晶圆盒载具、晶圆盒清洗设备及晶圆盒清洗的方法与流程

本申请涉及晶圆盒处理装置，具体涉及一种晶圆盒载具、晶圆盒清洗设备及晶圆盒清洗的方法。

背景技术：

1、晶圆盒，顾名思义用于盛放晶圆，而晶圆盒载具则为晶圆盒的载体。由于晶圆所要求的洁净程度较高，相对应的，晶圆盒的洁净程度也具有一定的要求。

2、随着清洗技术的不断发展和智能化水平的提高，晶圆盒的清洗技术也在不断地完善和发展。

3、在现有技术中，传统的晶圆盒清洗方法往往通过喷淋或浸泡的方式进行。然而，由于晶圆盒的主体部件中往往具有至少一个具有开口的部件，使用传统的清洗载具和清洗方法时容易存在以下问题：首先，当晶圆盒具有开口的部件以开口向下的方式浸入清洗液中时，部件与清洗液形成的空腔内的空气无法顺利排出，导致清洗效果不佳。为了解决这个问题，现有技术中需要设计一整套专门的排气机构来排出空气，增加了设备的复杂度和成本。其次，当晶圆盒具有开口的部件以开口向上的方式在清洗液中清洗时，当晶圆盒部件清洗完成后，从清洗液中提取出晶圆盒时，容纳在晶圆盒开口空腔内的液体往往无法彻底排出，不仅增加了提升机构的负担，也给后续的处理工序带来不便。

技术实现思路

1、本申请提供了一种晶圆盒载具，包含该载具的晶圆盒清洗设备及使用该晶圆盒载具进行晶圆盒清洗的方法，旨在解决现有技术中晶圆盒载具存在的结构复杂、操作成本高、晶圆盒部件与清洗液接触不充分、清洗液排出困难等技术问题。本申请公开的晶圆盒载具不仅结构简单，且具有高效的清洗能力，能够通过载具的转动使得清洗时晶圆盒部件内壁与清洗液充分接触，从而提高清洗效果，清洗结束后清洗液可以彻底排出，防止对后续的处理工序带来不便。

2、本申请提供如下技术方案：一种晶圆盒载具，用于承载拆解后的晶圆盒的多个部件，以对所述多个部件进行浸没清洗，所述多个部件包括至少一个具有开口的部件；所述载具包括：

3、架体；

4、安装架，与所述架体通过轴承连接，用于安置所述具有开口的部件，可在外力作用下相对于所述架体转动以带动具有开口的所述部件转动；

5、驱动装置，用于驱动所述安装架的转动。

6、可选地，所述安装架被配置为：

7、可以被驱动转动至第一位置，以使得当从清洗液中被提出时，所述晶圆盒的部件内的液体能够被彻底排出。

8、可选地，所述安装架被配置为：

9、可以被驱动转动至第二位置，以使得当所述安装架被浸入清洗液中时，所述晶圆盒的部件内的空气能够被彻底排出。

10、可选地，所述晶圆盒载具还包括一个或多个限位机构，以控制安装架转动至第一位置后停止，和控制安装架转动至第二位置后停止。

11、可选地，所述晶圆盒载具还包括锁定机构，所述锁定机构用于限制所述安装架转动；所述锁定机构被配置为，当所述安装架被浸入清洗液中时，所述锁定机构解除所述安装架的限制。

12、可选地，所述驱动装置通过接收外部输入能量，和/或通过自身与环境的相互作用，以驱动所述安装架的转动。

13、可选地，所述通过接收外部输入能量的驱动装置具体配置为：包括电机，连接所述电机和所述安装架的传动机构；

14、所述电机通过传动机构驱动所述安装架的转动。

15、可选地，所述通过自身与环境的相互作用的驱动装置具体配置为：包括翻转机构、浮力机构和/或配重机构；

16、所述翻转机构，适于在外力作用下转动并带动所述安装架转动；

17、所述浮力机构，当所述载具进入清洗液后，受到清洗液的浮力作用，为所述翻转机构提供外力，驱动所述安装架转动至所述第二位置，使得所述安装架上的所述具有开口的部件内的空气被彻底排出；

