光半导体装置的制作方法

本发明涉及光半导体装置。

背景技术：

1、以往，已知在台面上具备加热器层的光半导体装置(专利文献1)。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2016-054168号公报

技术实现思路

1、-发明所要解决的课题-

2、在这种光半导体装置中，例如，如果能够避免由于设置有加热器层而产生的不良的现象，提高可靠性，则是有益的。

3、因而，本发明的课题之一是得到例如具备能够提高可靠性那样的改善的新结构的光半导体装置。

4、-用于解决课题的手段-

5、本发明的光半导体装置例如具备：基座，具有与第一方向交叉的表面；台面，从所述表面向第一方向突出，具有顶面和两个侧面，沿所述表面在与所述第一方向交叉的方向上延伸；以及加热器层，具有相对于所述顶面位于与所述基座相反的一侧的顶壁，并沿所述台面延伸，所述台面具有：第一台面，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；以及多个第二台面，从该第一台面分支，并进行延伸，以使得随着从该第一台面去往所述第二方向而在与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向上相互远离，所述第二台面具有：第一侧面，接近在所述第三方向上相邻的其他第二台面；以及第二侧面，远离该相邻的其他第二台面，所述加热器层具有：第一侧壁，进行延伸，以使得在至少一个所述第二台面中从远离所述第一台面的位置沿所述第一侧面远离该第一台面。

6、也可以，所述半导体装置具备覆盖所述加热器层的被覆层。

7、在所述光半导体装置中，也可以，所述第一侧壁从与设置该第一侧壁的所述第二台面相邻的另外第二台面或者设置于该另外第二台面的加热器层分离。

8、在所述光半导体装置中，也可以，所述加热器层具有：第一部位，远离所述第一台面并具有所述第一侧壁；以及第二部位，比该第一部位更靠近所述第一台面，没有所述第一侧壁。

9、在所述光半导体装置中，也可以，所述加热器层具有沿与所述第一侧面相反的一侧的第二侧面延伸的第二侧壁。

10、在所述光半导体装置中，也可以，所述加热器层具有：沿所述第一台面延伸的第一加热器层；和与该第一加热器层相连并沿所述第二台面延伸的第二加热器层，所述第二加热器层在设置该第二加热器层的所述第二台面的与所述第一台面相邻的端部，从相邻的另外第二台面或者设置于该另外第二台面的加热器层隔开间隔而设置。

11、在所述光半导体装置中，也可以，在从所述第一方向的相反方向观察的情况下，所述第二加热器层具有：比所述第二侧面更靠近所述第一侧面的宽度方向的第一端缘；比所述第一侧面更靠近所述第二侧面的宽度方向的第二端缘；远离所述第一台面的第三部位；和位于该第三部位与所述第一台面之间并且所述第一端缘位于比所述第三部位更靠近所述第二侧面的一侧的第四部位。

12、在所述光半导体装置中，也可以，在沿所述第一方向的相反方向观察的情况下，所述第二加热器层具有比所述第二侧面更靠近所述第一侧面的宽度方向的第一端缘和比所述第一侧面更靠近所述第二侧面的宽度方向的第二端缘，并且所述第一端缘随着接近所述第一台面而接近所述第二侧面。

13、在所述光半导体装置中，也可以是，在沿所述第一方向的相反方向观察的情况下，所述第二加热器层在该第二加热器层的整个区域中从所述第一侧面向接近所述第二侧面的一侧远离，并且靠近该第二侧面而设置。

14、在所述光半导体装置中，也可以是，在沿所述第一方向的相反方向观察的情况下，所述第一加热器层以比所述第二加热器层宽的宽度沿所述第一台面延伸。

15、本发明的光半导体装置例如具备：基座，具有与第一方向交叉的表面；台面，从所述表面向第一方向突出，具有顶面和两个侧面，沿所述表面在与所述第一方向交叉的方向上延伸；以及加热器层，具有相对于所述顶面位于与所述基座相反的一侧的顶壁，并沿所述台面延伸，所述台面具有：第一台面，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；多个第二台面，在该第一台面的所述第二方向的端部从该第一台面分支，并进行延伸，以使得随着从该第一台面去往所述第二方向而在与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向上相互远离；以及多个第三台面，在所述第一台面的所述第二方向的相反方向的端部从该第一台面分支，并进行延伸，以使得随着从该第一台面去往所述第二方向的相反方向而在所述第三方向上相互远离，所述第二台面以及所述第三台面分别具有接近在所述第三方向上相邻的其他第二台面或者其他第三台面的第一侧面、以及远离该相邻的其他第二台面或者其他第三台面的第二侧面，所述加热器层不设置于所述第一台面，具有：第二加热器层，设置于所述第二台面中的远离所述第一台面的部位；以及第三加热器层，设置于所述第三台面中的远离所述第一台面的部位，所述第二加热器层以及所述第三加热器层具有沿所述第一侧面延伸的第一侧壁以及沿所述第二侧面延伸的第二侧壁中的至少一方。

