太阳能电池的处理方法和太阳能电池与流程

本发明涉及光伏，更具体地，涉及一种太阳能电池的处理方法和太阳能电池。

背景技术：

1、近年来，太阳能电池技术在不断进步，例如，近年出现的topcon电池，由于其优异的钝化性能备受大家的青睐。topcon(tunnel oxide passivation contact)电池全称为隧穿氧化钝化接触电池，其核心在于背面超薄的隧穿氧化层以及重掺杂的多晶硅层，可以有效改善晶硅电池的钝化，降低电池的背面金属复合，还可以有效降低背面接触电阻率，从而提高电池的转换效率。

2、除传统的topcon电池技术外，选择性发射极(selective emitter，se)结构是晶体硅太阳能电池生产工艺中实现高效率的方法之一，topcon电池的制备开始引入选择性发射极技术，通过在栅线区域进行重掺杂以形成高掺杂、深扩散区，在非栅线区域进行轻掺杂以形成低掺杂浅扩散区，实现对发射区的优化，这样可以降低扩散层的复合，降低金属化的接触电阻，提高开路电压、短路电流和填充因子，提高了太阳能电池的光电转换效率。

3、目前，具有选择性发射极结构的topcon电池已逐步向量产化发展，然而生产过程中也极易引入各种缺陷造成电池的电致发光测试不良，导致良品率下降，其中，十字交叉状黑点缺陷是电池片主要的电致发光缺陷之一，其产生的主要原因是电池片的背表面附着一定尺寸(≥5μm)一定硬度的颗粒物。研究发现，高温扩散(氧化)工艺前，硅片背表面对颗粒物容忍度极低，对于湿法刻蚀后高温扩散(氧化)前的硅片来说，外部环境洁净度越差、硅片暴露时间越长、附着颗粒物尺寸越大，对十字交叉状黑点缺陷的影响越严重。

4、因此，亟需提供一种太阳能电池的处理方法和太阳能电池以改善十字交叉状黑点缺陷频繁出现的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种太阳能电池的处理方法和太阳能电池。

2、一方面，本发明提供了一种太阳能电池的处理方法，包括：

3、提供硅衬底，所述硅衬底包括沿第一方向上相对设置的第一表面和第二表面；

4、对所述第一表面进行制绒和扩散处理，在所述第一表面形成掺杂层；

5、对所述掺杂层进行激光掺杂得到待处理硅片；

6、对所述待处理硅片进行氧化处理，包括：

7、将所述待处理硅片装入石英舟内；

8、将所述石英舟输送至炉管内；

9、对所述炉管进行抽真空处理；

10、消融所述待处理硅片表面的附着颗粒或减小所述待处理硅片表面的附着颗粒的尺寸；

11、生长附加氧化层，将所述待处理硅片表面的附着颗粒固化于所述附加氧化层；

12、去除所述附加氧化层。

13、另一方面，本发明还提供了一种太阳能电池，采用上述所述太阳能电池的处理方法进行处理。

14、与现有技术相比，本发明提供的太阳能电池的处理方法，至少实现了如下的有益效果：

15、本发明提供的太阳能电池的处理方法包括：提供硅衬底，硅衬底包括沿第一方向上相对设置的第一表面和第二表面；对第一表面进行制绒和扩散处理，在第一表面形成掺杂层；对掺杂层进行激光掺杂得到待处理硅片；对待处理硅片进行氧化处理，包括：将待处理硅片装入石英舟内；将石英舟输送至炉管内；对炉管进行抽真空处理；消融待处理硅片表面的附着颗粒或减小待处理硅片表面的附着颗粒的尺寸，通过通入能与待处理硅片附着的颗粒物反应的物质，使其与颗粒物发生化学反应实现颗粒物的去除或是减小颗粒物的尺寸；生长附加氧化层，将待处理硅片表面的附着颗粒固化于附加氧化层；去除附加氧化层，通过生长附加氧化层能够快速地将颗粒物锁死于附加氧化层内，当去除附加氧化层时，待处理硅片附着的颗粒物能够随附加氧化层一同去除，从而改善由于待处理硅片表面存在附着颗粒物导致的十字交叉状黑点的问题，提升太阳能电池的质量。

16、当然，实施本发明的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

17、通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

技术特征：

1.一种太阳能电池的处理方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述消融所述待处理硅片表面的附着颗粒或减小所述待处理硅片表面的附着颗粒的尺寸，包括：

3.根据权利要求2所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述反应物为二氯乙烯或氯气。

4.根据权利要求2所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述生长附加氧化层，包括恒温氧化过程，所述恒温氧化过程包括：

5.根据权利要求4所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述恒温氧化过程之后还包括降温氧化过程，所述降温氧化过程包括：

6.根据权利要求4所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述携带水蒸气的氧气中的水汽温度为70℃至95℃。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，在所述生长附加氧化层之后，还包括：

8.根据权利要求1所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述将所述石英舟输送至炉管内，包括：

9.根据权利要求1所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述对所述炉管进行抽真空处理，包括：

10.根据权利要求1所述的太阳能电池的处理方法，其特征在于，所述消融所述待处理硅片表面的附着颗粒或减小所述待处理硅片表面的附着颗粒的尺寸，和/或，所述生长所述附加氧化层，在压力范围为600mbar至800mbar的条件下进行。

11.一种太阳能电池，其特征在于，采用权利要求1-10中任一项所述太阳能电池的处理方法进行处理。

技术总结
本发明公开了一种太阳能电池的处理方法和太阳能电池，太阳能电池的处理方法包括：对所述待处理硅片进行氧化处理，包括：消融所述待处理硅片表面的附着颗粒或减小所述待处理硅片表面的附着颗粒的尺寸；生长附加氧化层，将所述待处理硅片表面的附着颗粒固化于所述附加氧化层；去除所述附加氧化层。通过通入能与待处理硅片附着的颗粒物反应的物质，使其与颗粒物发生化学反应，实现颗粒物的去除或是减小颗粒物的尺寸；通过生长附加氧化层能够快速地将颗粒物固定于附加氧化层内，当去除附加氧化层时，待处理硅片附着的颗粒物能够随附加氧化层一同去除，从而改善由于待处理硅片表面存在附着颗粒物导致的十字交叉状黑点的问题，提升太阳能电池的质量。

技术研发人员：王健达,刘长明,王晓凡,于琨
受保护的技术使用者：浙江晶科能源有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13