本发明涉及输送清洗，具体涉及一种硅片板输送清洗设备及工作方法。
背景技术：
1、传统的硅片板在生产加工之前，需要对硅片板进行清洗，清洗结束后，输送至烘干设备，以清除硅片表面的水分；而传统的清洗方式是在硅片的上下两侧分别设置有喷淋装置，输送辊驱动硅片板水平往复移动，喷淋装置上下同时对硅片板进行清洗；但是这样的方式，硅片板在水平移动，因此，硅片板上的杂质不太容易向下滴落，会导致部分杂质仍然残留在硅片板上；因此，研发一种硅片板输送清洗设备及工作方法是很有必要的。
技术实现思路
1、本发明的目的是提供一种硅片板输送清洗设备及工作方法。
2、为了解决上述技术问题，本发明提供了一种硅片板输送清洗设备，包括：
3、清洗部、干燥部和若干调整输送件，所述干燥部固定在所述清洗部的一侧，所述干燥部适于干燥清洗后的硅片板；
4、所述清洗部的两侧分别开设有两工件槽，硅片板一端插入所述工件槽内后，所述清洗部的活动端周向转动，以驱动硅片板在清洗部内水平往复移动；
5、若干所述调整输送件可转动的等间距设置在所述清洗部内，且所述调整输送件与所述清洗部的活动端联动；其中，
6、调整输送件顺时针转动时，适于顶推位于调整输送件上方的硅片板，使其向上翘起；
7、调整输送件逆时针转动时，调整输送件的活动端向内收缩，以挤压调整输送件内的洗涤液喷射向调整输送件外壁。
8、作为优选，所述调整输送件包括：内套筒、外套筒、固定板和若干凸起柱，所述内套筒可转动的设置在所述外套筒内；
9、所述内套筒沿轴向开设有一通槽，所述固定板可升降的设置在所述通槽内；
10、若干内套筒上开设有若干与所述凸起柱相适配的通孔，所述凸起柱垂直固定在所述固定板上，且所述凸起柱凸出所述外套筒外壁。
11、作为优选，所述外套筒一端可转动的设置有一送水管，所述送水管与所述通槽连通，所述送水管适于向所述通槽内输送洗涤液。
12、作为优选，所述外套筒外壁开设有若干开口槽，一个开口槽对应一个凸起柱；
13、所述开口槽呈矩形，且所述开口槽的开槽宽度大于所述凸起柱的直径。
14、作为优选，所述凸起柱一侧设置有一圆弧面，所述圆弧面与所述开口槽联动；其中，
15、外套筒逆时针周向转动时，开口槽与圆弧面相抵，并能够推动所述凸起柱向所述通槽内收缩；
16、外套筒顺时针周向转动时，开口槽与凸起柱侧壁相抵，外套筒适于带动内套筒同步周向转动。
17、作为优选，所述外套筒外壁套设有一海绵层，所述海绵层的厚度小于所述凸起柱凸出所述外套筒的高度；
18、所述内套筒沿径向开设有若干第一出水孔；
19、所述外套筒沿径向开设有若干第二出水孔；其中，
20、凸起柱向下收缩时，挤压所述固定板向内收缩，所述固定板挤压内套筒内的液体通过所述第一出水孔和所述第二出水孔喷射向海绵层。
21、作为优选，所述通槽内底壁固定有若干压缩弹簧，所述压缩弹簧另一端固定在所述固定板下端，所述压缩弹簧适于推动所述固定板使其与通槽内顶壁相抵。
22、作为优选，所述清洗部包括：清洗池、若干驱动辊、驱动电机和喷淋装置，所述清洗池水平固定；
23、所述驱动电机固定在所述清洗池侧壁；
24、若干所述驱动辊可转动的设置在所述清洗池内，所述驱动辊适于驱动硅片板水平往复移动，且所述驱动辊与所述驱动电机传动连接；
25、所述喷淋装置固定在所述清洗池的一侧，所述喷淋装置的喷淋头设置在所述驱动辊上方，所述喷淋装置适于清洗硅片板。
26、作为优选，所述喷淋装置包括：储水池、供水管、喷淋管和若干喷淋头，所述储水池固定在所述清洗池的一侧；
27、所述喷淋管固定在所述驱动辊上方，且一个喷淋管对应一个驱动辊；
28、若干所述喷淋头等间距固定在所述喷淋管上，所述供水管一端与所述储水池连通，所述供水管另一端与喷淋管连通。
29、作为优选，所述干燥部包括：干燥支架、若干放置辊、干燥风机和筛网，所述干燥支架水平设置，若是所述放置辊可转动的设置在所述干燥支架上，所述放置辊适于驱动硅片板水平移动；
30、所述筛网设置在所述放置辊的下方；
31、所述干燥风机固定在所述干燥支架下端，所述干燥风机适于向干燥支架上输送干燥空气，以吹干放置辊上硅片板上的水分。
32、另一方面，本发明还提供了一种硅片板输送清洗设备的工作方法，所述驱动电机适于驱动所述驱动辊周向转动，以使插入工件槽内的硅片板能够在所述清洗池内水平往复移动；
33、所述供水管适于将储水池内的水，通过所述喷淋头喷射向硅片板上，以清理硅片板；
34、当硅片板移动至外套筒上方时，此时所述外套筒顺时针周向转动时，开口槽与凸起柱侧壁相抵，外套筒适于带动内套筒同步周向转动，所述凸起柱适于从下方顶起硅片板，以使硅片板一端翘起，从而能够使得硅片板从水平状态转变成倾斜状态；喷淋头上喷出的水流适于冲走硅片板上残留的杂质；
35、而当外套筒逆时针周向转动时，开口槽与圆弧面相抵，并能够推动所述凸起柱向所述通槽内收缩；此时，凸起柱同步带动所述固定板向内收缩，固定板能够挤压通槽内的洗涤液，使其流向外套筒外壁的海绵层，而海绵层与硅片板相抵，以起到去污效果；
36、而当外套筒转动一圈，至开口槽位于凸起柱上方时，所述压缩弹簧适于推动所述凸起柱向上弹起复位。
37、本发明的有益效果是，本发明的一种硅片板输送清洗设备，通过调整输送件和驱动辊的配合，驱动辊适于驱动硅片板在清洗池内水平往复移动，以便于喷淋头喷淋清洗硅片板，而外套筒同步随着驱动辊顺时针或逆时针转动，硅片板移动至调整输送件上方，调整输送件的周向转动，适于将硅片板翘起，不仅有助于清洗硅片板，还有利于将硅片板上残留的杂质自硅片板上清理走，提高了工作效率。
38、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。
39、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
1.一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
5.如权利要求4所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
6.如权利要求5所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
7.如权利要求6所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
8.如权利要求7所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
9.如权利要求8所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，
10.一种硅片板输送清洗设备的工作方法，其特征在于，包括如权利要求9所述的一种硅片板输送清洗设备，