一种用于放置单晶硅片的石英舟的制作方法

本技术涉及一种单晶硅片的生产加工，特别是一种用于放置单晶硅片的石英舟。

背景技术：

1、在单晶硅片的生产加工过程中，需要使用专用的清洗剂对硅片进行清洗操作，以确保硅片表面的洁净度。其操作为：将硅片固定并放置在石英舟上，然后将整个石英舟浸入专用的清洗剂中进行清洗。

2、现有的硅片石英舟均为一体成型式的石英结构。一般一个石英舟只能放置一种尺寸的硅片，不同尺寸的硅片需要不同的石英舟进行放置，比较麻烦。此外，硅片放置在石英舟上其固定效果不好，容易晃动，易造成硅片的碰撞，摩擦，影响硅片生产的质量及后续工序。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提出了一种可用于不同规格、结构简单可靠的用于放置单晶硅片的石英舟。

2、本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，一种用于放置单晶硅片的石英舟，其特点是：

3、包括左右两个侧板，在两个侧板相对的内表面固定有限位板，所述限位板竖向间隔设置，两个侧板上的限位板相对设置，相邻限位板之间构成单晶硅片竖向卡槽，在两个侧板之间设有底部限位条，底部限位条向上设有分隔槽，用于在竖直方向固定单晶硅片，所述分隔槽与所述两侧板上的卡槽的位置相对应设置，两个侧板之间通过左右紧固横梁连接。

4、本实用新型要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现，所述紧固横梁包括公梁和母梁，所述母梁上设有沿着其长度方向设置的横槽，所述公梁上设有装在母梁横槽内且可沿其横槽滑动的滑块，在母梁的自由端设有延至其横槽的螺纹孔，在螺纹孔内装有用于紧固滑块的夹紧螺栓。

5、本实用新型要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现，两个侧板之间通过四组紧固横梁连接。

6、本实用新型要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现，竖向卡槽内设有橡胶垫。

7、本实用新型要解决的技术问题还可以通过以下技术方案来进一步实现，所述底部限位条设有两条，分别固定在底部的两组紧固梁之间。

8、本实用新型的有益效果为：可以通过移动两侧侧板，来调节整个装置的宽度，以放置不同尺寸的单晶硅片。工作人员在将硅片放置好后，横向移动两侧侧板，使得两侧侧板夹紧硅片的两端，而后旋紧夹紧螺栓。硅片的两端正好卡在限位槽内的橡胶垫内，且在旋紧螺栓的作用下，橡胶垫紧紧的压着硅片，使得硅片固定的更稳定，不易晃动。

技术特征：

1.一种用于放置单晶硅片的石英舟，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的用于放置单晶硅片的石英舟，其特征在于：所述紧固横梁包括公梁和母梁，所述母梁上设有沿着其长度方向设置的横槽，所述公梁上设有装在母梁横槽内且可沿其横槽滑动的滑块，在母梁的自由端设有延至其横槽的螺纹孔，在螺纹孔内装有用于紧固滑块的夹紧螺栓。

3.根据权利要求1所述的用于放置单晶硅片的石英舟，其特征在于：两个侧板之间通过四组紧固横梁连接。

4.根据权利要求3所述的用于放置单晶硅片的石英舟，其特征在于：所述底部限位条设有两条，分别固定在底部的两组紧固梁之间。

5.根据权利要求1所述的用于放置单晶硅片的石英舟，其特征在于：竖向卡槽内设有橡胶垫。

技术总结
一种用于放置单晶硅片的石英舟，包括左右侧板，在两个侧板相对的内表面固定有限位板，限位板竖向间隔设置，两个侧板上的限位板相对设置，相邻限位板之间构成单晶硅片竖向卡槽，在两个侧板之间设有底部限位条，底部限位条向上设有分隔槽，用于在竖直方向固定单晶硅片，所述分隔槽与所述两侧板上的卡槽的位置相对应设置，两个侧板之间通过左右紧固横梁连接。所述紧固横梁包括公梁和母梁，所述母梁上设有沿着其长度方向设置的横槽，所述公梁上设有装在母梁横槽内且可沿其横槽滑动的滑块，在母梁的自由端设装有用于紧固滑块的夹紧螺栓。可以通过移动两侧侧板，来调节整个装置的宽度，以放置不同尺寸的单晶硅片。使得硅片固定的更稳定，不易晃动。

技术研发人员：徐源,徐煜清,徐传龙,冯维娥
受保护的技术使用者：江苏弘扬石英制品有限公司
技术研发日：20221227
技术公布日：2024/1/12