处理系统、管理装置以及日志取得方法与流程

本公开涉及处理系统、管理装置以及日志取得方法。

背景技术：

1、具有检查半导体器件的多个测试器的检查装置，按每个测试器存储多种日志信息(事件日志、诊断日志、系统日志等)。例如，日志信息由用户从测试器取出，用于测试器的故障的处理和维护等。

2、在专利文献1中，公开了通过将具有日志取得命令的usb存储器(外部存储装置)与检查装置连接，从检查装置的存储部向usb存储器存储日志的技术。

3、【现有技术文献】

4、【专利文献】

5、【专利文献1】日本特开2014-22552号公报

技术实现思路

1、【发明所要解决的课题】

2、本发明提供一种能够安全地取得所选择的测试器的日志信息并减轻日志取得的工作负担的技术。

3、【解决课题的手段】

4、根据本公开的一个方式，提供一种处理系统，具备：进行半导体器件的检查的多个测试器；以及连接为能在与所述多个测试器之间进行信息通信的管理装置，其中，所述多个测试器的每一个，具有在高度方向上配置多个、且存储与所述测试器的状态相关的日志信息的测试器侧存储部，所述管理装置，具有日志请求取得部，对选择了所述多个测试器的全部或所述多个测试器的一部分的一个以上的选择测试器，一并输出请求所述日志信息的请求命令，从接收到所述请求命令的所述选择测试器取得所述日志信息，所述多个测试器以及所述管理装置中的一方具有认证部，判断所述选择测试器具有的测试器侧识别信息、与所述管理装置具有的所述选择测试器的管理识别信息是否一致，所述管理装置，在接收到所述请求命令的所述选择测试器的认证部或所述管理装置的认证部判定为所述测试器侧识别信息与所述管理识别信息一致的情况下，进行所述日志信息的取得，在接收到所述请求命令的所述选择测试器的认证部或所述管理装置的认证部判定为所述测试器侧识别信息与所述管理识别信息不一致的情况下，将所述管理装置对所述日志信息的取得设为禁止。

5、【发明的效果】

6、根据本公开，能够安全地取得所选择的测试器的日志信息，减轻日志取得的作业负担。

技术特征：

1.一种处理系统，具备：进行半导体器件的检查的多个测试器；以及连接为能在与所述多个测试器之间进行信息通信的管理装置，其中，

2.根据权利要求1所述的处理系统，其中，

3.根据权利要求1或2所述的处理系统，其中，

4.根据权利要求3所述的处理系统，其中，

5.根据权利要求1所述的处理系统，其中，

6.根据权利要求5所述的处理系统，其中，

7.根据权利要求1所述的处理系统，其中，

8.根据权利要求7所述的处理系统，其中，

9.一种管理装置，连接为能在与进行半导体器件的检查的多个测试器之间进行信息通信，具有：

10.一种处理系统的日志取得方法，该处理系统具备：进行半导体器件的检查的多个测试器；以及连接为能在与所述多个测试器之间进行信息通信的管理装置，其中，

技术总结
一种处理系统，具备：进行半导体器件的检查的多个测试器；以及连接为能在与多个测试器之间进行信息通信的管理装置。多个测试器的每一个，具有在高度方向上配置多个、且存储与测试器的状态相关的日志信息的测试器侧存储部。管理装置，对选择了多个测试器的全部或多个测试器的一部分的一个以上的选择测试器，一并输出请求日志信息的请求命令，从接收到请求命令的选择测试器取得日志信息。管理装置，在认证部判定为测试器侧识别信息与管理识别信息一致的情况下，进行日志信息的取得，在认证部判定为测试器侧识别信息与管理识别信息不一致的情况下，将管理装置对日志信息的取得设为禁止。

技术研发人员：黑田美世子
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15