16、在所述光半导体装置中，也可以是，所述加热器层由热电材料制成，所述第二加热器层与所述第三加热器层串联或者并联电连接。

17、也可以是，所述光半导体装置具备布线层，该布线层沿所述第一台面延伸，并且将所述第二加热器层与所述第三加热器层电连接。

18、本发明的光半导体装置例如具备：基座，具有与第一方向交叉的表面；台面，从所述表面向第一方向突出，具有顶面和两个侧面，沿所述表面在与所述第一方向交叉的方向上延伸；以及加热器层，具有相对于所述顶面位于与所述基座相反的一侧的顶壁，并沿所述台面延伸，所述台面具有：第一台面，在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸；以及多个第二台面，从该第一台面分支，并进行延伸，以使得随着从该第一台面去往所述第二方向而在与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向上相互远离，所述第二台面具有：第一侧面，接近在所述第三方向上相邻的其他第二台面；以及第二侧面，远离该相邻的其他第二台面，所述加热器层具有：第一加热器层，沿所述第一台面延伸；以及第二加热器层，与该第一加热器层相连并沿所述第二台面延伸，所述第二加热器层在设置该第二加热器层的所述第二台面的与所述第一台面相邻的端部，与相邻的另外第二台面隔开间隔地设置。

19、在所述光半导体装置中，也可以是，所述多个第二台面中的一个在沿所述第一方向的相反方向观察的情况下弯曲，构成周状的台面的一部分。

20、在所述光半导体装置中，也可以是，所述周状的台面构成环形谐振器。

21、在所述光半导体装置中，也可以是，在沿所述第一方向的相反方向观察的情况下，所述多个第二台面中的一个至少在与所述第一台面相邻的部位直线状延伸。

22、在所述光半导体装置中，也可以是，所述第一台面构成多模干涉波导路。

23、-发明效果-

24、根据本发明，例如能够得到具备能够提高可靠性那样的改善的新结构的光半导体装置。

技术特征：

1.一种光半导体装置，具备：

2.根据权利要求1所述的光半导体装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的光半导体装置，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光半导体装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光半导体装置，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光半导体装置，其中，

7.根据权利要求6所述的光半导体装置，其中，

8.根据权利要求6或者7所述的光半导体装置，其中，

9.根据权利要求6所述的光半导体装置，其中，

10.根据权利要求6～9中任一项所述的光半导体装置，其中，

11.一种光半导体装置，具备：

12.根据权利要求11所述的光半导体装置，其中，

13.根据权利要求12所述的光半导体装置，其中，

14.一种光半导体装置，具备：

15.根据权利要求1～14中任一项所述的光半导体装置，其中，

16.根据权利要求15所述的光半导体装置，其中，

17.根据权利要求1～14中任一项所述的光半导体装置，其中，

18.根据权利要求1～17中任一项所述的光半导体装置，其中，

技术总结
光半导体装置例如具备：台面，从基座的表面向第一方向突出并在与第一方向交叉的方向上延伸；以及加热器层，具有相对于台面的顶面位于与基座相反的一侧的顶壁，沿台面延伸，台面具有：第一台面，沿第二方向延伸；以及多个第二台面，从该第一台面分支，并延伸，以使得随着从该第一台面去往第二方向而在第三方向上相互远离，第二台面具有：第一侧面，接近在第三方向上相邻的其他第二台面；以及第二侧面，远离该相邻的其他第二台面，加热器层具有第一侧壁，在至少一个第二台面从远离第一台面的位置沿第一侧面延伸，以使得远离该第一台面。

技术研发人员：八尾健一郎,若叶昌布,铃木理仁
受保护的技术使用者：古河电气工业株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15