透明导电性薄膜的制作方法

本发明涉及透明导电性薄膜。

背景技术：

1、已知有在厚度方向的一侧依次具备基材、第1无机氧化物层、金属层和第2无机氧化物层的透明导电性薄膜(例如，参照下述专利文献1。)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开平05-334924号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、透明导电性薄膜有时在高温高湿下长期使用。在该情况下，也要求高的耐腐蚀性。

3、根据用途及目的，对透明导电性薄膜要求对红外线更高的反射率。

4、本发明提供耐腐蚀性优异、对红外线的反射率高的透明导电性薄膜。

5、用于解决问题的方案

6、本发明(1)包含一种透明导电性薄膜，其朝向厚度方向的一侧依次具备基材和结晶质透明导电层，前述结晶质透明导电层含有原子序数比氩大的稀有气体，前述结晶质透明导电层的载流子密度为13.0×1020(/cm3)以上。

7、该透明导电性薄膜不具备专利文献1中记载的金属层，而是具备结晶质透明导电层，因此耐腐蚀性优异。

8、另外，该透明导电性薄膜中，结晶质透明导电层的载流子密度高，为13.0×1020(/cm3)以上，因此能够有助于红外线的反射的载流子量多。因此，对红外线的反射率高。

9、本发明(2)包含(1)所述的透明导电性薄膜，其中，前述结晶质透明导电层为无机氧化物层。

10、发明的效果

11、本发明的透明导电性薄膜的耐腐蚀性优异，对红外线的反射率高。

技术特征：

1.一种透明导电性薄膜，其朝向厚度方向的一侧依次具备基材和结晶质透明导电层，

2.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其中，所述结晶质透明导电层为无机氧化物层。

技术总结
透明导电性薄膜(1)朝向厚度方向的一侧依次具备基材(2)和结晶质透明导电层(3)。结晶质透明导电层(3)含有原子序数比氩大的稀有气体。结晶质透明导电层(3)的载流子密度为13.0×10<supgt;20</supgt;(/cm<supgt;3</supgt;)以上。

技术研发人员：鸦田泰介,藤野望
受保护的技术使用者：日东电工株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15