18、所述配重机构，当载具脱离清洗液后，驱动所述安装架转动至所述第一位置，使得所述安装架上的所述具有开口的部件内的液体被彻底排出。

19、可选地，所述翻转机构还包括与所述浮力机构连接的翻转件，所述翻转件与所述轴承连接；

20、所述翻转件被配置为，转动时能够带动所述轴承转动，从而带动所述安装架上所述具有开口的部件转动。

21、本申请还公开一种晶圆盒清洗设备，包括如上述中任一项所述的晶圆盒载具。

22、本申请还公开一种晶圆盒清洗的方法，使用如上述中任一项所述的晶圆盒载具,包括以下步骤：

23、步骤一：晶圆盒被拆解后，将具有开口的部件固定安置在晶圆盒载具的安装架上，使其能够跟随安装架运动；

24、步骤二：将晶圆盒载具逐渐浸入清洗液中；

25、步骤三：当清洗工序完成后，晶圆盒载具逐渐被提升直至脱离清洗液，驱动装置驱动所述安装架逐渐转动至第一位置，以使得所述晶圆盒的部件内的液体被彻底排出。

26、可选地，所述步骤二还包括：将晶圆盒载具逐渐浸入清洗液中，驱动装置驱动所述安装架逐渐转动至第二位置，以使得所述晶圆盒的部件内的空气被彻底排出。

27、本申请的有益效果在于：本申请通过在载具中设置与架体通过轴承连接的安装架和用于驱动安装架转动的驱动装置，当将晶圆盒具有开口的部件被安置在安装架上进行浸没清洗时，驱动装置可以驱动安装架转动以带动其上的晶圆盒的部件转动，使得晶圆盒具有开口的部件内含有气体的封闭腔体被破坏或者无法形成封闭腔体，从而使得部件内的封闭腔体内的气体排出，进而实现含有开口的部件的充分清洗；在晶圆盒部件完成清洗后，也可以通过驱动装置驱动安装架转动，以带动晶圆盒部件的转动，使得晶圆盒部件内留存的清洗液排出，便于晶圆盒部件的后续操作。

技术特征：

1.一种晶圆盒载具，用于承载拆解后的晶圆盒的多个部件，以对所述多个部件进行浸没清洗，其特征在于，所述多个部件包括至少一个具有开口的部件；所述载具包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述安装架被配置为：

3.根据权利要求2所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述安装架被配置为：

4.根据权利要求3所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述晶圆盒载具还包括一个或多个限位机构，以控制安装架转动至第一位置后停止，和/或控制安装架转动至第二位置后停止。

5.根据权利要求3所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述晶圆盒载具还包括锁定机构，所述锁定机构用于限制所述安装架转动；所述锁定机构被配置为，当所述安装架被浸入清洗液中时，所述锁定机构解除所述安装架的限制。

6.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述驱动装置通过接收外部输入能量，和/或通过自身与环境的相互作用，以驱动所述安装架的转动。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述通过接收外部输入能量的驱动装置具体配置为：包括电机，连接所述电机和所述安装架的传动机构；

8.根据权利要求6所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述通过自身与环境的相互作用的驱动装置具体配置为：包括翻转机构、浮力机构和/或配重机构；

9.根据权利要求8所述的晶圆盒载具，其特征在于，所述翻转机构还包括与所述浮力机构连接的翻转件，所述翻转件与所述轴承连接；

10.一种晶圆盒清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的晶圆盒载具。

11.一种晶圆盒清洗的方法，其特征在于，使用如权利要求1-9中任一项所述的晶圆盒载具,包括以下步骤：

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述步骤二中进行清洗工序之前还包括：将晶圆盒载具逐渐浸入清洗液中，驱动装置驱动所述安装架逐渐转动至第二位置，以使得所述晶圆盒的部件内的空气被彻底排出。

技术总结
本申请提供了一种晶圆盒载具，包含该载具的晶圆盒清洗设备及使用该晶圆盒载具进行晶圆盒清洗的方法，旨在解决现有技术中晶圆盒载具存在的结构复杂、操作成本高、晶圆盒部件与清洗液接触不充分、清洗液排出困难等技术问题。本申请公开的晶圆盒载具不仅结构简单，且具有高效的清洗能力，能够通过载具的转动使得清洗时晶圆盒部件内壁与清洗液充分接触，从而提高清洗效果，清洗结束后清洗液可以彻底排出，防止对后续的处理工序带来不便。

技术研发人员：请求不公布姓名
受保护的技术使用者：江苏芯梦半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15