绝缘变压器的制作方法

本公开涉及绝缘变压器。

背景技术：

1、作为对晶体管等开关元件的栅极施加栅极电压的栅极驱动器，已知有例如绝缘型栅极驱动器。例如在专利文献1中，记载了作为具有变压器的绝缘型栅极驱动器的半导体集成电路，该变压器具有初级侧的第一线圈以及次级侧的第二线圈。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2018-78169号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、然而，关于对经由上述变压器传递的信号的影响，存在改善的余地。

3、用于解决课题的手段

4、本公开的一方式的绝缘变压器，具有：绝缘层；变压器，其具有第一线圈和第二线圈，其中，所述第一线圈埋入到所述绝缘层，并具有第一信号端和第一接地端，所述第一线圈构成为能够对所述第一信号端施加低压，所述第二线圈配置成在所述绝缘层的厚度方向上与所述第一线圈分离，并具有第二信号端和第二接地端，所述第二线圈构成为能够对所述第二信号端施加高压；以及电容器，其具有第一电容器电极和第二电容器电极，其中，所述第一电容器电极配置在所述第一线圈与所述第二线圈之间，并与所述第一接地端连接，所述第二电容器电极配置在所述第一电容器电极与所述第二线圈之间，并与所述第二接地端连接，所述绝缘层具有：在所述厚度方向上交替层叠的多个薄膜和多个层间绝缘膜，多个所述薄膜包含：在所述厚度方向上相互分离的第一薄膜和第二薄膜，多个所述层间绝缘膜包含：在所述厚度方向上与所述第一薄膜相邻的第一层间绝缘膜、在所述厚度方向上与所述第二薄膜相邻的第二层间绝缘膜，所述第一电容器电极形成于所述第一薄膜与所述第一层间绝缘膜之间，所述第二电容器电极形成于所述第二薄膜与所述第二层间绝缘膜之间。

5、本公开的一方式的栅极驱动器，其对开关元件的栅极施加驱动电压信号，所述栅极驱动器具有：低压电路芯片，其构成为通过被施加第一电压而进行动作；高压电路芯片，其构成为通过被施加比所述第一电压高的第二电压而进行动作；以及变压器芯片，其连接在所述低压电路芯片与所述高压电路芯片之间，所述变压器芯片具有：绝缘层；变压器，其具有埋入到所述绝缘层，并在所述绝缘层的厚度方向上分离地配置的第一线圈和第二线圈；以及电容器，其具有第一电容器电极和第二电容器电极，其中，所述第一电容器电极配置在所述第一线圈与所述第二线圈之间，并与所述第一线圈的第一接地端连接，所述第二电容器电极配置在所述第一电容器电极与所述第二线圈之间，并与所述第二线圈的第二接地端连接，所述绝缘层具有：在所述厚度方向上交替层叠的多个薄膜和多个层间绝缘膜，多个所述薄膜包含：在所述厚度方向上相互分离的第一薄膜和第二薄膜，多个所述层间绝缘膜包含：在所述厚度方向上与所述第一薄膜相邻的第一层间绝缘膜、在所述厚度方向上与所述第二薄膜相邻的第二层间绝缘膜，所述第一电容器电极形成于所述第一薄膜与所述第一层间绝缘膜之间，所述第二电容器电极形成于所述第二薄膜与所述第二层间绝缘膜之间。

6、本公开的一方式的绝缘模块，其用于将栅极驱动器所包含的低压电路与高压电路绝缘，并具有连接在所述低压电路与所述高压电路之间的变压器芯片，所述栅极驱动器对开关元件的栅极施加驱动电压信号，所述变压器芯片具有：绝缘层；变压器，其具有埋入到所述绝缘层，并在所述绝缘层的厚度方向上分离地配置的第一线圈和第二线圈；以及电容器，其具有第一电容器电极和第二电容器电极，其中，所述第一电容器电极配置在所述第一线圈与所述第二线圈之间，并与所述第一线圈的第一接地端连接，所述第二电容器电极配置在所述第一电容器电极与所述第二线圈之间，并与所述第二线圈的第二接地端连接，所述绝缘层具有：在所述厚度方向上交替层叠的多个薄膜和多个层间绝缘膜，多个所述薄膜包含：在所述厚度方向上相互分离的第一薄膜和第二薄膜，多个所述层间绝缘膜包含：在所述厚度方向上与所述第一薄膜相邻的第一层间绝缘膜、在所述厚度方向上与所述第二薄膜相邻的第二层间绝缘膜，所述第一电容器电极形成于所述第一薄膜与所述第一层间绝缘膜之间，所述第二电容器电极形成于所述第二薄膜与所述第二层间绝缘膜之间。

7、发明效果

8、根据本公开的一方式，可以提供一种能够降低针对要传递的信号的影响的绝缘变压器。

技术特征：

1.一种绝缘变压器，具有：

2.根据权利要求1所述的绝缘变压器，其中，

3.根据权利要求1所述的绝缘变压器，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的绝缘变压器，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的绝缘变压器，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的绝缘变压器，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的绝缘变压器，其中，

8.根据权利要求7所述的绝缘变压器，其中，

9.根据权利要求8所述的绝缘变压器，其中，

10.根据权利要求7所述的绝缘变压器，其中，

11.根据权利要求8或9所述的绝缘变压器，其中，

12.根据权利要求8或9所述的绝缘变压器，其中，

13.根据权利要求11或12所述的绝缘变压器，其中，

14.根据权利要求11或12所述的绝缘变压器，其中，

15.根据权利要求11～14中任一项所述的绝缘变压器，其中，

16.根据权利要求11～14中任一项所述的绝缘变压器，其中，

17.根据权利要求15或16所述的绝缘变压器，其中，

18.根据权利要求15或16所述的绝缘变压器，其中，

19.根据权利要求4所述的绝缘变压器，其中，

技术总结
一种绝缘变压器，具有：绝缘层、变压器、以及具有第一电容器电极和第二电容器电极的电容器。变压器具有第一线圈和第二线圈，第一线圈具有第一信号端和第一接地端，并构成为能够对第一信号端施加低压，第二线圈配置成在绝缘层的厚度方向上与第一线圈分离，并具有第二信号端和第二接地端，第二线圈构成为能够对第二信号端施加高压。绝缘层具有在厚度方向上交替层叠的多个薄膜和多个层间绝缘膜，多个薄膜包含在厚度方向上彼此分离的第一薄膜和第二薄膜，多个层间绝缘膜包含在厚度方向上与第一薄膜相邻的第一层间绝缘膜和在厚度方向上与第二薄膜相邻的第二层间绝缘膜，第一电容器电极形成于第一薄膜与第一层间绝缘膜之间，第二电容器电极形成于第二薄膜与第二层间绝缘膜之间。

技术研发人员：田中文悟
受保护的技术使用者：罗姆股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16