带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正的制作方法

该领域涉及带电粒子束显微术(microcopy)。

背景技术：

1、透射电子显微术(tem)是一种技术，其中电子束透射(transmit)通过薄样本以形成图像。当电子透射通过样本时，通过电子与样本的原子的相互作用形成图像。图像可以由照相机捕捉。由于透射电子的小波长，tem能够产生高分辨率图像。足够高分辨率的图像可用于在原子尺度上研究和分析样本的结构细节。然而，显微镜中的光学像差(opticalaberration)可以限制图像的分辨率。

技术实现思路

技术特征：

1.一种系统，包括：

2.根据权利要求1所述的系统，其中一个或多个计算机可读存储介质还存储指令，所述指令在由一个或多个处理器执行时使一个或多个处理器确定图像序列中的引起的图像变化并且从引起的图像变化确定一个或多个光学像差值的集合以及对应于引起的图像变化的应用的束倾斜的时间序列。

3.根据权利要求1所述的系统，其中一个或多个计算机可读存储介质还存储指令，所述指令在由一个或多个处理器执行时使一个或多个处理器基于一个或多个光学像差值的集合确定针对一个或多个光学部件的一个或多个光学校正。

4.根据权利要求1所述的系统，其中一个或多个计算机可读存储介质还存储指令，所述指令在由一个或多个处理器执行时使一个或多个处理器基于一个或多个光学像差值的集合的准确度、图像序列中的图像的质量和捕捉图像序列时的外部干扰中的一个或多个确定对图案生成器生成的图案的调整。

5.根据权利要求1所述的系统，其中图案生成器被配置为生成周期性图案。

6.一种方法，包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其中，图案是周期性图案。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，周期性图案是lissajous图。

9.根据权利要求6所述的方法，还包括从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合。

10.根据权利要求9所述的方法，其中图像改变包括引起的图像变化，并且其中从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合包括测量图像序列中中的连续图像之间的引起的图像变化。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合还包括将引起的图像变化拟合到光学像差模型，所述光学像差模型描述引起的图像变化、束倾斜和一个或多个光学像差的集合之间的关系。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，光学像差模型合并图案和图像序列之间的未知时间延迟。

13.根据权利要求9所述的方法，其中，从图像序列生成带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学像差值的集合包括估计散焦、二重像散、三重像散、四重像散、五重像散、六重像散、轴向彗差、五阶轴向彗差、球差、六阶球差、星差、六阶星差、三叶像差和玫瑰像差中的一个或多个的值。

14.根据权利要求9所述的方法，还包括基于一个或多个光学像差值的集合来确定针对带电粒子束显微镜系统的光学校正。

15.根据权利要求14所述的方法，还包括将针对带电粒子束显微镜系统的光学校正应用于带电粒子束显微镜系统的一个或多个光学部件。

16.根据权利要求9所述的方法，还包括基于一个或多个光学像差值的集合的准确度、图像序列中的图像的质量和捕捉图像序列时的外部干扰中的一个或多个调整图案。

17.一种操作带电粒子束显微镜系统的方法，所述方法包括：

18.根据权利要求17所述的方法，其中，第一集合包括散焦。

19.根据权利要求17所述的方法，其中，第二集合包括彗差或像散。

20.根据权利要求17所述的方法，其中，基于第一输入集合确定第一光学像差输出集合包括确定第二集合中的一个或多个光学像差的至少一些值，并且其中，包括在第二输入集合中的第一光学像差输出集合中的至少一些包括所述至少一些值。

技术总结
带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正。带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作。在操作期间，带电粒子束微系统将带电粒子束引导至样本以产生图像。将束倾斜的时间序列以图案应用于被引导到样本的带电粒子束以产生图像的序列。在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时，捕捉图像序列中的至少一些图像。该图案被配置成引起图像序列中的图像之间的图像改变，其指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差。

技术研发人员：E·弗兰肯,B·J·詹森
受保护的技术使用者：FEI 公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14