4)上装配有按压式充放气结构(5)，且按压式充放气结构(5)输出端与气囊式隔板滑动装配结构(3)的进气端固定连通。

2.根据权利要求1所述的差分真空系统控制装置，其特征在于：所述腔室间隔结构(2)包括固定装配于离子源腔室(11)和质量分析器腔室(12)交界处的固定板(21)、环形极板(23)，所述固定板(21)和环形极板(23)之间形成导向槽(24)，所述固定板(21)上设有通过孔(22)，所述气囊式隔板滑动装配结构(3)的下端插接于导向槽(24)内。

3.根据权利要求2所述的差分真空系统控制装置，其特征在于：所述气囊式隔板滑动装配结构(3)包括纵向开设于差分真空系统(1)上表面的条形通孔(32)，且条形通孔(32)下端与导向槽(24)上端相连通，所述条形通孔(32)内插接有挡板(31)，所述挡板(31)下端插接于导向槽(24)内，且挡板(31)下端抵靠在导向槽(24)内腔底面上，所述挡板(31)左右侧壁上侧涂覆有固体润滑层，所述挡板(31)左右侧壁下侧粘贴固定有空腔气囊薄板(33)，且空腔气囊薄板(33)外侧面与导向槽(24)同侧内壁紧密贴合，所述升降控制阀体(4)的活动部下端与挡板(31)上端中部固定连接，所述按压式充放气结构(5)输出端与空腔气囊薄板(33)的进气端固定连通。

4.根据权利要求3所述的差分真空系统控制装置，其特征在于：所述升降控制阀体(4)包括固定装配于差分真空系统(1)上表面的阀座(41)，所述阀座(41)中部滑动插接有阀杆(46)，且阀杆(46)下端与挡板(31)上端中部固定连接，所述阀座(41)上表面中部开设有圆槽(42)，所述圆槽(42)底面插接有密封圈(45)，且密封圈(45)包裹于阀杆(46)外壁上，所述阀杆(46)外壁套接有弹簧(44)，所述弹簧(44)插接于圆槽(42)内，且弹簧(44)下端抵靠在密封圈(45)上，所述圆槽(42)上端螺接有环形盖板(43)，且环形盖板(43)抵靠在弹簧(44)上端，所述阀杆(46)外壁上端固定套接有圆帽(47)。

5.根据权利要求4所述的差分真空系统控制装置，其特征在于：所述按压式充放气结构(5)包括固定装配于阀杆(46)上端的按压气囊(51)，所述按压气囊(51)上设有单向进气阀和放气阀，所述按压气囊(51)底面左右两侧固定连通有导气管(52)，所述导气管(52)贯穿阀杆(46)与同侧所述空腔气囊薄板(33)的进气端固定连通。

技术总结
本技术公开差分真空系统控制装置，通过设置有升降控制阀体对气囊式隔板滑动装配结构的升降进行控制，通过气囊式隔板滑动装配结构对腔室间隔结构左右两侧连通进行阻断，腔室间隔结构左右两端分别与离子源腔室和质量分析器腔室相连通，通过按压式充放气结构对气囊式隔板滑动装配结构内的空腔气囊薄板充气，使得空腔气囊薄板膨胀封堵与导向槽的间隙，保证离子源腔室和质量分析器腔室隔断的密闭性，暂时将离子源腔室与质量分析器腔室隔断，可单独更换离子源，单独调试离子源腔室的真空环境，减少调试所需时间，减少成本及时间的消耗。

技术研发人员：张林楠
受保护的技术使用者：沈阳善数试剂仪器设备有限公司
技术研发日：20221226
技术公布日：2024/1/12